• 제목/요약/키워드: optical sensors

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$NH_4OH-H_2O_2-H_2O$ 혼합액을 이용한 GaAS의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 사각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작 방법 (Wet-etching Properties of GaAs Using $NH_4OH-H_2O_2-H_2O$ Mixed Solution and Its Application to Fabrication Method for Released GaAs Microstructures with Rectangular Cross Section)

  • 김종팔;박상준;백승준;김세태;구치완;이승기;조동일
    • 센서학회지
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    • 제10권5호
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    • pp.304-313
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    • 2001
  • 본 연구에서는 $NH_4OH-H_2O_2-H_2O$ 식각액을 이용하여 GaAs의 식각 특성을 파악하였으며, (001) GaAs 기판을 이용한 사각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작방법을 개발하였다. 먼저 결정방향별 습식식각 특성을 파악하기 위해 16가지 조성에 대한 $NH_4OH-H_2O_2-H_2O$ 식각액의 식각률 및 식각 단면 형상과 5가지 조성에 대한 언더컷률에 관한 자료를 구하였다. 본 실험을 통해 얻어진 데이터를 이용하여 새로운 GaAs 마이크로머시닝 방법을 제시하고, 이를 이용하여 사각형 단면을 가지는 브리지 형태의 부유된 구조물을 제작하였다. 개발된 빔 부유 공정은 RF 구성요소인 저 손실 및 고가변 정전용량기 제작에 유용하며, 또한 광송수신부와 미러 집적화에도 적용가능성을 지닌다.

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유전체 박막을 이용한 다이아프램형 광섬유 Fabry-Perot 간섭계 압력센서의 특성 (Characteristics of A Diaphragm-Type Fiber Optic Fabry-Perot Interferometric Pressure Sensor Using A Dielectric Film)

  • 김명규;유양욱;권대혁;이정희;김진섭;박재희;채용웅;손병기
    • 센서학회지
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    • 제7권3호
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    • pp.147-153
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    • 1998
  • $Si_{3}N_{4}/SiO_{2}/Si_{3}N_{4}$(N/O/N) 다이아프램과 결합된 고감도의 광섬유 Fabry-Peort 압력센서를 개발하여 스트레인 및 그 응답특성을 조사하였다. 먼저, 44 wt% KOH 수용액을 이용한 실리콘 이방성식각기술로 600 nm 두께의 N/O/N 다이아프램을 제조하였으며, 제조된 다이아프램과 광섬유 Fabry-Perot 간섭계를 결합하여 광섬유 압력센서를 구성하였다. 단일모드 광섬유(SMF)내에 $TiO_{2}$ 유전체 박막을 용융접합하여 공극의 길이가 약 2 cm인 광섬유 Fabry-Perot 간섭계를 제작하였다. 광섬유 Fabry-Perot 간섭계의 한쪽 끝은 N/O/N 다이아프램과 결합하였으며, 나머지 한쪽을 3 dB 광결합기를 통해 광측정장치에 연결하였다. $2{\times}2\;mm^{2}$$8{\times}8\;mm^{2}$ 크기의 N/O/N 다이아프램에 대해 응답특성을 조사한 결과, 각각 약 0.11 rad/kPa과 1.57 rad/kPa의 압력감도를 나타내었으며, 선형오차는 0.2 %FS이내였다.

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Development of an Imaging Based Gang Protection System

