• 제목/요약/키워드: park design

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고자리파리에 의한 양파피해(被害)의 포장내(圃場內) 분포양식(分布樣式)과 피해량(被害量) 추정(推定)을 위한 표본추출(標本抽出) 계획(計劃) (Within Field Distribution Pattern and Design of a Sampling Plan for Damaged Onions by the Onion maggot, Hylemya antiqua Meigen(Diptera: Anthomyiidae))

  • 박정규;현재선;조동진;이기성;하재규
    • 한국응용곤충학회지
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    • 제24권1호
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    • pp.29-33
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    • 1985
  • 고자리파리 유충(幼蟲)에 의(依)한 양파의 피해(被害)를 $990m^2$ 포장(圃場)에서 1984년(年) 4월(月) 11일(日)부터 5월(月) 21일(日)까지 10일(日) 간격(間隔)으로 전주(全株) 조사(調査)를 하여 피해지도(被害地圖)를 작성(作成)하였다. 지도(地圖)를 양파 80주(株)를 하나의 단위(單位)로 하는 사각형(四角形)으로 구분(區分)하여 빈도분포표(頻度分布表)를 작성(作成)하고 Chi-square test에 의(依)하여 Poisson분포(分布)와 부(負)의 이항분포(二項分布)를 적용(適用)해 본 결과(結果) 부(負)의 이항분포(二項分布)가 전(全) 생육기간(生育期間)에 걸쳐서 적합(適合)하였다. 주변효과(周邊效果)는 지도(地圖)를 중앙부(中央部)와 주변부(周邊部)로 이분(二分)한 후(後) 피해주율(被害株率), 분산(分散)과 평균(平均)의 비(比)를 비교(比較)해 본 결과(結果) 주변부(周邊部)의 그것이 중앙부(中央部)보다 높게 나타났다. 지도(地圖)를 다시 비슷한 크기의 4개(個) 구(區)로 나누고 각(各) 구내(區內)의 표본단위(標本單位)(양파 80주(株)를 다시 4등분(等分)하여 2차단위(次單位)로 하였다. 시기별(時期別)로 각(各) 구(區)에서 5개(個)의 표본단위(標本單位)를 임의(任意)로 택(擇)하고 분산분석(分散分析)하였다. 그 결과(結果) 최적(最適) 표본수(標本數)는 2개(個)의 2차단위(次單位)를 택(擇)할 경우(境遇) 5%의 오차(誤差) 범위(範圍)에서는 $2{\sim}8$개(個), 10%의 오차(誤差) 범위(範圍)에서는 $1{\sim}2$개(個)의 표본단위(標本單位)를 택(擇)하는 것이 좋을 것으로 생각된다.

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고에너지 사양이 비육후기 거세한우의 성장, 도체, 및 혈액성상에 미치는 영향 (Effects of high energy diet on growth performance, carcass characteristics, and blood constituents of final fattening Hanwoo steers)

  • 정기용;장선식;이은미;김현주;박보혜;권응기
    • 농업과학연구
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    • 제42권3호
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    • pp.261-268
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    • 2015
  • 본 연구는 한우 거세 비육우의 고에너지 사료급여에 따른 성장단계별 발육 및 혈액성상의 변화와 도축시기에 따른 도체특성을 구명하고자 수행하였다. 한우 거세우 48두를 2처리(고에너지 및 일반배합사료 급여)와 3개의 도축시기(26, 28, 30개월령)별로 처리 당 8두를 완전임의 배치하였다. 공시축 시험개시 시 체중은 평균 149.7 kg 이었고, 출하 시 체중은 633.5 kg(26개월), 673.5 kg(28개월), 그리고 734.5 kg(30개월)으로 나타났다. 체중은 비육기간이 길어질수록 증가하였고(P < 0.05), 건물사료 섭취량은 비육전기와 후기 모두 고에너지 사료급여구에서 높게 나타났다(P < 0.05). 혈액성분 분석에서는 비육후기 26개월령에서 포도당 농도가 가장 높게 나타났고, 혈중 중성지방의 농도 또한 비육후기 26개월령 출하 시험군에서 가장 높게 나타났다. 총 단백질의 농도는 28개월령 시험군에서 가장 낮게 나타났고 30개월령에 가장 높게 나타났다. 도체조사 결과 육량특성중 도체중은 30개월령 처리구에서 높게 나타났고(P < 0.05), 육질특성중 근내지방도, 육색, 및 성숙도는 30개월령에서 가장 높게 나타났다. 특히 고에너지 사료급여구에서 육질관련 특성이 높게 나타났다(P < 0.05). 이러한 결과는 한우 거세우의 사양기간동안 사료의 TDN가를 3%로 증가한 고에너지 사료를 급여함으로서 일반시험구와 비교하여 동일 육질등급에 도달하는 기간을 감소할 수 있다는 결과를 제시하였다.

