Electron Cyclotron Resonance $N_2$ O-플라즈마 게이트 산화막을 사용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 성능 향상 및 단채널 효과 억제
(Improved Performance and Suppressed Short-Channel Effects of Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors with Electron Cyclotron Resonance $N_2$ O-Plasma Gate Oxide)
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- 전자공학회논문지D
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- 제35D권12호
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- pp.68-74
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- 1998