  • Grimm, M.;Pelz, M.
    • International Journal of Railway
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    • 제1권4호
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    • pp.149-156
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    • 2008
  • During maintenance or construction works in or at the tracks of railways, high risks for passengers and railway staff, especially for the workers on the construction site exist. The high risks result out of the movement of rail vehicles, like trains or construction vehicles, which must be faced by using any available technical and operational technologies for securing them against the environment. Therefore, it is necessary to evaluate the level of protection continuously and to identify new and innovative methods and technologies for the protection of the gang (construction worker, machines and material). Especially on construction sites at line sections with two or more parallel tracks but also with single tracks, there are still a lot of incidents and accidents mostly with seriously injured persons or fatalities. These were mainly gang members that breach the railway-loading gage. By using proper warning or protection systems, the avoidance of such accidents must be achieved. The latest developments. in gang protection systems concern on the one hand fixed barriers in the middle between the construction site and the operated track and on the other hand construction vehicles equipped with automatic warning systems. The disadvantage of such protection methods is that the gang can be warned against an approaching train but a monitoring of the gang members cannot be performed. Only one part of a potential dangerous situation will be detected. If the gang members will overhear the acoustic warning signal of the security staff and the workers will not leave the danger zone in the track, the driver of the approaching train had no chance to react to the dangerous situation. An accident is often inevitable. While the detection of acoustic warning signals by the gang members working on a construction site is very difficult, the acoustical planning of an automatic warning system has to be designed for an acoustic short range level of one meter besides the construction vehicle. The decision about the use of today's technical warning system (fixed systems, automatic warning systems, etc.) must be geared to the technical feasibility and the level of safety which is needed. Criteria for decision guidance to block a track should be developed by danger estimation and economical variables. To realize the actual jurisdiction and to minimize the hazards of railway operations by the use of construction vehicles near the tracks further developments are needed. This means, that the warning systems have to be enhanced to systems for protection, which monitor the realization of the warning signal as a precondition for giving a movement authority to a train. This method can protect against accidents caused by predictable wrongdoing. The actual state of the art technique of using a collective warning combined with additional security staff is no longer acceptable. Therefore, the Institute of Transportation System of the German Aerospace Center in Braunschweig (Germany) will develop a gang warning and protection system based upon imaging methods, with optical sensors such as video in visible and invisible ranges, radar, laser, and other. The advantage of such a system based on the possibility to monitor both the gang itself and the railway-loading gauge either of the parallel track or of the same track still in use. By monitoring both situations, the system will be able to generate a warning message for the approaching train, that there are obstacles in the track, so that the train can be stopped to prevent an accident. And also the gang workers will be warned, while they breach their area.

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Hot Wall Epitaxy(HWE)법에 의한 BaAl2Se4 단결정 박막 성장과 광전도 특성 (Growth and Optical Conductivity Properties for BaAl2Se4 Single Crystal Thin Film by Hot Wall Epitaxy)

  • 정준우;이기정;홍광준
    • 센서학회지
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    • 제24권6호
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    • pp.404-411
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    • 2015
  • A stoichiometric mixture of evaporating materials for $BaAl_2Se_4$ single crystal thin films was prepared from horizontal electric furnace. To obtain the single crystal thin films, $BaAl_2Se_4$ mixed crystal was deposited on thoroughly etched semi-insulating GaAs(100) substrate by the Hot Wall Epitaxy (HWE) system. The source and substrate temperatures were $610^{\circ}C$ and $410^{\circ}C$, respectively. The crystalline structure of the single crystal thin films was investigated by the photoluminescence and double crystal X-ray diffraction (DCXD). The carrier density and mobility of $BaAl_2Se_4$ single crystal thin films measured from Hall effect by van der Pauw method are $8.29{\times}10^{-16}cm^{-3}$ and $278cm^2/vs$ at 293 K, respectively. The temperature dependence of the energy band gap of the $BaAl_2Se_4$ obtained from the absorption spectra was well described by the Varshni's relation, $E_g(T)=3.4205eV-(4.3112{\times}10^{-4}eV/K)T^2/(T+232 K)$. The crystal field and the spin-orbit splitting energies for the valence band of the $BaAl_2Se_4$ have been estimated to be 249.4 meV and 263.4 meV, respectively, by means of the photocurrent spectra and the Hopfield quasicubic model. These results indicate that the splitting of the ${\Delta}so$ definitely exists in the ${\Gamma}_5$ states of the valence band of the $BaAl_2Se_4/GaAs$ epilayer. The three photocurrent peaks observed at 10 K are ascribed to the $A_1$-, $B_1$-exciton for n =1 and $C_{31}$-exciton peaks for n=31.

PERL (passivated emitter and rear locally-diffused cell) 방식을 이용한 고효율 Si 태양전지의 제작 및 특성 (Fabrication and Characteristics of High Efficiency Silicon PERL (passivated emitter and rear locally-diffused cell) Solar Cells)

