• 센서학회지
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• 제26권6호
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• pp.397-401
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• 2017

A DC resistance type humidity sensor using conductive carbon ink was fabricated and its performance was evaluated. The humidity sensor was fabricated using a screen printing technique and have a structure that does not require additional metal electrodes to measure resistance change. To evaluate the performance of the humidity sensor, we measured the DC resistance change under various relative humidity levels. The fabricated humidity sensor showed a resistance change of about $2.5{\sim}50k{\Omega}$ in 11 ~ 95% RH environment. It also shows a linear relationship in the relative humidity versus log DC resistance graph. In comparison with commercial humidity sensor under real environment, it can be confirmed that the resistance of the humidity sensor changes to almost the same level as the measured humidity. These results show that the resistance type humidity sensor can be operated stably in actual environment.

• 센서학회지
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• 제1권2호
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• pp.125-130
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• 1992

습도감지물질로서 PMMA박막을 사용하여 저항형 습도감지소자를 제조하고 그 특성을 조사하였다. PMMA에 DVB를 첨가하여 가교결합을 일으키고 여기에 PVA를 섞어 제조된 습도센서는 상대습도의 증가에 따라 저항의 변화를 나타내었으며, 흡착에 비해 탈착 시 약 3% 미만의 히스테리시스 특성을 나타내었다. 또한 제조된 소자는 좋은 장기안정도를 보였으며, 응답시간은 흡착시에는 약 7분, 탈착시에는 약 5분이었다.

• 전자공학회논문지SC
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• 제43권6호
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• pp.27-32
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• 2006

전기 저항식 습도 센서를 이용하여 온도 보상된 습도계를 개발하였다. 개발된 습도계는 사인파 발생기, 대수 변환기, 정류기, 그리고 증폭기로 구성되며, 사용된 센서의 선형화와 온도 보상을 수행한다. 습도계의 동작 원리를 제시하였고, 실험 결과들을 이용하여 이론적인 예측의 타당성을 증명하였다. 실험 결과는 습도계의 변환 감도가 약 24.8 mV/%RH이고 변환 특성의 선형 오차가 30에서 80 %RH의 상대습도 범위에서 17.2 %보다 작다는 것을 보여준다. 실험 결과는 또, 출력 전압의 온도 계수가 22에서 $40^{\circ}C$의 온도 범위에서 $10149ppm/^{\circ}C$ 이하라는 것을 보여준다.

• Macromolecular Research
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• 제11권5호
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• pp.322-327
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• 2003

Two kinds of mutually cross-linkable copolymers were prepared to be used as humidity-sensing materials. The humidity-sensitive thin films consist of cross-linked polyelectrolytes of the following component: 4-vinylbenzyl dimethyl 2-(dimethylphosphino)ethyl phosphonium chloride (1)/ bis(2-methoxyethyl)itaconate (2)= 3/l, 2/l, 1/1 and 1/2 and 4-vinylbenzyl chloride (3)/ vinylbenzyl tributyl phosphonium chloride (4)= 3/l, 2/l, 1/1 and 1/2. The humidity sensor prepared from the reaction of 1/2= 2/l with 3/4= 2/l showed an average resistance of 723,36.2 and 2.42 ㏀ at 30, 60 and 90%RH, respectively. Temperature dependence, frequency dependence, and response time were measured and the reliability test such as water durability and long-term stability were also estimated.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제11권1호
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• pp.49-57
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• 2004

습도센서의 감습막으로 응용하기 위하여 폴리이온넨계 전해질 잉크를 제조하였다. 감습필름 은 금전극이 인쇄된 알루미나 기판 위에 잉크젯 인쇄 기법을 사용하여 도포 하였다. 또한 methyl methacrylate, acrylic acid, 2-hydroxyethyl methacrylate 그리고 [(2-methacryloyloxy)ethyl)ethyl]trimethylammonium chloride의 공중합체를 합성하였으며, 이것은 침적코팅에 의한 감습막 제조에 사용하였다. 상대습도에 따른 전기적 특성을 측정하였으며 침적코팅에 의한 습도센서와 비교하였다. 습도센서는 상대습도가 증가함에 따라서 저항의 감소함을 보여주었으며 그들의 저항특성은 시료간에 가깝게 일치함을 보여주었다.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제34권9호
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• pp.2781-2786
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• 2013

We examined the effect of electrode fingers and gaps of coplanar interdigitated electrode (IDE) structures to characterize the ammonium salt-containing polyelectrolyte film of resistance-based humidity sensors. IDEs designed for this purpose were flexible gold electrodes deposited on a polyimide substrate using a printing process because the geometry presents a potential for tunable sensitivity over other electrode designs. The basic design of the sensors consisted of IDEs with a different number of electrode fingers such as 3, 4, and 5 and gap sizes of 310, 360, 410, and $460{\mu}m$. Details of the AC complex impedance characteristics such as the Nyquist plot, Bode plot, and activation energy based on electrode construction were investigated.

