A low cost force./moment sensor that can be used in the robot teaching task is presented. Force Sensing Resistor is used as the transducer. The principle of force/moment detection is explained, the architecture of the sensor is shown, and the measurement of the force/moment is presented. The force/moment sensor shown in this work is not meant to be used in a precise force/moment control, but it is intended to be used in the robot teaching where low accuracy can be tolerated.
Display quality depends on panel temperatures. To compensate it, temperature sensor was integrated on the panel. The conventional temperature sensor integrated on the panel needs external reference resistor. Since the resistance of external resistor can vary according to the variation of the environment temperature, the conventional temperature sensor can make error in temperature sensing. The environmental temperatures can change by the back light unit, driving circuits or chips. In this paper, we proposed a integrated temperature sensor on display panel which does not need external reference resister. Instead of external reference resistor, we used two materials which have different temperature coefficient in resistivity. They are connected serially and the output voltage was measured at the point of connection with the applied voltage to both ends. The proposed sensor was fabricated with indium tin oxide(ITO), and Mo metal electrode temperature sensor which were connected serially. We verified the temperature senor by the measurements of sensitivity, lineality, hysteresis, repeatability, stability, and accuracy.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제17권2호
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pp.180-185
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2017
In this research, we proposed the simple and efficient method to calculate the shear stresses by using the mid-point measurements in ${\pm}45^{\circ}$ semiconductor resistor-sensor pair. Compared to the previous works, the measurements became much simpler by combining the approximation theory with the technique of mid-point measurement. In addition, we proposed another novel method for the stress calculation in which we could increase the sensitivity of the stress sensor by controlling the applied voltage between the sensor-pair. For the applied voltage of 8 V, the sensitivity showed a significant increase by 100%.
The thin, square-diaphragm silicon pressure sensor utilizing shear piezoresistance effect was designed and fabricated and its characteristics were examined. The sensor has only one diffused resistor, whereas conventional full-bridge sensor has four. Sensitivity is somewhat lower but temperature compensation is easier than the latter. The proposed sensor was fabricated with only one p-type diffused resistor of the dimension of 113x85\ulcorner\ulcornerlocated near the center of the edge of the diaphragm. The resistor was at 45\ulcornerwith the edge of the diaphragm. The sensitivity of the sensor was 36\ulcorner/V\ulcornermHg and was linear in the pressure range from 0 to 300 mmHg. The temperature coefficient without temperature compensation was 55 ppm/\ulcorner and it was decreased to about 0.17 mmHg/\ulcorner with compensation in the range from 10 to 60\ulcorner.
Infrared bolometer sensor's variation is detected by voltage drop between reference resistor and bolometer resistor in this architecture. One of the serious problems in this architecture is that these resistors value has a process variation. So common-mode level could be different from expectation in room temperature. Different common-mode level could lead to wrong output at the end of readout circuit. We suggest useful method to solve this problem. Difference correction using capacitor has reduced CM level difference to 86% for 1 $M\Omega$. bolometer and reference resistor's 10% variation.
We present in this Paper a microwave Power sensor fabricated by a standard CMOS process and a bulk micromachining process. The sensor consists of a CPW transmission line, a resistor as a healer, and thermocouple arrays. An input microwave heater, the resistor so that the temperature rises proportionally to the microwave power and tile thermocouple arrays convert it to an electrical signal. The sensor uses air bridged 8round of CPW realized by wire bonding to reduce tile device size and cost and to improve the thermal impedance. Al/poly-Si junctions are used for the thermocouples. Poly-Si is used for tile resister and Aluminium is for transmission line. The resistor and hot junctions of the thermocouples are placed on a low stress silicon nitride diaphragm to minimize a thermal loss. The fabricated device operates properly from 1㎼ to 100㎽\ulcorner of input power. The sensitivity was measured to be ,3.2~4.7 V/W.
In this paper, we present a finger tip tactile sensor which can detect contact normal force as well as slip. The sensor is made up of two different materials, such as polyvinylidene fluoride (PVDF) known as piezoelectric polymer, and pressure variable resistor ink. In order to detect slip on the surface of the object, two PVDF strips are arranged along the normal direction in the robot finger tip and the thumb tip. The surface electrode of the PVDF strip is fabricated using silk-screening technique with silver paste. Also a thin flexible force sensor is fabricated in the form of a matrix using pressure variable resistor ink in order to sense the static force. The developed tactile sensor is physically flexible and it can be deformed three-dimensionally to any shape so that it can be placed on anywhere on the curved surface. In addition, a tactile sensing system is developed, which includes miniaturized charge amplifier to amplify the small signal from the sensor, and the fast signal processing unit. The sensor system is evaluated experimentally and its effectiveness is validated.
In this paper, we present the finger tip tactile sensor which can detect contact normal force as well as slip. The developed sensor is made of two different materials, such as polyvinylidene fluoride(PVDF) that is known as piezoelectric polymer and pressure variable resistor ink. In order to detect slip to surface of object, a PVDF strip is arranged along the normal direction in the robot finger tip and the thumb tip. The surface electrode of the PVDF strip is fabricated using silk-screening technique with silver paste. Also a thin flexible force sensor is fabricated in the form of a matrix using pressure variable resistor ink in order to sense the static force. The developed tactile sensor is physically flexible and it can be deformed three-dimensionally to any shape so that it can be placed on anywhere on the curved surface. In addition, we developed a tactile sensing system by miniaturizing the charge amplifier, in order to amplify the small signal from the sensor, and the fast signal processing unit. The sensor system is evaluated experimentally and its effectiveness is validated.
Electric power in large devices is controlled by digital circuits, such as switching mode power supply. This kind of power circuits require accurate current sensor for power distribution. We studied characteristics of shunt resistor, which has many advantages for commercial application compared to Hall-effect current sensor. We applied ceramic package to the shunt resistor. Ceramic package has good thermal conductivity compared to plastic package, and this point is important for space requirement in Printed Circuit Board (PCB). Another advantage of the ceramic package is that surface mount technology (SMT) can be used for production. Our experimental results showed that the ceramic packaged resistor showed about 50% lower temperature than the plastic packaged one. Burning point and frequency characteristics are also discussed.
본 논문에서는 전기 저항식 수분 측정 방식을 선택한 토양수분센서를 제안하였다. 이 방식은 토양내의 수분량에 따라 저항의 변화가 생기는 것을 전기적인 신호로 변환하여 토양수분량과의 관계를 비교하여 수분량을 측정하는 방식으로 방법이 간단하며 저렴한 비용으로 간단하게 장치를 구현하였으며, 시리얼통신을 이용하여 여러 개의 센서를 하나의 네트워크에 묶어 사용하였다. 이 센서 네트워크를 사용하여 IMS(Internet Management System)에 적용하였으며, 센서 네트워크가 웹에서도 잘 작동함을 보였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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