EFFECT OF NUMBER OF IMPLANTS AND CANTILEVER DESIGN ON STRESS DISTRIBUTION IN THREE-UNIT FIXED PARTIAL DENTURES: A THREE-DIMENSIONAL FINITE ELEMENT ANALYSIS

  • Park, Ji-Hyun;Kim, Sung-Hun;Han, Jung-Suk;Lee, Jai-Bong;Yang, Jae-Ho
    • 대한치과보철학회지
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    • 제46권3호
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    • pp.290-297
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    • 2008
  • STATEMENT OF PROBLEM: Implant-supported fixed cantilever prostheses are influenced by various biomechanical factors. The information that shows the effect of implant number and position of cantilever on stress in the supporting bone is limited. PURPOSE: The purpose of this study was to investigate the effect of implant number variation and the effect of 2 different cantilever types on stress distribution in the supporting bone, using 3-dimensional finite element analysis. MATERIAL AND METHODS: A 3-D FE model of a mandibular section of bone with a missing second premolar, first molar, and second molar was developed. $4.1{\times}10$ mm screw-type dental implant was selected. 4.0 mm height solid abutments were fixed over all implant fixtures. Type III gold alloy was selected for implant-supported fixed prostheses. For mesial cantilever test, model 1-1 which has three $4.1{\times}10$ mm implants and fixed prosthesis with no pontic, model 1-2 which has two $4.1{\times}10$ mm implants and fixed prosthesis with a central pontic and model 1-3 which has two $4.1{\times}10$ mm implants and fixed prosthesis with mesial cantilever were simulated. And then, 155N oblique force was applied to the buccal cusp of second premolar. For distal cantilever test, model 2-1 which has three $4.1{\times}10$ mm implants and fixed prosthesis with no pontic, model 2-2 which has two $4.1{\times}10$ mm implants and fixed prosthesis with a central pontic and model 2-3 which has two $4.1{\times}10$ mm implants and fixed prosthesis with distal cantilever were simulated. And then, 206N oblique force was applied to the buccal cusp of second premolar. The implant and superstructure were simulated in finite element software(Pro/Engineer wildfire 2.0). The stress values were observed with the maximum von Mises stresses. RESULTS: Among the models without a cantilever, model 1-1 and 2-1 which had three implants, showed lower stress than model 1-2 and 2-2 which had two implants. Although model 2-1 was applied with 206N, it showed lower stress than model 1-2 which was applied with 155N. In models that implant positions of models were same, the amount of applied occlusal load largely influenced the maximum von Mises stress. Model 1-1, 1-2 and 1-3, which were loaded with 155N, showed less stress than corresponding model 2-1, 2-2 and 2- 3 which were loaded with 206N. For the same number of implants, the existence of a cantilever induced the obvious increase of maximum stress. Model 1-3 and 2-3 which had a cantilever, showed much higher stress than the others which had no cantilever. In all models, the von Mises stresses were concentrated at the cortical bone around the cervical region of the implants. Meanwhile, in model 1-1, 1-2 and 1-3, which were loaded on second premolar position, the first premolar participated in stress distribution. First premolars of model 2-1, 2-2 and 2-3 did not participate in stress distribution. CONCLUSION: 1. The more implants supported, the less stress was induced, regardless of applied occlusal loads. 2. The maximum von Mises stress in the bone of the implant-supported three unit fixed dental prosthesis with a mesial cantilever was 1.38 times that with a central pontic. The maximum von Mises stress in the bone of the implant-supported three-unit fixed dental prosthesis with a distal cantilever was 1.59 times that with a central pontic. 3. A distal cantilever induced larger stress in the bone than a mesial cantilever. 4. A adjacent tooth which contacts implant-supported fixed prosthesis participated in the stress distribution.

