We studied local anodization on permalloy $(Ni_{80}Fe_{20})$ thin film with an atomic force microscope (AFM), which was performed by applying a voltage between the permalloy sample and conductive AFM tip. Comparing with anodization on Si (100) substrate, nano-structures on the permalloy thin film was fabricated with low processability.In order to improve the processability on the permalloy thin film, we used dot-fabrication method, thatis, a conductive AFM probe was kept at a position on the film during the anodization process.
Recently we reported the evolutionary transition from the positive magnetoresistance to the negative was discovered in the transverse configuration as the thickness of permalloy film increases. The discovered peculiarities of positive magnetoresistance phenomenal were explained in the framework of the uniform rotation model of the film magnetization reversal.
The electrodeposition of permalloy thin film on various substrates was carried out using a paddle cell. The magnetic properties of film deposited were affected mostly by the Fe content in permalloy film and the effect of heat treatment in the presence of applied magnetic field was investigated. The optimum conditions for the electrodeposition of permalloy for the application of thin film head were presented in terms of iron concentration in bath and applied current density.
The soft magnetic property for the Corning glass/Ta(5 nm)/[Conetic, Permalloy)/Ta(3 nm) prepared by the ion beam deposition sputtering was investigated. The coercivity and saturation magnetic field of conetic (NiFeCuMo) and permalloy (NiFe) layer with easy and hard direction along to the applying magnetic field during deposition was compared with each other. The surface resistance of conetic film with a thickness of 10 nm was 2 times lower than one of permalloy film. The coercivity and the magnetic susceptibility of conetic film decreased and increased 3 times to one of permalloy film, respectively. These results suggest that a highly sensitive GMR-SV or MTJ using conetic film can be possible to develop the bio-device.
80% Ni-Permalloy is soft magnetic material with high initial permeability and low magnetic coercive force Hc, and is used to computer memory cores and minirelays of communication e-ngineering. In this paper 80 Permalloy thin film on copper cathode was alloy-deposited from Watts so-lution contatining FeSO4$.$7H2O. The amount of FeSO4$.$7H2O in the solution, pH, temperature of the solution and plating current density were varied as parameters and the resulting comp-osition changes of deposited film were analyzed electrochemically with respect to the parame-ters. From the above procedure electroplating conditions for deposition of 80 Permalloy were est-ablished as following: 17-21 g/$\ell$ of FeSO4$.$7H2O in Watts solution, current density 1.0-2.0 Amp/dm2, pH 2.5-3.0 and temperature range of 50-60$^{\circ}C$.
Kim, Hyun-Tae;Kim, Sang-Joo;Han, Suk-Hee;Kim, Hi-Jung;Kang, Il-Koo
Journal of the Korean Magnetics Society
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v.5
no.5
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pp.533-537
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1995
The stress in Permalloy thin films fabricated by rf magnetron sputtering on the Si (100) substrates has been investigated with various deposition parameters such as the film thickness, argon pressure, and rf power. The internal stress changes from compressive to tensile with higher input power and argon pressure. The cause of stress variations with these deposition parameters is discussed in terms of thermal and/or intrinsic stress changes. Low coercive force is obtained from Permalloy thin films at a condition of low compressive stress.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.18
no.5
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pp.478-483
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2005
In this paper, we synthesized 10 to 20 nm diameter NiFe nanoparticles and nanoparticle films utilizing supersonic jet deposition of nanoparticle aerosols generated by laser ablation of $30\;to\;45{\mu}m$ diameter permalloy $(Ni_{81}Fe_{19} \;at\;{\%})$ microparticles. The component and composition of the nanoparticles were characterized by an energy dispersive X-ray spectroscopy. The morphology of the nanoparticles and nanoparticle films was analyzed by a high-resolution transmission electron microscopy and a scanning electron microscopy, respectively. The experimental results showed that the nanoparticles and nanoparticle films have remarkable properties with an excellent preservation of the composition of feedstock permalloy microparticles. The purpose of the present work is to present details on the composition and nanostructural characterizations for NiFe nanoparticles and nanoparticle films prepared by laser ablation of microparticles (LAM).
The evolution of textures in Fe-Ni alloy thin films fabricated by PVD using a sputtering method was investigated with parameters such as deposition time and chemical composition. The textures of the as-deposited films were characterized by fibre-type. In Invar alloy(Fe-36.5 wt%Ni) thin film, the <110>//ND fibre texture as a starting component changed to the <210>//ND fibre texture with increasing deposition time. In Permalloy(Fe-81 wt%Ni) thin film, a mixture of the <221>//ND and <311>//ND fibres developed at the early stage of deposition, and then transformed to the <210>//ND fibre with increasing deposition time. These texture changes were discussed in terms of relationship with the microstructural evolution of the films.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.14
no.1
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pp.74-83
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2001
In this study, the optimum structure of a magnetic thin film inductor was designed for application of DC-DC converters. The Ni$\sub$81/Fe$\sub$19/ (at%) alloy was selected as a high-frequency($\geq$MHz) magnetic thin film magnetron sputtering system. As-deposited NiFe thin films show similar magnetic properties compared to bulk NiFe alloys, indicating that they have a good film quality. The optimum design of dolenoid-type magnetic thin film inductors was performed utilizing a Maxwell computer simulator (Ansoftt HFSS V7.0 for PC) and parameters obtained from the magnetic properties of magnetic core materials selected. The high-frequency characteristics of the inductance(L) and quality factor(Q) obtained for the designed inductors through simulation agreed well with those obtained by theoretical calculations, confirming that the simulated result is realistic. The optimum structure of high-performance (Q$\geq$60, L = 1${\mu}$H, efficiency $\geq$90%), high-frequency ($\geq$5MHz), and solenoid-type magnetic thin film inductors was designed successfully.
We measured an anisotropy inhomogeniety and dispersion of rf sputterd permalloy thin films by TBP(Transverse Biased Permeability) measurement method. Angular distribution function had a shape similar to the Lorentzian distribution, but magnitude distribution function deviates from the sysmetric Lorentzian distribution because of long tail to the region of a high Hk value. With increasing film thickness, the angular and magnitude anisotropy dispersion increased. The increase of angular dispersion was due to both the increase of grain size and local anisotropy in thicker films.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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