• Title/Summary/Keyword: vacuum Co2

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A Study on Properties of CuInSe2 Thin Film by Annealing (CuInSe2 박막의 열처리에 의한 특성분석)

  • Park, Jung-Cheul;Chu, Soon-Nam
    • Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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    • v.24 no.2
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    • pp.162-165
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    • 2011
  • In this paper, $CuInSe_2$ thin film was prepared by use of the co-evaporation method with the variation of the substrate temperature in the range of $100^{\circ}C$ to $400^{\circ}C$. The film was annealed at $300^{\circ}C$ for an hour in a vacuum chamber at $3{\times}10-4$ Pa. After annealing, the thin film prepared at the substrate temperatures of $100^{\circ}C$ and $200^{\circ}C$ was observed. The XRD (x-ray diffraction) pattern of sample prepared at $100^{\circ}C$ showed the single phase formation of $CuInSe_2$. However, at $200^{\circ}C$, there was no apparent difference in the XRD pattern except a variation in the intensity of the peak. As the annealing treatment of substrate improved the crystal structure of the film, it affected to the increase of an electron mobility, resulted in an increase in conductivity and a decrease in resistance. As a results, when the substrate temperature was at $200^{\circ}C$ and $300^{\circ}C$, the sheet resistance was 1.534 $\Omega/\Box$ and 1.554 $\Omega/\Box$, respectively, and the resistivity was $1.76{\times}10-6\;{\Omega}{\cdot}cm$ and $1.7210-6\;{\Omega}{\cdot}cm$, respectively. From the absorption spectrum measurements, there was no variation between the before and after annealing conductions. And it means that the annealing step does not affect the thickness of the thin film.

패턴 사파이어 기판 위에 AlN 중간층을 이용한 GaN 에피성장

  • Kim, Nam-Hyeok;Lee, Geon-Hun;Park, Seong-Hyeon;Kim, Jong-Hak;Kim, Min-Hwa;Yu, Deok-Jae;Mun, Dae-Yeong;Yun, Ui-Jun;Yeo, Hwan-Guk;Mun, Yeong-Bu;Si, Sang-Gi
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.123-123
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    • 2010
  • 3족 질화물계 물질은 발광다이오드와 같은 광전자소자적용에 있어서 매우 우수한물 질이다.일반적으로, GaN 에피 성장에 있어서 저온 중간층을 삽입한 2 단계 성장 방법은 낮은 결함밀도와 균일한 표면을 얻기 위해 도입된 기술이다. 특히 AlN 중간층은 GaN 중간층과 비교하였을 때 결정성뿐만 아니라 높은 온도에서의 열적안정성, GaN 기반의 자외선 검출기서의빛 흡수 감소 등의 장점을 가지고 있다. 또한 패턴 사파이어 기판위 GaN 에피 성장은 측면성장 효과를 통해 결함 밀도 감소와 광 추출 효율을 향상시키는 것으로 알려져 있다.또한 열응력으로 인한 기판의 휨 현상은 박막성장중 기판의 온도 분포를 불균일하게 만드는 원인이 되며 이는 결국 박막 조성 및 결정성의 열화를 유도하게 되고 최종적으로 소자특성을 떨어 뜨리는 원인이 되는데 AlN 중간층의 도입으로 이것을 완화시킬 수 있는 효과가 있다. 하지만, AlN 중간층이 패턴된 기판 위에 성장시킨 GaN 에피층에 미치는 영향은 명확하지 않다. 본 연구팀은 일반적인 c-plane 사파이어 기판과 플라즈마 건식 에칭을 통한 렌즈 모양의 패턴된 사파이어 기판을 이용해서 AlN 중간층과 GaN 에피층을 유기금속 화학기상증착법으로 성장하였다. 특히, 렌즈 모양의 패턴된 사파이어 기판은 패턴 모양과 패턴 밀도가 성장에 미치는 영향을 연구하기 위해 두가지 패턴의 사파이어 기판을 이용하였다. AlN 중간층 두께를 조절함으로써 최적화된 GaN 에피층을 90분까지 4단계로 시간 변화를 주어 성장 양상을 관찰한 결과, GaN 에피박막의 성장은 패턴 기판의 trench 부분에서 시작하여 기판의 패턴부분을 덮는 측면 성장을 보이고있다. 또한 TEM과 CL을 통해 GaN 에피박막의 관통 전위를 분석해 본 결과 측면 성장과정에서 성장 방향을 따라 옆으로 휘게 됨으로 표면까지 도달하는 결정결함의 수가 획기적으로 줄어드는 것을 확인함으로써 고품질의 GaN 에피층을 성장시킬 수 있었다. 그리고 패턴밀도가 높고 모양이 볼록할수록 측면 성장 효과로 인한 결정성 향상과 난반사 증가를 통한 임계각 증가로 광추출 효율이 향상 되는 것을 확인할 수 있었다. 이러한 결과를 바탕으로 최적화된 AlN 중간층을 이용하여 패턴 기판위에서 고품질의 GaN 에피층을 성장시킬 수 있었다.