  • 권오준;정훈;남기홍;김영우;배승춘;박성근;권성렬;김우현;김기완
    • 센서학회지
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    • 제8권3호
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    • pp.283-290
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    • 1999
  • 본 연구에서는 고효율 단결정 실리콘 태양전지의 제작방법인 PERL방식을 사용하여 비저항이 $0.1{\sim}2{\Omega}{\cdot}cm$을 갖는 (100)면의 p형실리콘 기판으로 $n^+/p/p^+$ 접합의 태양전지를 제작하였다. 이를 위해 웨이퍼의 절단, KOH을 사용한 역피라미드 모양으로의 에칭, 인과붕소의 도핑, 반사방지막과 전극의 증착 및 열처리 등의 공정을 행하였다. 이때 소자표면의 광학적인 특성과 도핑농도가 저항값에 미치는 영향을 조사하고, Silvaco로 $n^+$도핑에 대한 확산 깊이와 도핑농도를 시뮬레이션하여 측정치와 비교하였다. AM(air mass) 1.5 조건하에서 입사되는 빛의 세기가 $100\;mW/cm^2$인 경우의 단락전류는 43 mA, 개방전압은 0.6 V, 그리고 충실도는 0.62였다. 이때 제작된 태양전지의 광전변환효율은 16%였다.

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CBD 방법에 의한 CdS 박막의 성장과 광전도 특성 (Growth of Thin Film Using Chemical Bath Deposition Method and Their Photoconductive Characteristics)

  • 홍광준;이상열;유상하;서상석;문종대;신영진;정태수;신현길;김택성;송정훈;유기수
    • 센서학회지
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    • 제2권1호
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    • pp.3-10
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    • 1993
  • Chemical bath deposition 방법으로 다결정 CdS 박막을 세라믹 기판 위에 성장시킨 다음 온도를 변화시켜 열처리하고 X-선 회절무늬를 측정하여 결정구조를 밝혔다. $550^{\circ}C$로 열처리한 시료의 경우 X-선 회절무늬로부터 외삽법에 의해 $a_{o}$$c_{o}$는 각각 $4.1364{\AA}$$6.7129{\AA}$인 육방정계임을 알았다. 이 때 낱알크기는 약 $0.35{\mu}m$이었다. Van der Pauw 방법으로 Hall 효과를 측정하여 운반자 농도와 이동도의 온도의존성을 연구하였다. 이동도는 33 K에서 150 K까지는 압전산란에 의하여, 150 K에서 293 K 까지는 곽성광학산란에 의하여 감소하는 경향을 나타냈다. 광전도 셀의 특성으로 스펙트럼 응답, 감도(${\gamma}$), 최대허용소비전력 및 응답 시간을 측정하였다.

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Chemical Bath Deposition 방법으로 제작한 CdSe 박막의 특성 (Characterization of CdSe Thin Film Using Chemical Bath Deposition Method)

  • 홍광준;이상열;유상하;서상석;문종대;신영진;정태수;신현길;김택성;송정훈;유기수
    • 센서학회지
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    • 제2권1호
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    • pp.81-86
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    • 1993
  • Chemical bath deposition 방법으로 다결정 CdSe 박막을 세라믹 기판 위에 성장시킨 다음 온도를 변화시켜 열처리하고 X-선 회절무늬를 측정하여 결정구조를 밝혔다. $450^{\circ}C$로 열처리한 시료가 X-선 회절무늬로 부터 외삽법에 의해 $a_{o}$$c_{o}$는 각각 $4.302{\AA}$$7.014{\AA}$인 육방정계임을 알았다. 이 때 낱알크기는 약 $0.3{\mu}m$이었다. Van der Pauw 방법으로 Hall 효과를 측정하여 운반자 농도와 이동도의 온도의존성을 연구하였다. 이동도는 33 K에서 200 K까지는 압전산란에 의하여, 200K에서 293 K까지는 극성광학산란에 의하여 감소하는 경향을 나타냈다. 광전도 셀의 특성으로 스텍트럼 응답, 감도(${\gamma}$), 최대허용소비전력 및 응답 시간을 측정하였다.

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$3.2\;{\mu}m$ 중적외선 센서를 이용한 메탄가스누출검지기의 개발 (Development of Methane Gas Leak Detector Using Mid-infrared Ray Sensors with $3.2\;{\mu}m$)

