Influence of AC-voltage on the crystallization of amorphous silicon thin film during field aided lateral crystallization process (전계 유도 방향성 결정화 공정시 비정질 실리콘 박막의 결정화에 미치는AC전압의 영향)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 2004.05a
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- pp.62-62
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- 2004