Study on Electro-Mechanical Characteristics of Array Type Capacitive Pressure Sensors with Stainless Steel Diaphragm and Substrate (스테인리스 강 박막 및 기판을 이용한 배열형 정전용량 압력센서의 전기 기계적 특성연구)
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- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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- v.30 no.11 s.254
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- pp.1369-1375
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- 2006