• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.22 no.4
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• pp.1-6
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• 2023

In CO₂ laser surface machining of plastic films in modern display manufacturing, scattering of fume particles could be a major source of well-recognized film surface contamination. This computational fluid dynamics research investigates the suction air flow patterns over a film surface as well as the dispersion of micron-sized fume particles with low-Reynolds number particle drag model. The numerical results show the recirculatory flow patterns near laser machining point on film surface and also over the surface of vertical suction slot, which may hinder the efficient removal of fume particles from film surface. The dispersion characteristics of fume particles with various particle size have been tested systematically under different levels of suction flow intensity. It is found that suction removal efficiency of fume particles heavily depends on the particle size in highly nonlinear manners and a higher degree of suction does not always results in more efficient particle removal.

• Archives of Metallurgy and Materials
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• v.64 no.3
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• pp.917-920
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• 2019

Usually porous metals are known as relatively excellent characteristic such as large surface area, light, lower heat capacity, high toughness and permeability for exhaust gas filter, hydrogen reformer catalyst support. The Ni alloys have high corrosion resistance, heat resistance and chemical stability for high temperature applications. In this study, the Ni-based porous metals have been developed with Hastelloy powder by gas atomization and water atomization in order to find the effects of powder shape on porous metal. Each Hastelloy powder is pressed on disk shape of 2 mm thickness with 12 tons using uniaxial press machine. The specimens are sintered at various temperatures in high vacuum condition. The pore properties were evaluated using Porometer and microstructures were observed with SEM.

• Plant Journal
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• v.15 no.4
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• pp.36-42
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• 2019

In recent, according to the tightening of environment regulation policy, the height of the site of the power plant is increased and the length of the cooling water pipe is increased. This has a serious impact on the stability of the plant. This study analyzes the transient phenomenon using LIQT 7.2, an unsteady state one-dimensional analysis software, to secure the stability of 1,000 MW high-capacity coal-fired power plant cooling water system with high head. To prevent water hammer, The effects on performance characteristics were predicted by individual and combination application. The surge pressure of the cooling water which occurs when the pump was stopped without installing the anti-surge devices was the largest at the pump outlet side. The most effective and simple way to reduce surge pressure in these cooling water systems is to combine a vacuum breaker with a hydraulic non-return valve, which is an essential device for pump protection.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.193.1-193.1
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• 2015

실리콘 (Si) 기판 위에 고품질의 갈륨질화물 (GaN) 박막을 성장시키기 위한 노력이 계속되고 있다. 실리콘 기판은 사파이어 기판 보다 경제적인 측면에서 유리하고, 실리콘 직접화 공정에 GaN 소자를 쉽게 접목 가능하다는 장점이 있다. GaN 박막은 2차원 전자 가스형성을 통한 고속소자, 직접 천이형 밴드갭을 이용한 발광소자 및 고전압 소자로써 활용 가능한 물질이다. 종래에는 Si(100) 및 Si(111) 기판 위에 GaN 박막 성장에 대한 연구가 주로 진행되었다. 하지만 대칭성과 격자 불일치도 등 결정학적 특성을 고려할 때 Si(100) 기판 위에 고품질의 GaN 박막을 성장시키는 것은 쉽지 않다. Si(111) 기판은 실리콘 소자 직접화 공정에 적합하지 못한 단점을 가지고 있다. 반면, 최근 Si(110) 기판 위에서 비등방적 변형 제어를 통한 고품질 GaN 박막 성장이 보고 되어 실리콘 집적 소자와 결합한 고전압 소자 및 고속소자 구현에 관한 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 투과전자현미경 연구를 바탕으로 Si(110) 기판 위에 성장된 GaN의 미세구조에 관한 연구를 소개한다. 열팽창계수의 차이에 의한 GaN 박막 내 결함 생성을 줄이기 위하여 AlN 완충층이 사용되었다. GaN 박막을 암모니아 ($NH_3$) 유량이 다른 조건에서 성장시킴으로써 GaN 박막 미세구조의 암모니아 유량 의존성에 관한 연구를 진행하였다. GaN 박막에서 투과전자현미경 연구와 X-ray 회절 연구를 통하여 결함 거동 및 결정성을 확인하였다. $NH_3$ 유랑이 증가함에 따라 GaN의 성장 거동이 3차원에서 2차원으로 변화됨을 관찰하였다. 또한, 전위밀도의 증가도 확인되었다. $NH_3$ 유량이 낮은 경우 GaN 전위는 AlN와 GaN 경계에 주로 위치하고 GaN 표면 근처에는 전위밀도가 감소하였으나, $NH_3$ 유량이 높을 경우 GaN 박막 표면까지 전위가 관통됨을 확인하였다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.21 no.1
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• pp.17-21
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• 2012

Ga-doped ZnO (GZO) thin films for application as transparent conducting oxide film were deposited on the glass substrate by using rf-magnetron sputtering system. The effects of working pressure on electrical and optical characteristics of GZO films were investigated. Regardless of the working pressure, all films were oriented along with the c-axis, perpendicular to the substrate. The electrical resistivity was about $8.68{\times}10^{-3}{\Omega}{\cdot}cm\sim2.18{\times}10^{-3}{\Omega}{\cdot}cm$ and the average transmittance of all films including substrates was over 90% in the visible range. The good transparents and conducting properties were obtained due to controle the working pressure. The obtained results have acceptable for application as transparent conductive electrodes in LCDs and solar cells.