철근콘크리트 단순보의 유효 단면2차모멘트에 대한 모멘트 분포 형상의 영향 분석 (Analysis on the Influence of Moment Distribution Shape on the Effective Moment of Inertia of Simply Supported Reinforced Concrete Beams)

  • 박미영;김상식;이승배;김창혁;김강수
    • 콘크리트학회논문집
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    • 제21권1호
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    • pp.93-103
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    • 2009
  • 철근콘크리트 휨 부재의 처짐 산정에는 일반적으로 유효 단면2차모멘트의 개념이 적용되고 있으며, 콘크리트 구조설계기준에서는 처짐의 간편한 계산을 위하여 Branson이 제안한 유효 단면2차모멘트를 부재의 전 경간에 동일하게 대표값으로 사용하고 있다. 그러나, 기준에서 제시된 유효 단면2차모멘트는 등분포하중을 전제로 제안되었으므로 다른 하중상태에서도 기준식의 정확성에 대해 검증할 필요가 있다. 따라서, 이 연구에서는 모멘트 분포 형상이 처짐 계산에 필요한 유효 단면2차모멘트에 미치는 영향을 실험적으로 검증하기 위해 콘크리트 강도와 지점에서부터 가력점까지의 거리를 주요변수로 하여 총 6개의 철근콘크리트 보 실험체를 제작하여 구조실험을 수행하고, 실험결과를 기준식 및 다른 연구자들이 제안한 식과 비교 분석하였다. 또한, 모멘트 분포형상을 고려할 수 있는 변분해석에 의한 처짐 산정 방법을 제안하였다. 실험 결과, 보의 유효 단면2차모멘트는 모멘트 분포 형상에 따라 다소 차이가 있었으나 기준식은 이를 반영하지 못한 것으로 나타났다. 이 연구에서 제안한 변분해석에 의한 처짐값과 실험값의 비율이 기준식에 비해 변동폭이 작게 나타났으며, 따라서, 모멘트 분포 형상의 영향을 고려한 부재의 처짐 산정에 유용한 방법이라고 판단된다. 그러나, 실험값과는 다소 차이가 있어 처짐 형상 함수의 개선을 통하여 이를 보완할 수 있는 추후 연구가 필요한 것으로 판단된다.

이산화탄소 흡수 공정에서 흡수액 최적 재생 조건에 대한 이론적 고찰 (Theoretical Study on Optimal Conditions for Absorbent Regeneration in CO2 Absorption Process)

  • 박성열
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제50권6호
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    • pp.1002-1007
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    • 2012
  • 에너지 수요의 지속적인 증가는 화석 연료의 사용을 통해 상당한 부분이 충족되고 있으며 이로 인한 이산화탄소의 배출은 지구온난화의 주요 원인으로 인식되고 있다. 대규모 발생원으로부터 이산화탄소를 포집하기 위한 방안의 하나로 흡수 공정이 적용되고 있으며, 흡수제의 흡수 및 재생으로 구성된 연속 순환 공정 특성상 흡수제의 특성뿐만 아니라 흡수 재생 운전 조건은 전체 공정 성능에 매우 중요한 부분을 차지한다. 이러한 최적의 운전 조건은 실제로 운전되고 있는 공정에서 찾아내는 것이 최선이라 할 수 있으나, 이를 위해 실제 상용 공정의 운전 변수를 임의로 변경하는 것은 공정 안정성 측면에서 현실적으로 불가능한 경우가 많다. 따라서 본 논문에서는 이러한 현실적인 제약을 극복하고자 흡수제의 기-액 상평형에 대한 이론적인 접근법을 적용하였다. 12 wt% $NH_3$ 수용액을 이용한 $CO_2$ 흡수 공정에서 최적 흡수 재생 조건 파악에 적용된 이론적인 접근법을 20 wt% Monoethanl amine (MEA) 수용액에 적용하여 흡수제의 최적 재생 조건을 예측하였다. 12 wt% $NH_3$ 수용액을 $CO_2$ 흡수 재생 공정에 사용할 경우, 재생 공정으로 공급하는 흡수액의 $CO_2$ 부하(loading)를 0.4 이하로 유지하는 것이 필요한 반면, 20 wt% MEA 수용액을 사용하는 경우에는 재생 공정으로 공급되는 흡수액의 $CO_2$ 부하에 대한 제한이 필요 없음을 알 수 있었다. 최적 재생 온도는 이론적 접근법을 이용해서 재생 공정으로 공급되는 흡수액의 $CO_2$ 부하에 따라 결정할 수 있으며, 재생된 흡수액의 $CO_2$ 부하는 흡수 공정에서 필요한 $CO_2$ 흡수량에 따라 결정되고 이를 기준으로 최적 재생 온도에 해당하는 열원의 공급량을 결정할 수 있게 된다. 12 wt% $NH_3$ 수용액을 이용한 실험실 규모의 연속 $CO_2$ 흡수 재생 실험에서 최적 재생 조건을 비교적 정확하게 예측할 수 있었던 이론적 접근법을 20 wt% MEA 수용액에 적용하여 최적 재생 조건 예측에 적용할 수 있음을 확인하였고, 실제 화학흡수제를 이용한 $CO_2$의 흡수 재생 공정의 설계 및 운전에 사용할 수 있는 가능성을 확인하였다.

