• 대한전자공학회논문지SD
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• 제41권12호
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• pp.13-19
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• 2004

반도체 또는 평판디스플레이 제조에 있어 노광공정 후의 PR(photo-resist) 제거 공정으로서 기존의 황산기반 용액을 대체하는 고농도 오존 수 생성 기술에 대한 연구를 수행하였다. 세라믹 연면방전구조의 오존발생장치를 개발하여, 0.5［ℓ/min］의 산소 유량에서 최대 12［wt%］이상의 오존가스 농도를 얻었으며, 이를 고농도로 물과 혼합하기 위한 고효율 오존접촉장치를 개발하였다. 오존 수 생성 실험 결과, 오존가스 10［wt%］에서 80［ppm］이상의 오존 수 농도를 달성하였으며, 70［ppm］의 오존 수에서 PR 제거율 147［nm/min］의 양호한 결과를 얻었다.

• 한국지하수토양환경학회지:지하수토양환경
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• 제15권6호
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• pp.37-45
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• 2010

Surfactant-enhanced ozone sparging (SEOS), an advanced version of SEAS (surfactant-enhance air sparging) was introduced in this study for the first time for removal of non-volatile contaminant from aquifer. The advantages of implementing SEAS, enhanced air saturation and expanded zone of sparging influence, are combined with the oxidative potential of ozone gas. Experiments conducted in this study were tow fold; 1-dimensional column experiments for the changes in the gas saturation and contaminant removal during sparging, and 2-dimensional box model experiment for the changes in the size of zone of influence and contaminant removal. An anionic surfactant (SDBS, sodium dodecylbenzene sulfonate) was used to control surface tension of water. Fluorescein sodium salt was used as a representative of watersoluble contaminants, for its fluorescence which is easy to detect when it disappears due to oxidative degradation. Three different gases (air, high-concentration ozone gas, and low-concentration ozone gas) were used for the sparging of 1-D column experiment, while two gases (air and low-concentration ozone gas) were used for 2-D box model experiment. When SEOS was performed for the column and box model, the air saturation and the zone of influence were improved significantly compared to air sparging without surface tension suppression, resulted in effective removal of the contaminant. Based on the experiments observations conducted in this study, SEOS was found to maintain the advantages of SEAS with further capability of oxidative degradation of non-volatile contaminants.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제32권4호
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• pp.320-326
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• 2019

Recently, the application of atmospheric plasma technology in air filtration is increasing. Sterilization by an atmospheric plasma device is very effective. However, ozone gas, which is generated during atmospheric plasma formation, poses a hazard to human health. To reduce the ozone gas during plasma discharge, we fabricated a one-plate hybrid plasma discharge device with a heating element, which can decompose ozone gas effectively by a simple heating action. In this study, we evaluated the plasma discharge characteristics and ozone concentrations with various Ar flow rates and temperatures. With increasing Ar gas flow rate, the ozone concentration and spectrum intensity increased till an Ar gas flow rate of 60 sccm, and decreased thereafter. When discharged in high temperature, the ozone concentration and spectrum intensity decreased. Further, to evaluate the state of the treated surface under various plasma discharge and heating conditions, we measured the variation in the contact angles on the surface. Regardless of the temperature, the contact angle increased with increasing discharge voltage. However, the contact angle increased when discharged at high temperature.

• 공업화학
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• 제7권2호
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• pp.280-288
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• 1996

여러 가지 전착 조건에서 티타늄 기판상에 이산화납을 전착시킨 전극을 사용하여 전해질 용액 중에서 오존을 발생시킬 경우 전착된 이산화납의 결정표면 양상이 오존발생 전류효율에 미치는 영향과 이산화납 전극의 표면구조 변화를 고찰하였다. 또한 백금 디스크전극 위에 이산화납을 전착시킨 회전전극을 이용하여 산소전이반응이 오존발생에 미치는 영향과 오존발생용 전극으로 개발하기 위해 이산화납의 내식성과 오존발생 최적 전류밀도도 검토하였다. 전착한 이산화납의 결정표면 입자가 크고 결정성이 좋은 전극일수록 오존발생 전류효율이 높았으며 이러한 오존발생용 이산화납 전극을 전착시키기 위한 최적전류밀도는 $50mA/cm^2$이었으며 전착용액에 글리세린을 소량 첨가하면 오존발생에 유리한 결정구조를 갖는 이산화납이 전착되었다. 또한 $10mA/cm^2$ 이하의 너무 낮거나 $100mA/cm^2$ 이상의 너무 높은 전류밀도에서는 오존발생 성능이 떨어지고 소지금속에 대한 접착성이 좋지 않은 전극이 만들어 졌다. 새로 만들어진 이산화납전극을 오존발생용으로 사용할 때 사용 초기 단계에서 이산화납전극의 표면구조 변화가 일어나며 이는 오존발생에 유리한 효과를 가져왔다. 타원소를 도핑시킨 이산화납 전극에서는 오존발생보다 산소발생 반응이 활발하게 일어나 오존발생은 산소발생의 중간 단계를 거치지 않고 산소발생과는 경쟁적으로 일어나는 것으로 추정되며 $0.7{\sim}0.8A/cm^2$의 전류밀도에서 최대의 오존발생 전류효율을 나타내었다.

