Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Influence of AC-voltage on the crystallization of amorphous silicon thin film during field aided lateral crystallization process

전계 유도 방향성 결정화 공정시 비정질 실리콘 박막의 결정화에 미치는AC전압의 영향

  • 최성화 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김영배 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김현철 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2004.05.14
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