• 한국전자파학회논문지
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• 제27권9호
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• pp.834-843
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• 2016

본 논문에서는 PIN 다이오드를 이용한 S-대역 고출력 경로선택형 SP4T 및 SP4T 구동회로의 설계를 보였다. 격리도 개선을 위하여 SP4T의 각 경로(path)는 직렬 및 병렬 PIN 다이오드 2개를 cascade하여 구성하였다. 설계된 SP4T 회로는 칩-형 PIN 다이오드와 박막(thin-film) 기법으로 제작된 20 mil AIN 기판을 사용하여 구현하였다. 또한, 설계된 SP4T의 구동회로는 1개의 multiplexer와 4개의 NMOS-PMOS push-pull 쌍을 이용하여 구성하였다. 온-웨이퍼 측정결과, 제작된 SP4T는 최대 삽입손실 1.1 dB, 최소격리도 41 dB의 특성을 보였다. 구동회로의 PIN 다이오드의 on-off, off-on 천이시간은 동일 PIN 다이오드의 패키지를 이용하여 시험하였으며, 모두 약 100 nsec 이하의 천이시간을 보였다. 150 W 입력 고출력 시험 결과, 격리도와 삽입손실은 동축 패키지의 손실 및 부정합을 고려하면 온-웨이퍼 측정결과에 준하는 결과를 얻었다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제28권4호
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• pp.41-45
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• 2021

본 연구에서는 멤리스터 소자의 높은 신뢰성을 확보하기 위해 소자 제작 단계에서 30 nm 두께의 ZrO₂ 금속산화물 박막 위 국부영역에 리튬 filament seed 층을 패턴하여 작은 이온반경의 리튬이온을 저항변화 주체로 활용하는 멤리스터 소자를 구현하였다. 패턴 된 리튬 filament seed 대비 다양한 상부전극의 면적을 적용하여 멤리스터-커패시턴스 병렬 구조의 이온형 저항변화 소자에서 커패시턴스가 filament type 저항변화 특성에 미치는 영향을 조사하고자 하였다. 이를 위해 ZrO₂ 박막 위에 5 nm 두께, 5 ㎛ × 5 ㎛ 면적의 리튬 filament seed 증착 후 50 ㎛, 100 ㎛ 직경의 상부전극을 증착, 리튬 메탈의 확산을 위한 250℃ 열처리 전 후 샘플에서 저항변화 특성을 확인하였다. 열확산에 의해 형성된 전도성 filament의 경우 전압에 의한 제어가 불가함을 확인하였으며, 전압에 의해 형성된 filament만이 electrochemical migration에 의한 가역적 저항변화 특성 구현이 가능한 것을 확인하였다. 전압에 의한 filament 형성 시 병렬로 존재하는 커패시턴스의 크기가 filament의 형성 및 소실에 중요한 인자임을 확인하였다.

• 센서학회지
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• 제3권1호
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• pp.68-77
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• 1994

강자성체 자기저항 센서를 개발하기 위하여 70Ni-30Co 합금을 $10^{-6}$ Torr의 진공중에서 $250^{\circ}C$ 의 슬라이드 그라스 위에 두께 $600{\AA}$ 으로 진공 증착한 후 박막을 격자형으로 식각하고 인출선을 연결하였다. 이와 같은 과정으로 제작된 센서의 자기저항 변화율에 미치는 온도, 저항, 선폭 등의 영향을 조사하고 보자력, 포화자화, 최대유효감도, 지연시간, 회전율, 백색잡음, 분해능 등을 조사 분석한 결과, (70Ni-30Co) 합금을 기판온도 $250^{\circ}C$ 에서 두께 $600{\AA}$ 으로 진공 증착하면 결정자기 이방성이 형성되어 자기저항 소자로써의 기능이 자발적으로 구비되면서 230 nT 의 최대유효감도가 구비됨을 확인하였다. ${\pm}10$ Oe 의 자장구간에서는 직선적인 자기저항변화를 보였으며, 센서소자를 형성하는 격자선의 폭에 대한 길이의 비가 클수록 자기저항 값이 증가함을 알 수 있었다. 한편 센서 소자와 인출선을 인듐으로 연결시키면 저항온도계수가 $8{\times}10^{-3}/deg$로 증가되어 센서 본연의 저항온도계수($1{\times}10^{4}/deg$)가 매우 심하게 열화된다는 것을 알 수 있었다. 이 실험에서 제작된 강자성박막(70Ni-30Co)의 특성은 보자력이 5.1 A/cm이고 포화자화가 0.64T 이었는데, 이 박막으로 제작한 자기저항 센서의 지연시간은 $5{\mu}s$이었고 회전율(slew rate)은 0.39 $Oe/{\mu}s$ 이었으며 백색잡음은 -120 dB 정도이었다.