• 한국대기환경학회지
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• 제24권2호
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• pp.196-205
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• 2008

오존 농도와 기상 인자의 연직관측을 수행하여 오존분포와 하부 대기구조와의 관계를 분석하였다. 관측은 서울 방이동에서 2003년 6월 $6{\sim}9$일에 하루 2회씩(주 야간)총 8회에 걸쳐 이루어졌으며, 고도 5 km 이내의 관측결과를 중심으로 대기경계층 일변화와 연직 오존농도 변화를 집중분석하였다. 관측 결과, 대기경계층 내 야간안정층 및 혼합층 발달에 따라 큰 오존농도 분포변화를 확인할 수 있었다. 야간에는 안정층 내에서 $NO_x$ 적정반응으로 0에 가까운 낮은 오존농도를 나타내었다. 한편 오후에는 혼합층 내에서 비교적 일정한 오존농도 분포를 나타내며, 대기경계층 상부에서 100 ppb 이상의 최고 농도가 관측되었다. 특히 지표부근 오존농도가 높았던 6월 8일의 관측결과를 통해, 오존의 생성 소멸과 관련한 국지효과뿐만 아니라 제한된 혼합층 발달이 고농도오존 발생에 중요한 영향을 미침을 확인할 수 있었다. 또한 관측 기간 중, 국지규모 이상의 수송효과에 의한 대기경계층 상부의 농도 상승과 종관기류 변화에 따른 수송 효과가 간접적으로 확인되었다. 연직 오존분포 분석에 있어 충분치 않은 관측 자료로 인해 정확한 시간적 변동을 고찰할 수 없는 한계를 보였다. 하지만 본 연구를 통해 서울지역 대기하층의 오존 분포 변화와 기상학적 특징을 살펴봄으로서 고농도오존 현상의 역학적인 이해를 도울 것으로 생각되며, 관측 결과는 도시 오존제어를 위한 광화학 수치모델링의 기초 자료로 활용될 수 있을 것이다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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• pp.48-49
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• 2007

자외선 살균기는 기존의 살균기보다 효율적으로 작동되어, 모델의 세균살균을 향상시키기 위하여 투과 반사와 오존을 복합적으로 사용하였다. 투과 반사 효과가 기존의 모델에 비해 세균살균의 효율에 상당한 영향을 주었음을 알 수 있었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.320.1-320.1
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• 2013

We have investigated the effect of surface passivation for crystalline silicon solar cell using ozone-based atomic layer deposited (ALD) $Al_2O_3$. We examined passivation properties such as uniformity, carrier lifetime, thickness, negative fixed charge density at AlOx/Si interface, and reflectance. The influences of process temperature and heat treatment were investigated using microwave photoconductance decay (PCD). Ozone-based ALD $Al_2O_3$ film shows the best carrier lifetime at lower deposition temperature than $H_2O$-based ALD.

• 한국대기환경학회지
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• 제11권1호
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• pp.85-93
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• 1995

Measurements of ground level ozone concentrations were made in a rural area of Chongwon (Choongbook Province) from June 1993 to July 1994. High values frequently exceeding 100 ppb (ambient air qualyty standard of Korea) were recorded. High ozone concentrations in the boundary layer were primarily correlated with the several meteorological parameters in warm seasons: pressure, radiation, temperature, precipitation and wind velocity. The annual average concentration of ozone at Chongwon was 17ppb, and this value was relatively higher than those for other cities in Korea. O$\_$3/ concentrations were observed to increase when the ridge of a surface anticyclone was passing over the region, and maximum values(.geq.100 ppb) were observed on the rear sides of high pressure centers and in the warm sectors of cyclones(well head of cold fronts). The ozone concentrations had a negative correlation with the concentration of primary pollutants(e.g., total hydrocarbons).

• Ocean and Polar Research
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• 제25권1호
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• pp.9-20
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• 2003

A solar radiation model was used to investigate the UV radiation at the surface offing Sejong Station in West Antarctica. The results calculated by this model were compared with the values measured by UV-Biometer and UV-A meter during 1999-2000. In this study, the parameterization of solar radiative transfer process was based on Chou and Lee(1996). The total ozone amounts measured by Breve. Ozone Spectrophotometer and the aerosol amounts by Nakajima et al.(1996) was used as the input data of the solar radiative transfer model. And the surface albedo is assumed to be 0.20 in summer and 0.85 in winter. The sensitivity test of solar radiative transfer model was done with the variation of total ozone, aerosol amount, and surface albedo. When the cosine of solar zenith angle is 0.3, Erythemal UV-B radiation decreased 73% with the 200% increase of total ozone from 100 DU to 300 DU, but the decrease of UV-A radiation is about 1%. Also, for the same solar zenith angle, UV-A radiation was decreased 31.0% with the variation of aerosol optical thickness from 0.0 to 0.3 and Erythemal UV-B radiation was decreased only 6.1%. The increase of Erythemal W-B radiation with the variation of surface albedo was twice that of UV-A increase. The surface Erythemal UV-B and UV-A radiation calculated by solar raditive transfer model were compared with the measured values fer the relatively clear day at King Sejong Station in West Antarctica. The model calculated Erythemal UV-B radiation at the surface coincide well with the measured values except for cloudy days. But the difference between the model calculated UV-A radiation and the measured value at the surface was large because of cloud scattering effect. So, the cloud property data is needed to calculate the UV radiation more exactly at King Sejong Station in West Antarctica.

• 한국표면공학회지
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• 제31권6호
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• pp.407-416
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• 1998