인이 주입된 poly-Si/SiO$_{2}$ /Si 기판에서 텅스텐 실리사이드의 형성에 관한연구
(Stduy on formation of W-silicide in the diped-phosphorus poly-Si/SiO$_{2}$ /Si-substrate)
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- 전자공학회논문지A
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- 제33A권3호
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- pp.126-134
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- 1996