  • 박규태;유근준;한상인;오정석;김지윤;안상국;윤명섭;권정락
    • 한국가스학회지
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    • 제12권2호
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    • pp.48-52
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    • 2008
  • 산업의 성장으로 가스사용량이 증가함에 따라 가스설비, 화학플랜트 등 시설 또한 점차로 증가하고 있으나, 가스에 대한 안전관리는 여전히 미흡한 실정이다. 공장과 가정에서 많이 사용되고 있는 메탄은 천연가스의 주성분으로 가연성이면서 폭발성가스이어서 그에 대한 안전관리도 매우 중요하다. 그 한 가지 방안으로 $3.2\;{\mu}m$ 중적외선 영역의 LED 및 PD를 이용하여 메탄가스누출검지시스템을 개발하고자 한다. 이 파장대역의 센서로 레이저를 이용할 경우 고열이 발생하여 초저온 냉각장치가 필요하나 LED는 상온에서 동작함으로 냉각장치가 필요 없다. 그래서 초소형이나 휴대용으로 구현이 가능하다. $3.2\;{\mu}m$ 부근의 파장대역은 $1.67\;{\mu}m$에 비하여 메탄흡수강도가 강하여서 극미량의 가스탐지가 가능하고 응답성 또한 빠르다. 본 연구에서는 이를 상용화하여 매설 및 노출배관 등 가스설비의 가스누출을 보다 정확하고 신속히 검지함으로써 사고를 미연에 방지하고 그 피해를 최소화하고자 한다.

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인공위성 SAR 영상을 이용한 몽산포 조간대의 Ridge-Runnel 및 연흔 관찰 (Observation of Ridge-Runnel and Ripples in Mongsanpo Intertidal Flat by Satellite SAR Imagery)

  • 장소영;한향선;이훈열
    • 대한원격탐사학회지
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    • 제26권2호
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    • pp.115-122
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    • 2010
  • 이 논문에서는 Envisat ASAR, JERS-1 SAR 영상과 현장조사 자료를 이용하여 ridge-runnel 구조 및 연흔이 잘 발달해 있는 태안 몽산포 조간대를 분석하였다. Envisat ASAR 영상에서는 밝고 어두운 띠가 해안선과 평행한 방향으로 3-5회 반복되어 관찰되었으며, 이는 노출된 조간대에서 ridge-runnel 구조로 판단하였다. 배수가 이루어져 지표잔존수가 없고 연흔이 발달해있는 runnel에서는 강한 후방산란을 보이고, 연흔이 없는 ridge나 배수가 잘 되지 않아 연흔이 물속에 잠겨 있는 runnel에서는 산란이 거의 없다. 반면에 JERS-1 SAR 영상에서는 조간대 전체가 매우 약한 신호를 보였으며, ridge-runnel 구조가 전혀 관찰되지 않았다. 현장에서 측정된 연흔의 파장은 대부분 4-10 cm 범위 내에 분포하며, 이는 C-밴드인 Envisat ASAR 영상에서 Bragg 산란의 첫 번째 모드에 의한 강한 후방산란을 일으키는 조건이 되지만, L-밴드인 JERS-1 SAR 영상에서는 그렇지 않다. 본 연구에서는 SAR 영상을 이용하여 광학영상으로는 쉽게 관찰되지 않는 ridge-runnel 구조 및 연흔이 발달된 조간대의 분석이 가능함을 보였으며, 향후 조간대 퇴적상 연구에 SAR 영상이 다양하게 이용될 수 있을 것으로 기대한다.

위성활용 산불감시 시스템 구축 (Forest Fire Monitoring System Using Satellite)

  • 박범순;조인제;임재환;김인배
    • 융합정보논문지
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    • 제11권11호
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    • pp.143-150
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    • 2021
  • 산불감시를 위해 한반도 지역을 24시간 상시 감시하고 감시정보의 전파가 가능한 정지궤도위성 기반의 산불감시 위성체계 구축을 위한 내용을 소개하고, 산불감시 시스템의 구축과 다양한 활용 방안에 대해 기술한다. 위성 활용 산불감시 시스템을 구축하기 위해 문헌연구, 기술적 원리, 산불감시 수단, 위성 산불감시 시스템에 대해 기술하고, 결론을 도출하겠다. 위성 활용 산불감시 시스템은 적외선 탐지 광학센서를 탑재한 정지궤도 위성 1기와 위성에서 수신된 자료를 처리하여 감시정보를 전파하는 지상처리 소로 구성될 수 있다. 산불감시 위성은 우리나라 상공 정지궤도에 위치하며 하루 24시간 365일 상시 운용되어야 한다. 산불감시 기술은 적외선탐지 기술로서 산불 감시 등의 국가 공공 이익 분야와 국가 안보분야에 활용이 가능하다. 하루 24시간 상시 운용되어야 하며 이를 만족시키기 위해서는 정지궤도 위성 기반의 산불감시 위성 시스템의 구축이 효율적이라고 할 수 있겠다.