Study on the Electrical Properties of Amorphous HfInZnO TFTs Depending on Sputtering Power (비정질 하프늄인듐징크옥사이드 산화물 반도체의 공정 파워에 따른 트랜지스터의 전기적 특성 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.24 no.8
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- pp.674-677
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- 2011