Effect of the Control of Bowing in Free-standing GaN by Mechanical Polishing (Freestanding GaN 기판의 Ga-polar 면에 기계적 연마 방법을 적용한 Bow 제어 및 그 특성 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.28 no.12
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- pp.776-780
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- 2015