• 폴리머
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• 제36권2호
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• pp.169-176
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• 2012

저항형 습도센서의 개발을 위하여 스크린 인쇄방법으로 glass epoxy(GE) 기재 위에 핑거의 수와 그 사이의 간격이 다른 여러 가지 바이트형의 금 전극을 제조하였다. 전극의 기본적인 구조는 핑거 수가 3, 4 및 5를 가지며 간격은 각각 310과 460 ${\mu}m$이다. 전극은 처음에 은 나노 페이스트로 전극 패턴을 인쇄하고 연속적으로 Cu, Ni 및 Au를 무전해 도금을 진행하여 제조하였다. 감습성 고분자 전해질은 [2-(methacryloyloxy)ethyl] dimethyl benzyl ammonium chloride(MDBAC)과 methyl methacrylate(MMA)의 공중합체를 사용하였으며 스크린 인쇄 방법으로 Au 전극/GE 기재 위에 인쇄하였다. 이렇게 제조된 습도 센서의 20-95%RH 영역의 상대습도 대 로그 임피던스 그래프에서 좋은 직선성을 보여주었으며 히스테리시스는 1.5%RH 이하 및 75초의 응답 및 회복 속도를 보여주었다. 전극의 구조는 고분자 저항형 습도센서의 감습특성에 큰 영향을 미치며 전해질 고분자와 전극 사이의 활성화 에너지, 온도의존성, 감도, 직선성 및 히스테리시스와 같은 감습특성 등의 차이를 비교하였고 특히 이온의 이동에 관여하는 활성화 에너지 및 온도 의존성에 큰 영향을 미쳤다.

• 폴리머
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• 제31권4호
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• pp.302-307
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• 2007

저항형 습도센서를 제조하기 위하여 [2-[(methacryloyloxy)ethyl]dimethyl] propylammonium bromide(MEPAB), [2-[(methacryloyloxy)ethyl]-2-hydroxyethyl]dimethylammonium bromide(MEHDAB), 2-[(methacryloyloxy)ethyl]trimethylammonium chloride(METAC), 그리고 n-butyl methylacrylate(BMA)의 공중합체를 사용하였다. 4가지 종류의 4원 공중합체 MEPAB/BMA/MEHDAB/METAC=4/4/1/1, 3/5/1/1, 2/6/1/1, 1/7/1/1을 blocked-isocyanate가교제를 사용하여 Ag/Pd 전극/알루미나에 도포한 후 좋은 내수성을 보여주었다. 습도센서의 상대습도에 대한 주파수 의존성, 온도 의존성, 히스테리시스, 응답속도 그리고 내수성을 평가하였다. MEPAB/BMA/MEHDAB/METAC=2/6/1/1 공중합체의 경우, $30{\sim}90%RH$에서 $1.4\;M{\Omega}{\sim}2.9\;k{\Omega}$의 저항을 보여주었으며 좋은 직선성과 작은 히스테리시스를 보여주었다.

• 융합신호처리학회논문지
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• 제9권2호
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• pp.146-153
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• 2008

본 연구에서는 $0.8{\mu}m$ 아날로그 혼합 CMOS 기술에 의한 2단 연산 증폭기를 가진 집적화된 습도센서 시스템을 설계 및 제작하였다. 시스템은 28핀 및 $2mm{\times}4mm$의 크기를 가졌으며, 휘스톤 브릿지형 습도센서, 저항형 습도센서, 온도센서 및 신호의 증폭과 처리를 위한 연산증폭기를 단일 칩에 구성하였다. 기존의 CMOS 공정에 트렌치형의 감지 영역을 형성하기 위해 폴리-질화 에치 스탑 공정을 시도하였다. 이러한 수정된 기술은 CMOS 소자의 특성에 영향을 주지 않았고, 표준 공정으로 동일 칩 상에 센서와 시스템을 제작할 수 있도록 하였다. 연산증폭기는 이득 폭이 5.46 MHz 이상, 슬루율이 10 V/uS 이상으로 센서를 동작하기에 안정된 특성을 보였다. N형 습도감지 전계효과 트랜지스터의 드레인 전류는 상대습도가 10%에서 70%로 변화할 때 0.54mA에서 0.68 mA로 변화하였다.

• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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• 제55권10호
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• pp.475-480
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• 2006

Vanadium oxide thin films (VOx) have been deposited by RF magnetron sputtering from $V_2O_5$ target under different oxygen partial pressure ratios(0%, 10%) and substrate temperatures$(27^{\circ}C,\;400^{\circ}C)$. Crystallographic structure and morphology of the films are studied by XRD and SEM. Humidity-sensing properties of resistive sensors having interdigitated electrode structure are characterized through electrical conduction measurements. The films deposited at room temperature are amorphous whereas the ones deposited above foot are polycrystalline. The sensors show good response to humidity over 20%RH to 80%RH. Vanadium oxide thin films deposited with $0%O_2$ partial pressure at $400^{\circ}C$ exhibit greater sensitivity to humidity change than others.