• The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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• v.17 no.5
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• pp.209-215
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• 2017

In this paper, an antenna having 2-axes cross monopulse for Ka band millimeter-wave seeker is designed and antenna performance is verified through vacuum-brazing method for fabrication and measurement. Also, by designing and manufacturing a waveguide circulator the antenna including the circulator is measured. Radiating part of the antenna takes optimized slot lengths and offsets from Elliot's array synthesis procedure using the generic algorithm and feeding part for cross monopulse axes uses the folded waveguide to optimize the S-parameter result. Based on this method, the antenna has 33.3 dBi gain, $3.5^{\circ}{\pm}0.5^{\circ}$ beamwidth, below -23 dB SLL through fabricating and measuring. It is found that antenna characteristics is similar to design results.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.202.1-202.1
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• 2014

최근 대용량 에너지 저장장치로 사용하고자 하는 리튬-공기전지는 리튬 음극과 액체 전해질 사이의 화학적 불안정성이 문제가 되고 있다. 또한 리튬이온전지는 액체전해질의 사용으로 인해 폭발 등의 안정성 문제가 대두되고 있는 실정이다. 때문에 리튬-공기전지에서 리튬 음극을 액체 전해질로부터 보호할 수 있으며, 리튬이온전지의 액체전해질과 대체하였을 때 전극과도 안정한 고체전해질의 연구가 필요하다. 고체전해질은 구조적으로 crystalline, glassy, 폴리머로 나눌 수 있는데, 이 중 crystalline 구조의 고체전해질은 glassy 및 폴리머 고체전해질에 비해 상온에서 비교적 이온전도도가 높다고 알려져 있다 [1]. 그러나 이온전도도가 높은 황화물 및 질화물 고체전해질은 수분에 민감한 반면 [2,3], 산화물 계열의 물질은 안정할 것으로 예상된다. 본 연구에서는 이온전도도가 높은 산화물인 lithium lanthanum titanate ($Li_{0.5}La_{0.5}TiO_3$, LLTO)를 고체전해질로 선정하여 다양한 환경에서 화학적 안정성에 관해 연구하였다. LLTO와 각종 용액과의 화학적 안정성을 살펴보기 위해 고체전해질을 DI water, 1 M $LiPF_6$ Ethylene Carbonate (EC)-Dimethyl Carbonate (DMC) (50:50 vol.%), 0.57 M LiOH (pH=13), 0.1 M HCl (pH=1)에 immersion하고 무게, 표면형상, 상(phase), 이온전도도 등의 변화를 관찰하였다. 또한 LLTO와 전극간의 반응성을 알아보기 위해 LLTO 분말과 음극물질인 $Li_4Ti_5O_{12}$ 및 양극물질인 $LiCoO_2$ 분말을 혼합한 후 $300^{\circ}C{\sim}700^{\circ}C$의 온도범위에서 열처리하여 반응을 가속화 한 후 상변화 현상을 살펴보았다.

• Korean Journal of Fisheries and Aquatic Sciences
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• v.39 no.2
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• pp.85-93
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• 2006

This study was conducted to evaluate the optimal processing conditions of smoke-dried powdered oysters and to determine their shelf-life during storage for development of a natural oyster flavoring substance. The optimal conditions for processing of smoke-dried oyster powder with freshy oyster were as follows. Raw shelled oysters were rinsed with 3% saline solution, drained, boiled for 10 minutes at $98^{\circ}C$, and then smoked for 1 hour at $50^{\circ}C$, followed by drying for 4 hours at $80^{\circ}C$ Smoke-dried oyster powder with oyster scraps were prepared as flavoring material. The smoked oyster scraps were submerged in oyster sauce far 10 minutes at room temperature and then dried with hot air for 5 hours at $50^{\circ}C$. The smoke-dried oysters and smoke-dried oyster scraps were then pulverized to 50 mesh and packed in tea bags or vacuum-packed in laminated plastic film bags (PE/PVDC/CPP, $12{\mu}m/15{\mu}m/50{\mu}m$). Compared to non smoke-dried powdered oysters, the smoking and dipping in oyster sauce enhanced the flavor and prevented lipid oxidation of the smoke-dried powdered oyster product. Shelf-life tests indicated that the vacuum-packaging method preserved the quality of smoke-dried powdered oysters stored for 150 days at room temperature.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.95-95
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• 2013

