Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference (한국컴퓨터정보학회:학술대회논문집)
- 2010.07a
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- Pages.63-66
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- 2010
Development of Particle Counter with wireless FMS
무선 FMS를 지원하는 초미세 입자 계수기 개발
- Ku, Ja-Yl (Dept. of digital electronics, Inha technical college) ;
- Jun, Sung-Don (tech-line CO. Ltd.)
- Published : 2010.07.08
Abstract
기존의 입자계수기(Particle Counter)는 0.3um의 최소 인식 크기와 샘플링 유량이 2.83 lpm을 갖는다. 본 논문에서는 0.1um의 최소 인식 크기와 샘플링 유량이 28.3lpm과 50lpm을 갖는 입자 계수기를 개발하였다. 이와 함께 온도, 습도, 정전기를 실시간으로 측정하여, 이를 무선 인터페이스를 통해서 모니터링 프로그램과 연동, DB화하여 크린룸 현장의 환경을 실시간으로 유지 관리하도록 하였다.
Keywords