성견에서 골형성단백질이 코팅된 임플란트가 치조골 증대에 미치는 영향 (Effect of rhPMP-2 coated implants on alveolar ridge augmentation in dogs)

  • 박찬경;김종은;신주희;류재준;허중보;신상완
    • 대한치과보철학회지
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    • 제48권3호
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    • pp.202-208
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    • 2010
  • 연구 목적: 이 연구의 목적은 골형성단백질 (recombinant human Bone Morphogenetic Protein-2; rhBMP-2)이 코팅된 임플란트가 치조골 증대에 미치는 영향을 알아보는 것이다. 연구 재료 및 방법: 6마리의 비글견이 실험에 사용되었다. 6개의 8 mm 길이의 임플란트가 발치 후 6개월 이상의 충분한 치유기간이 경과한 비글견의 치조골에 5 mm 깊이로 식립되었다. 각각의 동물에 좌측과 우측의 악궁-분할형으로 임의추출하여 한쪽에는 1.5 ml/mg 농도의 rhBMP-2가 코팅된 임플란트를, 반대편에는 코팅되지 않은 대조군 임플란트를 식립하고 임플란트 주변 골에 round bur를 이용하여 피질골 천공을 시행하였다. 점막골막판막에 이완절개를 시행하여 판막을 접합시키고 봉합하여 임플란트가 피개되도록 하였다. 방사선 사진 촬영은 수술 직후 (기준치), 수술 4주후, 수술 8주 후에 시행하였다. 측정은 각 방사선 사진의 임플란트 덮개나사 최상방에서 변연골까지의 거리를 측정하여 골 형성량을 계산하였다. 수술 직후와 수술 8주 후에 임플란트 안정도 (Implant Stability Quotient value; ISQ value)를 측정하였다. 통계분석을 위해 SPSS software를 사용하여 Man-Whitney ranksum test와 Wilcoxon signed ranksum test를 시행하였다. 통계적 유의수준은P=.05를 기준으로 하였다. 결과: 골형성단백질이 코팅된 임플란트에서 수직 결손부 상방으로 약 0.6 mm의 골 형성이 관찰되었다. 대조군에서는 제한된 양의 골 형성 혹은 골 소실이 일어났다. 각 시기에 따른 실험군과 대조군간의 골 형성량에 유의한 차이가 있었다 (P<.05). ISQ value는 수술 직후에는 실험군과 대조군의 유의한 차이가 없었지만 수술 8주 후에는 실험군에서 대조군 보다 유의하게 높게 증가되었다 (P<.05). 결론: 골형성단백질이 코팅된 임플란트는 완전히 치유된 치조골에서 임상적으로 유의한 골 증대 효과가 있는 것으로 보인다.

