• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2005년도 추계학술대회논문집
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• pp.205-208
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• 2005

Fabrication of large scaled mirror for the telescope application is the most challenging technology in recent year. Sophisticate technologies and know-how in fabrication and measurement are required to overcome the technological obstacles. KRISS(Korea Research Institute for Standards and Science) is now developing a large scaled mirror fabrication facility and KARI(Korea Aerospace Research Institute) is supporting the development. High precision interferometric test is required during the grinding and polishing of mirror to identify the surface profile precisely. The required fabrication accuracy of the mirror surface profile is $\lambda$/50 ms($\sim$10 nm for visible wave length). Thus the measurement accuracy should be far less than 10 m. To get this requirement, it is necessary to provide vibration free environment for the interferometer system and mirror under test. Thus the vibration responses on the mirror supporting table due to external vibration should be minimized by using a special isolation system. And the responses on the top of the tower, which hold the interferometer during test, should be minimized simultaneously. In this paper, we propose the concept design of vibration suppression system for the KRISS mirror fabrication facility.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제26권3호
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• pp.183-189
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• 2013

The chalcogenide glass has superior optical properties in IR region transmittances. We have determined the composition of GeSbSe chalcogenide glass for the application of good IR lenses, resulting in the composite rate of $Ge_{19}Sb_{23}Se_{58}$. The optical, structural, thermal and physical properties were measured by Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR), X-ray diffraction (XRD), Differential scanning calorimeter (DSC), X-ray computed tomography (X-ray CT) respectively. The fabrication of the chalcogenide glass lens for infrared optics applications was proposed using a diamond turning machining technology which is known as the suitable ways for the production cost reduction and the accurate fabrication process control.

• 한국광학회지
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• 제10권5호
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• pp.419-423
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• 1999

측면 연마된 단일모드 광섬유와 다중모드 폴리머 평면도파로 사이의 소산장 결합을 이용한 광필터를 제작하고 그 특성을 측정하였다. 소자의 편광의존성을 줄일 수 있는 방법 제안하였으며 실험으로 검증하였다. 그리고 광필터의 공진파장과 여과 깊이는 평면도파로의 두께와 연마깊이로서 적절히 선택할 수 있음을 실험으로 보였다. 광섬유 연마과정, 폴리머 평면도파로 제작 등을 포함한 소자제작 공정을 소개하였다. 제작된 광필터의 3㏈대역폭은 15nm, 삽입손실은 0.2㏈, 편광에 따른 공진 파장의 차이는 2nm 이하였다. 그리고 주위온도에 의한 공진파장의 이동거리는 -0.35nm/$^{\circ}C$로 측정되었다.

• 소성∙가공
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• 제17권5호
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• pp.322-327
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• 2008

LGP is a key component of LCD back light unit because it determines brightness and sharpness of the display image. Usually, it has optical patterns fabricated on the bottom surface. These optical patterns convert point or line sources placed in the side of LGP to plane source at the top surface by changing the propagating direction of the incident light. In the present paper the LiGA-reflow method was applied to fabricate the LGP mold. Furthermore, the optical simulation considering the replication ratio of pattern height was applied to the pattern design. The optical simulation through systematic correction scheme was adopted to find the optimum distribution of pattern density. Finally, the stamper fabricated by this method was installed in the mold and LGP was produced by injection molding. As a result of luminance measurement for the final product, the average luminance and luminance uniformity was measured 3,180 nit and 84%, respectively. Consequently, the mold fabrication method using the LiGA-reflow and optical simulation(CAE) can save the expense and time compared with the existing fabrication methods(laser ablation and chemical etching).

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 1991년도 제6회 파동 및 레이저 학술발표회 Prodeedings of 6th Conference on Waves and Lasers
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• pp.98-101
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• 1991

The As2S3 thin film has a characteristics of optical modulation in both amplitude and phase. Since the As2S3 thin film can be used as a real-time reconfigurable optical filter, the fSDF filter can be optically fabricated on it. According to the modulation characteristics of the As2S3, the optimal fSDF filter recorded on this thin plate has the form of continuous amplitude and binary phase. Computer simulation and optical experiments on the optical pattern classification show that the As2S3 is suitable for the optical fSDF filter.