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Oxidation Rates of TiAlLaN Thin Films Deposited by Ion Plating (이온플레이팅법으로 제조된 TiAlLaN계 박막의 산화속도)

  • Seo Sung Man;Lee Kee Sun;Lee Kee-Ahn
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.14 no.3
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    • pp.163-167
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    • 2004
  • TiAl(La)N thin films were oxidized in vacuum of about 7 Pa to reduce the oxidation of WC-Co as a substrate. The oxidation rate constants of the thin films were quantified by an assumption of parabolic oxidation. Increasing AI content significantly decreased the parabolic oxidation rate constant. A simultaneous addition of AI and La was more effective to reduce the oxidation rate. The parabolic oxidation rate constant of $Ti_{0.66}$ $Al_{0.32}$ $La_{ 0.02}$N thin film at 1273 K showed about ten times lower than that of TiN. The addition of a small amount of La with Al induced the preferential formation of dense $\alpha$ $-Al_2$$O_3$ film in oxide film, leading to the abrupt reduction of oxidation rate.

Properties of ZnO:Ga thin films deposited by RF magnetron sputtering under various RF power

  • Kim, Deok Kyu;Kim, Hong Bae
    • Applied Science and Convergence Technology
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    • v.24 no.6
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    • pp.242-244
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    • 2015
  • ZnO:Ga thin films were deposited by RF magnetron sputtering technique from ZnO (3 wt.% $Ga_2O_3$) target onto glass substrates under various RF power. The influence of RF power on the structural, electrical, and optical properties of ZnO:Ga thin films was investigated by X-ray diffraction, atomic force microscopy, Hall method and optical transmission spectroscopy. As the RF power increases from 50 to 110W, the crystallinity is deteriorated, the root main square surface roughness is decreased and the sheet resistance is increased. The increase of sheet resistance is caused by decreasing carrier concentration due to interstitial Ga ion. All films are transparent up to 80% in the visible wavelength range and the adsorption edge is a red-shift with increasing RF power.

Antinociceptive and Sedative Hypnotic effect of Artemisia pallens Wall

  • Karunanidhi, Natesan;Saravanan, Sampath;Vinothkumar, Vinothkumar;Selvamani, Selvamani;Ghosh, Shruti;Gupta, Jayanta Kumar
    • Natural Product Sciences
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    • v.9 no.2
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    • pp.91-92
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    • 2003
  • The present investigation was carried out to evaluate the antinociceptive and sedative - hypnotic effect of a vacuum dried methanol extract of aerial parts of Artemisia pallens. In the tail-flick method with Swiss albino mice the methanol extract at the doses of (1500 mg/kg, 2000 mg/kg, and 2500 mg/kg) showed significant antinociceptive activity. Significant potentiation of Pentobarbitone sodium - induced sleeping time was observed in mice on co-administration of the various doses of the methanol extract of Artemisia pallens.

Development of Vacuum Sprinkler Extinguishing System (부압식 스프링클러설비)

  • Oh, Ju-Hwan
    • Proceedings of the Korea Institute of Fire Science and Engineering Conference
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    • 2011.11a
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    • pp.61-66
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    • 2011
  • 부압식 스프링클러 설비는 우리나라에서 일반적으로 사용되고 있는 준비작동식이나 건식 또는 습식 스프링클러 설비의 2차측 배관내의 압력을 부압(진공)상태로 유지시켜 오작동(스프링클러 헤드의 파손 또는 배관의 누수) 시에 발생되는 소화수의 누수를 진공압(-0.05~-0.08MPa)으로 흡입하는 구조로 설계되어 수손피해에 대한 위험도를 제거 하여 기존의 스프링클러 시스템의 문제점을 해결 할 수 있는 획기적인 기술로 볼 수 있다. 또한 부압식 스프링클러 설비는 습식, 준비작동식에 해당하는 시설에 모두 적용이 가능하며 매년 국내, 외에서 건설되는 모든 대상물에도 설치가 가능하며 기존 설비된 건물에도 손쉽게 적용이 가능하여 앞으로 IT관련 산업, 반도체 제조공장, 호텔, 학교, 병원, 관공서, 지하철 역사, 정밀가공 제조설비 등 특히 내진설계에 적용되고 있는바 그 적용성이 무궁무진한바 본 부압식 스프링클러 시스템의 연구를 통한 확대에 대한 가능성은 무한할 것으로 예상된다.