HepG2 및 PC12 세포에서 혼합 한약재 발효물의 산화적 스트레스 억제 활성 평가 (Effect of Fermented Herbal Mixture against Oxidative Stress in HepG2 and PC12 Cells)

  • 이윤정;김난슬;손명수;김교남;황용일;박은주
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제45권7호
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    • pp.1057-1064
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    • 2016
  • 생체 내에서 발생하는 활성산소종(ROS)은 정상적인 상태에서 체내의 항산화 효소와 물질에 의해서 소거되지만, ROS가 과도하게 생성되면 산화적 스트레스를 유발한다. 천연물을 이용하여 이러한 ROS를 경감시켜 산화적 스트레스를 감소시키는 것은 만성 질병을 예방하고 각종 질병의 합병증을 예방할 수 있는 식이 전략의 하나이다. 본 연구에서는 국화, 영지, 가시오가피, 오미자, 지구자, 구기자, 그리고 산수유를 공통으로 한 혼합 한약재 발효액을 제조하였으며, 조성에 따라 하고초와 쇠비름이 추가된 FHM-A 및 석창포와 산해박이 추가된 FHM-B로 구분하였으며, 혼합 한약재 발효물을 활용하여 차 및 음료 개발에 있어 기초자료로 활용하고자 하였다. FHM-A 및 FHM-B의 총페놀 함량을 분석한 결과 FHM-B에서 유의적으로 높은 총페놀 함량이 나타났다. ORAC value는 FHM-A가 FHM-B보다 유의적으로 높은 활성을 나타냈고, ROS 생성 억제 활성은 FHM-A와 FHM-B 간에 차이가 나타나지 않았다. 간세포인 HepG2 세포에서 에탄올로 유도된 산화적 스트레스에 대한 발효액 FHM-A 및 FHM-B는 $10{\sim}100{\mu}g/mL$에서 모두 세포독성을 나타내지 않았으며, FHM-A와 FHM-B 모두 에탄올로 유도된 세포독성에 대한 보호 효과를 나타냈다. 또한, FHM-A와 FHM-B 모두 에탄올로 유도된 산화적 스트레스로 인해 증가한 지방축적을 억제하는 효과를 나타냈다. 신경세포인 PC12 세포에서 $H_2O_2$로 유도된 산화적 스트레스에 대한 발효액 FHM-A 및 FHM-B의 분석 결과 $1{\sim}50{\mu}g/mL$에서 FHM-A와 FHM-B 모두 세포독성을 나타내지 않았으며, FHM-A와 FHM-B 모두 농도 의존적으로 $H_2O_2$로 유도된 세포독성에 대한 보호효과를 나타냈다. FHM-B는 항산화제로 잘 알려진 비타민 C와 같은 수준의 높은 세포보호 효과를 확인하였다. 이상의 연구 결과는 발효액 FHM-A와 FHM-B가 간 기능 및 신경 스트레스와 관련된 질병 예방을 위한 식품개발에 있어 기초 자료로 활용될 수 있음을 보여준다.

경관협정의 지속성을 위한 성공요소 도출 - 옹진군 문갑도와 수원시 거북시장길 사례분석을 통하여 - (Derivation of Success Elements for the Sustainability of Landscape Agreements - A Case Study on Ongjin-gun Mungab Island and Suwon Gobuk Market -)

  • 박혜은
    • 한국조경학회지
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    • 제47권6호
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    • pp.24-36
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    • 2019
  • 본 연구는 경관관리에서 주민의 역할이 점차 중요해지고 있는 가운데, 경관협정이 지속적으로 운영될 수 있는 성공요소 도출 및 이를 추진하기 위한 방향을 제시하는 것이 목적이다. 이에, 1) 문헌조사 및 전문가 인터뷰 조사를 통해 경관협정의 지속성을 고려한 성공요소(안)을 제시하였고, 2) 참여주체 인터뷰 조사 및 문헌분석을 통해 경관협정의 지속적 운영의 성공요소(안)을 선진사례에 적용한 후, 경관협정의 지속성을 위한 성공요소의 최종안과 이에 대한 추진방향을 제시하였다. 그 결과, 첫째, 3개의 대분류와 10개의 중분류, 25개의 세부항목으로 구성된 경관협정의 지속적 운영 성공요소를 제시하였다. 이것은 주민의지, 실현가능성, 행정수단의 실효성, 예산확보, 유지관리, 홍보, 전문가 지원, 전담지원 조직, 참여의 지속성, 주민참여 의사소통방식에 대한 내용이며, 경관협정 체결 준비단계, 체결단계, 유지관리단계에서 전반적으로 고려해야 하면서도 구체적인 세부항목이다. 둘째, 경관협정 지속적 운영의 추진방향을 제시하였다. 경관협정 체결은 주민의지가 높으며 경관협정에 대한 공감대가 형성된 이후에 주민들 스스로 지킬 수 있는 내용 중심으로 하고, 행정 담당자의 업무 지속성, 경관협정 체결준비부터 유지관리단계에 소요되는 자문비 및 활동비의 예산확보 근거 마련을 위한 제도가 필요하다. 그리고 경관협정 체결자인 주민들 간 지속적인 교류 및 역량강화, 이를 위한 주민참여 역량 정도에 맞는 전문가의 단계별 지원과 이를 근거할 수 있는 제도도 역시 필요하다. 셋째, 공공사업과 연계하여 경관협정을 체결하더라도 주민참여 역량이 갖춰져 있는 곳의 대상 지원 여부, 주민참여 경관관리가 가능하도록 행정과 전문가의 지속적 지원 여부가 경관협정의 지속적 운영에 영향을 미칠 수 있다는 것을 알 수 있었다. 본 연구는 사례분석에 있어서 두 곳을 대상으로 한 한계점을 가지고 있으며, 성공하지 못한 사례를 포함한 다양한 사례분석을 통한 보다 더 심층적인 연구는 향후 과제로 남겨두고자 한다.