• 한국광학회지
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• 제35권4호
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• pp.175-183
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• 2024

근래 광통신, 광센서, 양자광학 등의 다양한 연구 분야에서 광IC 소자를 이용한 광신호 처리 연구가 활발히 진행되고 있으며, 광IC 제작에 이용되는 재료들 중 특히 폴리머 재료는 고유의 특징을 바탕으로 폭넓게 연구개발되고 있다. 폴리머 기반 광IC 소자를 제작하기 위해서는 광도파로 단면 구조를 정확히 제작하기 위한 제작 공정을 확립하는 것이 중요하며, 특히 안정적인 소자 특성을 유지하고 대량생산 시의 수율을 높이기 위해서는 재현성이 높고 오차 수용 범위가 넓은 공정과 제작 조건을 설정하는 것이 필요하다. 본 연구에서는 원자층 증착(atomic layer deposition, ALD) 공정을 도입하여 폴리머 광도파로 소자를 효율적으로 제작할 수 있는 방법을 제안하였으며, 기존의 포토 레지스트나 금속 박막 증착을 이용하는 방법에 비해 광도파로 코어 형상을 더욱 정밀하게 제작할 수 있음을 확인하였다. 본 연구에서는 ALD 공정을 도입하여 코어의 크기가 1.8 × 1.6 ㎛²인 폴리이미드 광도파로를 제작하여 광도파로의 손실을 측정하고, 이와 함께 광파워 분배기인 다중모드 간섭(multi-mode interference) 광도파로 소자를 제작하여 특성을 측정하였다. 이때 기존의 제작과정에서 문제시되었던 에칭 마스크 층의 크랙 현상은 나타나지 않았으며, 광도파로 패턴 단면의 수직성도 우수하였고, 도파로의 전파손실 또한 1.5 dB/cm 이하로 양호하였다. 이로써 ALD 공정이 대량생산을 위한 폴리머 광소자 제작 공정에 적합한 방법임을 확인하였다.

• 전자공학회논문지D
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• 제36D권3호
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• pp.85-91
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• 1999

재현성 있는 H:LiNbO\sub 3\ 광변조기의 제작을 위해 기존 광변조기에서 사용되는 Au/Cr/SiO\sub 2\ 전극구조 대신 상온에서 버퍼층 및 전극공정이 가능하고, 광대역 설계에도 유리하도록 새로운 Cu/parylene 전극구조를 사용한 광변조기의 설계 및 제작을 수행하였다. 이를 위해 유한요소법을 이용한 광변조기의 해석 및 설계, 소자제작을 위한 저손실 1550m H:LiNbO\sub 3\ 광도파로 공정, parylene 박막증착 및 CPW 전극형성 등의 단위 공정들을 확립하였다. 이러한 소자설계 기술 및 단위공정들의 결합을 통해 parylene 버퍼층구조 H:LiNbO\sub 3\ 광변조기 내부칩을 제작하였고, 저주파 구동특성 측정시스템을 통해 변조특성을 확인하였다. 특히 Cu/parylene 전극공정 전·후의 광도파로 특성이 일정하게 유지됨으로서 재현성 있는 소자제작이 가능함을 알 수 있었다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제21권1호
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• pp.25-29
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• 2014

본 연구에서는 기존의 PCB의 한계를 극복할 수 있는 광 PCB에 대한 연구를 수행하였으며, 고효율 수동정렬을 위한 플러거블 렌즈구조를 제안하였다. 제안된 구조는 광 도파로 수동 정렬시 발생할 수 있는 렌즈와 도파로 간의 정렬 오차를 개선하고자 도파로와 렌즈를 합한 형태이다. 또한 탈착에 의해 손상되는 렌즈표면을 보호하기 위한 보호벽 형태를 지님으로써, 고효율의 수동정렬이 가능하게 하였다. 최적화 시뮬레이션을 통하여 구조를 설계하였고, 반복적 포토 리소그래피와 열적 리플로우 공정을 통하여 플러거블 렌즈 구조 제작을 위한 공정 연구를 수행하였다. 렌즈일체형 플러거블 접속구조의 광도파로를 PDMS복제공정으로 제작된 mold를 이용하여 임프린트 공정을 통해 제작하였다. 따라서 본 논문에서는 수동정렬이 가능한 광PCB접속용 플러거블 렌즈 구조의 제작이 가능함을 확인하였다.

• 한국정밀공학회지
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• 제23권1호
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• pp.89-96
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• 2006

In this study, fabrication of the large area silicon mirror is accomplished by anisotropic wet etching using micromachining technology for implementation of integrated slim optical pickup and the process condition is also established for improving the mirror surface roughness. Until now, few results have been reported about the production of highly stepped $9.74^{\circ}$ off-axis-cut silicon wafers using wet etching. In addition rough surface of the mirror is achieved in case of tong etching time. Hence a novel method called magnetorheolocal finishing is applied to enhance the surface quality of the mirror plane. Finally, areal peak to valley surface roughness of mirror plane is reduced about 100nm in large area of $mm^2$ and it is applicable to optical pickup using infrared wavelength.

• 한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집
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• 한국마이크로전자및패키징학회 2003년도 기술심포지움 논문집
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• pp.239-242
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• 2003

Optical module package is a hermetic metal-ceramic package for carrying optical IC. In case of LD(laser diode) module, window is used for both the path of optical signal and hermetic sealing of package. So, window has the metallization pattern on the surface for brazing process with package wall. In this study, several method were investigated for metallization. Thin film, thick film and mixed method were used for fabrication of metallization pattern. After brazing process, hermeticity and adhesion strength were tested for characterization of metallization pattern.