박막 공정 기술은 반도체 및 디스플레이뿐만 아니라 대부분의 전자소자에 적용되는 매우 중요한 기술이다. 그 중, 마그네트론 스퍼터링 공정은 플라즈마를 이용하여 금속 및 세라믹 등의 벌크 물질을 박막으로 증착 가능한 가장 널리 사용되는 방법 중의 하나이다. 하지만, Fe, Co, Ni 같은 강자성체 재료는 공정이 불가능하며, 스퍼터링 타겟 효율이 40% 이하이고, 제한적인 방전압력 범위 및 전류 상승에 의한 높은 전압 인가 제한이 있다는 단점이 있다. 본 연구에서 사용된 고밀도 플라즈마 소스를 적용한 고효율 스퍼터링 시스템은 할로우 음극을 이용한 원거리에서 고밀도 플라즈마를 생성하여 전자석 코일을 통해 자석이 없는 음극으로 이온을 수송시켜 스퍼터링을 일으킨다. 따라서 강자성체 재료의 스퍼터링이 가능하며, 90% 이상의 타겟 사용 효율 구현 및 기존 마그네트론 스퍼터링 대비 고속 증착이 가능하다. 또한, $10^{-4}$ Torr 압력영역에서 방전 및 스퍼터링이 가능하다. 타겟 이온 전류를 타겟 인가 전압과 관계없이 0~4 A까지, 타겟 이온 전류와 상관없이 타겟 인가 전압을 70~1,000 V 이상까지 독립적으로 제어가능하다. 또한 TiN과 같은 질소 반응성 공정에서 반응성 가스인 질소를 40%까지 넣어도 타겟에 수송되는 이온의 양에 영향이 없다. 할로우 음극 방전 전류 40 A에서 발생된 플라즈마의 이온에너지 분포는 55 eV에서 가우시안 분포를 보였으며, 플라즈마 포텐셜인 sheath drop은 74 V 였다. OES를 통한 광학적 진단 결과, 전자석에 의한 이온빔 초점에 따라 플라즈마 이온화율을 1.8배까지 증가시킬 수 있으며, 할로우 음극 방전 전류가 60~100 A로 증가하면서 플라즈마 이온화율을 6배까지 증가 가능하다. 또한, 타겟 이온 전류와 관계없이 타겟 인가 전압을 300~800 V로 증가시킴에 따라 Ar 이온 밀도의 경우 1.4배 증가, Ti 이온 밀도의 경우 2.2배 증가시킬 수 있었으며, TiN의 경우 증착 속도도 16~44 nm/min으로 제어가 가능하다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.705-705
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• 2013

CIGS 박막태양 전지는 I-III-VI Chalcopyrite 결정구조를 가진 화합물 반도체 태양전지로 인위적인 밴드갭 조작을 통하여 효율 향상에 용이하다. 4원소 화합물인 CIGS 광흡수층의 대표적인제조 방법으로는 co-evaporation 공정법이 있다. 동시 증발법은 CIGS 결정을 최적화하기 위하여 박막이 증착되는 동안 기판의 온도를 3단계로 변화시켜주는 3-stage 공정을 통하여 제작된다. 일반적으로 CIGS 박막태양전지는 전면전극으로 투명전도막이 사용되며 높은 광투과성과 전기전도성을 가져야 한다. 투명전도막의 광학적, 전기적 특성은 CIGS 박막태양전지의 효율에 영향을 미치기 때문에 최적화된 조건이 요구된다. 본 연구에서는 CIGS 광흡수층은 Ga/(In+Ga)=0.31, Cu/(In+Ga)=0.86으로 최적화 시켰으며, 투명전도막은 Ga이 도핑된 ZnO박막을 RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착하였다. CIGS 박막 태양전지 직렬저항 성분인 투명 전도막의 비저항이 $4.46{\times}{\square}10{\square}-3{\square}$(${\Omega}$-cm)에서 $9.3{\times}{\square}0{\square}-4{\square}$(${\Omega}$-cm) 으로 변화함에 따라 Efficiency가 9.67%에서 16.47%으로 증가하였으며, Voc가 508 mV에서 596 mV으로, Jsc가 29.27 mA/$cm^2$에서 37.84 mA/$cm^2$으로, FF factor가 64.99%에서 72.96%로 증가하였다. 이에 따른 투명 전도막의 전기적, 광학적 특성을 통해 CIGS 박막태양전지에 미치는 영향에 대해 조사하였다.