국소 표면 플라즈몬 공명 (LSPR) 기반 비표지 바이오칩 제작 및 바이오센서로의 응용 (Fabrication of Label-Free Biochips Based on Localized Surface Plasmon Resonance (LSPR) and Its Application to Biosensors)

  • 김도균;박태정;이상엽
    • KSBB Journal
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    • 제24권1호
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    • pp.1-8
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    • 2009
  • 현재까지 연구 개발된 바이오칩 및 센서의 경우에는 생체분자 상호작용의 분석을 수행하기 위해서 효소나 형광 물질 등과 같은 표지물질을 생체분자에 주입할 필요성이 있었다. 이러한 표지작업은 단백질 등과 같이 고차구조를 형성하는 생체분자에 있어서 그 분자인식능을 저하시키는 문제가 발생하게 된다. 그리고 표지작업은 일련의 조작이 필요하기 때문에 조작의 복잡성을 띄게 되고, 간편성을 저해하는 문제가 발생하게 되며, 분석 결과를 얻기 위해서는 장시간을 필요로 하게 된다. 또한, 생체분자 상호작용의 분석에 적용되는 측정장치도 대형화하게 되어 온사이트 모니터링에 이용하기 어렵다. 이러한 문제점들을 해결하기 위해서 비표지로 생체분자의 상호작용 분석이 가능한 SPR 광학특성, QCM 및 전기화학법 등을 이용한 비표지 바이오칩 및 센서가 개발되었다. 하지만 표지 바이오칩 및 센서와 마찬가지로 장치의 대형화 및 복잡화, 간편성 및 감도 등에 문제가 있었다. 따라서 지금까지 개발되어진 표지 및 비표지 바이오칩의 문제들을 해결하기 위해서 나노구조에서만 발현되는 새로운 광학특성인 LSPR을 기반으로 하는 새로운 형태의 코어-쉘 구조 나노입자 바이오칩이 제작되었다. 코어-쉘 나노입자 바이오칩의 표면에 수직방향으로부터 입사광을 조사하고 바이오칩 표면으로부터 반사된 반사광을 검출기로 검출하여 흡수 스펙트럼을 소형의 분광기로 해석함으로서 코어-쉘 나노입자 바이오칩 기반 비표지 광학 바이오센서를 완성하였다. 또한 단백질 항원-항체 반응에 대한 비표지 검출 및 정량특성을 평가한 결과, 감도, 간편성, 유연성, 폭넓은 응용성 등에 양호한 특성을 확인할 수 있었다. 이상에서 살펴본 바와 같이, 코어-쉘 나노입자 바이오칩 기반 비표지 광학 바이오센서는 생체분자 상호작용의 분석에 많이 이용되고 있는 단백질, DNA, 세포 등의 생체분자에 유연하게 대처할 수 있을 것으로 생각되어지며, 그 밖에 의료, 식품분석, 환경 및 공정 모니터링 등 분야에 폭넓게 이용될 것으로 기대되고 있다. 또한 본 코어-쉘 나노입자 바이오칩 기반 비표지 광학 바이오센서는 소형으로 저렴한 분광기를 이용하여 측정을 실시하고 있기 때문에 온사이트 모니터링에의 적용도 가능할 것으로 생각된다.

