Abstract
We have been studied on the high concentration ozonized water production technology which substitute for the SPM wet cleaning solution process as the PR strip process after the photolithography process in the semiconductor and flat panel display manufacturing. In this work, we have developed the surface discharge type ozone generator which has the characteristics of the 12 ［wt%］ ozone concentration at the oxygen gas flow of 0.5［ℓ/min］ oxygen per cell and also developed the high efficiency ozone contactor for the mixing ozone gas with deionized water. As the production test results of the ozonized water, we obtained the ozonized water concentration above 80［ppm］ at the 10［wt%］ ozone gas concentration, and also had a good result of the PR strip rate of 147［nm/min］. at the 70［ppm］ ozonized water.
반도체 또는 평판디스플레이 제조에 있어 노광공정 후의 PR(photo-resist) 제거 공정으로서 기존의 황산기반 용액을 대체하는 고농도 오존 수 생성 기술에 대한 연구를 수행하였다. 세라믹 연면방전구조의 오존발생장치를 개발하여, 0.5［ℓ/min］의 산소 유량에서 최대 12［wt%］이상의 오존가스 농도를 얻었으며, 이를 고농도로 물과 혼합하기 위한 고효율 오존접촉장치를 개발하였다. 오존 수 생성 실험 결과, 오존가스 10［wt%］에서 80［ppm］이상의 오존 수 농도를 달성하였으며, 70［ppm］의 오존 수에서 PR 제거율 147［nm/min］의 양호한 결과를 얻었다.