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Biodeterioration of Cultural Property and Fumigation (문화재의 생물열화 방제-훈증처리를 중심으로)

  • Lee, Ho-Bong
    • 보존과학연구
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    • s.13
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    • pp.69-80
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    • 1992
  • A great numbers of cultural properties destroyed though attack by insect pests and microorganisms. Biodeterioration damage is particularly serious in this country because many cultural propertiese are made of organic materials. Recently, there are various countermeasures of biodeterioration or alternative methods are reported, such as Gamma Radiation, Micro-wave Irridation, Freezing, Inert Atmosphere (Oxygen-less atmosphere), and Environmental Control. However its practical application are limited and some difficulties for treatment of large objects. Fumigation is one of the most useful and effective methods of control biodeterioration because it gives less damage of cultural properties but rapidly eradicate infesting organisms at one action. This paper evaluated selected fumigants and fumigation methods with emphasis on the following paragraph:1) Effectiveness of selected fumigants on insects and microbes involved inbiodeterioration.2) Physical and chemical characters of selected fumigants.3) Less toxic new alternative fumigant and its mixtures.4) Inert atmosphere (Oxygen-less atmosphere)5) Methods of fumigation : Sealed fumigation, Covered fumigation and Vacuum fumigation (Reduced-pressure fumigation)

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A Study on Ice Slurry Production by Water Spray

  • Kim, Byeong-Sun;Lee, Yoon-Pyo;Yoon, Seong-Young;Lee, Jin-Ho
    • International Journal of Air-Conditioning and Refrigeration
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    • v.6
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    • pp.45-55
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    • 1998
  • A theoretical and experimental study is performed to investigate the characteristics of ice slurry product. By diffusion-controlled evaporation model the possibility of ice slurry is theoretically anticipated. The water vapor evaporated from the surface of droplets is extracted continuously from the chamber by a vacuum pump. The droplet diameter is measured by silicon immersion method. The ice slurry is obtained by spraying droplets of ethylene glycol aqueous solution in the chamber where pressure is maintained under the triple point of water. The droplet with the diameter of 300 $\mu\textrm{m}$and the initial temperature of 2$0^{\circ}C$ was changed into ice particle within the chamber of 1.33m in height.

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Development of Particle Counter with wireless FMS (무선 FMS를 지원하는 초미세 입자 계수기 개발)

  • Ku, Ja-Yl;Jun, Sung-Don
    • Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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    • 2010.07a
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    • pp.63-66
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    • 2010
  • 기존의 입자계수기(Particle Counter)는 0.3um의 최소 인식 크기와 샘플링 유량이 2.83 lpm을 갖는다. 본 논문에서는 0.1um의 최소 인식 크기와 샘플링 유량이 28.3lpm과 50lpm을 갖는 입자 계수기를 개발하였다. 이와 함께 온도, 습도, 정전기를 실시간으로 측정하여, 이를 무선 인터페이스를 통해서 모니터링 프로그램과 연동, DB화하여 크린룸 현장의 환경을 실시간으로 유지 관리하도록 하였다.

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White Light Generation from Single Gallium Oxide Nanoparticles co-doped with Rare-Earth Metals

  • Patil, Prashant;Park, Jinsung;Lee, Seung Yong;Park, Jong-Ku;Cho, So-Hye
    • Applied Science and Convergence Technology
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    • v.23 no.5
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    • pp.296-300
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    • 2014
  • The synthesis of pure and rare-earth doped gallium oxide (${\beta}-Ga_2O_3$) nanoparticles is reported. The synthesized nanoparticles are characterized with XRD, TEM, and PL analyses. Strong blue emission is observed from un-doped gallium oxide nanoparticles, while nanoparticles doped with $Eu^{3+}$ and $Tb^{3+}$ give strong red and green emissions, respectively. When doped with $Eu^{3+}$ and $Tb^{3+}$ together, gallium oxide nanoparticles emit white light. The CIE coordinate of the emitted light was found to be (0.33, 0.33), which is well within the white light region.