배치식 플라즈마 세정 설비를 이용한 자연산화막 제거 공정 (A Study on Batch-Type Remote Plasma Dry Cleaning Process for Native Oxide Removal)

  • 박재영;이욱열;형용우;남석우;이현덕;송창룡;강호규;노용한
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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    • pp.247-251
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    • 2004
  • 반도체 소자의 제조에 있어 실리콘 표면에 성장한 자연산화막을 제거하기 위해 일반적으로 습식 세정 기술이 이용되어 왔다. 하지만 소자의 최소 선폭(design rule)이 nano급으로 고집적화 됨에 따라 contact hole 바닥의 자연산화막을 깨끗이 제거하는데 있어서 그 한계를 나타나고 있다. 이에 대한 효과적인 대안 공정으로 가스 건식 세정 기술이 연구되고 있다. 본 논문에서는 한 번에 50매 이상의 웨이퍼를 처리함으로써 생산성 측면에서 월등한 배치식 설비에서 원거리 플라즈마(remote plasma) 장치에서 2.450Hz의 마이크로웨이브(${\mu}$-wave)에 의해 형성시킨 수소라디칼과 $NF_3$ 가스를 이용하여 실리콘에 결함을 주지 않고 자연산화막을 선택적으로 제거하는 공정에 대해 고찰하였다. AFM을 이용한 표면분석, TEM을 이용한 물성분석, 그리고 ToF-SIMS 및 XPS를 이용한 화학 분석을 습식 및 건식 세정을 비교 평가한 결과, 건식 세정 공정이 실리콘 표면에 결함을 주지 않고 자연산화막을 제거 할 수 있음을 확인하였다. 산화막$(SiO_2)$, 질화막$(Si_3N_4)$, 그리고 다결정 실리콘(Poly-Si) 등의 각 막질별 식각 특성을 고찰하였으며, $NH_3$의 캐리어 가스인 $N_2$의 주입량을 조절함으로써 수소라디칼 형성 효율의 개선이 가능하였으며, 이로부터 게이트와 소스/드레인 사이를 절연하기 위해 이용되는 질화막의 식각 선택비를 2배 정도 개선할 수 있었다. nano급 소자에 실장하여 평가한 결과에서 불산(HF)에 의한 습식 세정 방식에 비하여 약 $20{\sim}50%$ 정도의 contact 저항 감소 효과가 있음이 확인되었다.두 소자 모두 $40mA/cm^2$ 에서 이상적인 화이트 발란스와 같은(0.33,0.33)의 색좌표를 보였다.epsilon}_0=1345$의 빼어난 압전 및 유전특성과 $330^{\circ}C$의 높은 $T_c$를 보였고 그 조성의 vibration velocity는 약4.5 m/s로 나타났다.한 관심이 높아지고 있다. 그러나 고 자장 영상에서의 rf field 에 의한 SAR 증가는 중요한 제한 요소로 부각되고 있다. 나선주사영상은 SAR 문제가 근원적으로 발생하지 않고, EPI에 비하여 하드웨어 요구 조건이 낮아 고 자장에서의 고속영상방법으로 적합하다. 본 논문에서는 고차 shimming 을 통하여 불균일도를 개선하고, single shot 과 interleaving 을 적용한 multi-shot 나선주사영상 기법으로 $100{\times}100$에서 $256{\times}256$의 고해상도 영상을 얻어 고 자장에서 초고속영상기법으로 다양한 적용 가능성을 보였다. 연구에서 연구된 $[^{18}F]F_2$가스는 친핵성 치환반응으로 방사성동위원소를 도입하기 어려운 다양한 방사성의 약품개발에 유용하게 이용될 수 있을 것이다.었으나 움직임 보정 후 영상을 이용하여 비교한 경우, 결합능 변화가 선조체 영역에서 국한되어 나타나며 그 유의성이 움직임 보정 전에 비하여 낮음을 알 수 있었다. 결론: 뇌활성화 과제 수행시에 동반되는 피험자의 머리 움직임에 의하여 도파민 유리가 과대평가되었으며 이는 이 연구에서 제안한 영상정합을 이용한 움직임 보정기법에 의해서 개선되었다. 답이 없는 문제, 문제 만들기, 일반화가 가능한 문제 등으로 보고, 수학적 창의성 중 특히 확산적 사고에 초점을 맞추어 개방형 문제가 확

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