• 제목/요약/키워드: ion implantion

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가스이온 주입에 의한 MPPO의 전기적 특성조사 (An investigation of electrical characteristics of MPPO(Modified-Polyphenylene Oxide) by gas ion implantion)

  • 이준호;이재상;임석진;조용섭;주포국;최병호;이재형
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 1999년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.430-433
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    • 1999
  • MPPO(Modified-Polyphenylene Oxide) was irradiated with helium, nitrogen, and argon ions at the ion energy of 50 keV and 70 keV from the dose region of 5$\times$10$^{15}$ to 5$\times$10$^{16}$ ions/$\textrm{cm}^2$. The resistance of the irradiated MPPO surface could be decresed about 10$^{10}$ to 10$^{7}$ $\Omega$/sq with increasing the total ion dose and ion energy. Chemical characteristics of the irradiated surface were analyzed by XPS(X-ray photoelectron spectroscopy).

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Si(100)에 주입된 불활성 기체 이온들의 방출 특성 (Thermal Effusion of Implanted Inert Gas Ions from Si(100))

  • 조삼근
    • 한국진공학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.73-80
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    • 2006
  • Si(100)에 주입된 불활성 기체 이온들의 열적 방출 특성을 열탈착(temperature-programmed desorption; TPD) 질량분석법으로 고찰하였다. 약 400K의 표면 온도 조건에서 1keV 비온빔에 시료를 노출시켜 주었을 때, He은 $500\~1100 K$의 넓은 온도 범위에서 Si(100)결정 밖으로 분출되어 나온 반면, Ne, Ar, 및 Kr은 각각 810, 860, 875 K 근처에서 매우 좁은 온도 범위에서 TPD 피크를 나타내며 급격하게 방출되었다. He+ 이온으로 처리된 Si(100)은 표면 원자 구조의 손상이 상대적으로 최소한으로 일어났지만, $Ne^+,\;Ar^+,\;Kr^+$ 등의 이온들로 처리된 경우는 질량이 클수록 표면이 원자 스케일로 더 심하게 손상되었음이 수소 흡탈착 분석 결과로 밝혀졌다. 이온빔에 의한 결정 내부의 결함 생성과 관련하여 이러한 실험적 결과가 시사하는 점들을 논의하였다

마그네슘 이온주입 임플란트의 뒤틀림 제거력에 관한 연구 (Removal Torque of Mg-ion Implanted Clinical Implants with Plasma Source Ion Implantation Method)

  • 김보현;김대곤;박찬진;조리라
    • 구강회복응용과학지
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    • 제25권1호
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    • pp.41-52
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    • 2009
  • 골과 임플란트의 기계적인 결합을 증진시키기 위한 다양한 시도가 이루어졌으며, 최근에는 불소 부식법, 양극산화법, 이온주입법 등 생화학적인 골유착을 유도할 수 있는 임플란트의 표면개질이 관심의 대상이 되고 있다. 본 연구는 플라즈마 상태의 이온을 임플란트 표면에 주입하여 이온 피막을 형성하는 방법(plasma source ion implantion, PSII)으로 표면을 개질한 임플란트에 대한 골반응을 흡수성 재료로 블라스팅 처리(resorbable blasting media, RBM)된 임플란트를 대조군으로 하여 평가하고 이온 주입량을 달리하여 비교한 결과를 알아보고자 하였다. 12마리의 뉴질랜드 가토의 경골에 대조군인 RBM 임플란트와 Mg이온 주입량을 달리한 Mg이온주입 임플란트 3개씩을 식립하고 공진주파수를 측정하였으며 6주 후 48개 임플란트의 뒤틀림 제거력과 공진주파수를 측정하였다. 반복측정이 있는 분산분석을 이용하여 95% 유의수준으로 통계적 유의성을 확인하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 각 임플란트간 공진주파수의 차이는 없었으나 군에 관계없이 식립 시에 비해 6주 후의 공진주파수는 증가하였다. 2. 초기 낮은 공진주파수를 나타낸 임플란트군의 공진주파수 증가량이 큰 경향을 나타내었다. 3. 이온잔존량 9.4%인 Mg 1 임플란트가 다른 임플란트 보다 통계적으로 유의하게 큰 뒤틀림제거력을 보였다. 이상의 결과를 종합하여 가장 우수한 골반응을 나타내는 이온주입량을 알 수 있었으며 이러한 이온주입 임플란트가 임상적으로 뛰어난 효능을 보이는 RBM 표면에 비해서도 생물학적 골반응이 더 우수하다는 것을 입증하는 결과라 할 수 있다.