• 한국윤활학회:학술대회논문집
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• 한국윤활학회 1999년도 제29회 춘계학술대회
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• pp.47-52
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• 1999

In recent years, the micro-tribological behavior of silicon has been the topic of much interest. peformance of thin film under light load is important for potential applications in MEMS. In this work under light load and various humidity, the tribological behavior of undulated surface with various width and shape was Investigated. The results show that undulated surface of linear type had good tribological properties abrasive wear occur depending on the sliding condition. Also the effect of humidity on friction and wear was not important if exist undulation. Finally, undulations on HDD were found to be effective in trapping wear particles.

• 대한전자공학회:학술대회논문집
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• 대한전자공학회 2000년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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• pp.107-110
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• 2000

In this experiment, we fabricated pyramid-type silicon tunneling devices in which a tunneling current flow between a micro-tip and Si$_3$N$_4$ thin film membrane. A MEMS process was used for the fabrication of the tunneling devices. The micro-tips were formed on Si wafers by undercutting a differently oriented square of SiO$_2$ with KOH. The stiffness of the Si$_3$N$_4$ films were observed and the model for the stiffness calculation, which is useful in predicting the stiffness even when the stiffness ranges beyond the scope of the normal experimental condition, was suggested.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2002년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체재료 기술교육
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• pp.24-26
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• 2002

In this paper, we discuss the electrical properties of self-assembled (2'-amino-4,4-di(ethynylphenyl)-5'-nitro-l-(thioacetyl)benzene), which has been well known as a conducting molecule having possible application to molecular level NDR device. The phenomenon of negative differential resistance (NDR) is characterized by decreasing current through a junction at increasing voltage. also fabrication of MIM-type molecular electronic and the Molecular Level Using Scanning Tunneling Microscopy

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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• 제27권5호
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• pp.624-632
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• 2003

In the gasoline engine industry. there has been a trend towards the development of high performance engines with improved fuel efficiency, reduced weight and smaller sizes. These trends help to solved engine problems related to thermal load and abnormal combustion. In order to investigate these Problems, a thin film-type probe for instantaneously measuring temperatures has been suggested. A method for manufacturing such a probe was established in this study. The instantaneous surface temperature of a constant volume combustion chamber was measured by this probe and the heat flux was obtained through Fourier analysis. A peak instantaneous temperature was obtained after 55∼60 ms from ignition and the temperature increased according to an equivalence ratio and varied differently according to the position of the probe. Total heat loss during combustion period was affected by the equivalence ratio and differed widely in accordance to the position of the probe.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 한국신재생에너지학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.428-430
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• 2008

Dye-sensitized solar cell has many internal resistant components such as Pt counter electrode, $TiO_2$/dye/electrolyte, charge diffusion, sheet resistance of TCO. Among these, the resistance about the counter electrode can be reduced by increasing the roughness factor of Pt counter electrode. This causes the increase of fill factor and improvement of efficiency. And the amount of light reflection on the counter electrode also increases as the roughness factor goes up. In our experiment, we suggest a new deposition structure of Pt thin film that is a stepped-type structure. The more step lines are in the counter electrode, the more roughness factor is. As a result, we get the improvement of fill factor and efficiency by controlling the roughness factor of counter electrode.

• 대한인간공학회:학술대회논문집
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• 대한인간공학회 1995년도 춘계학술대회논문집
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• pp.55-61
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• 1995

We spend about 40% of lifte time on a bed and seek how such amount of time is spent comfort. Bed comfort has been pursuited. The pressure distributions on a bed by body pressure has been considered as one of the most important factors of bed comfort. This study is to quantify the subjective assessment by the body pressure distribution and develop the objective evaluation method of bed comfort. A new measurement system for body pressure on a bed was developed in this study. The thin film pressure sensor (FSR: Force Sensing Resistor) of an elastomer-type was used to prevent the distortion of contact pressure. The pressure distribution is measured by FSR and displayed on the monitor by color-coded contour patterns. Some of the bed test results were described. And the relations between body pressure distribution and bed comfort were evaluated.

• 한국가시화정보학회지
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• 제8권3호
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• pp.22-28
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• 2010

In the present study, we performed the velocity field measurement in a microchannel using a focal length variable micro liquid lens. The liquid lens is used as a beam expander in a micro-PIV system to acquire the scatter image of the seeded particle. A thin film-type micro liquid lens was made of PDMS material and it was attached on top of the 700-micron-wide working fluid supply channel trench. As a result, the focal length and contact angle of the liquid lens changed with variations in applied pressure.