• 제목/요약/키워드: impedance change

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Characterization of In-Situ Film Thickness and Chamber Condition of Low-K PECVD Process with Impedance Analysis

  • Kim, Dae Kyoung;Jang, Hae-Gyu;Kim, Yong-Tae;Kim, Hoon-Bae;Chae, Hee-Yeop
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.461-461
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    • 2010
  • For a low dielectric constant inter-metal dielectric application, the low-k SiCOH film with a dielectric constant of 2.8-3.2 has been deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition with decamethylcyclopentasiloxane, cyclohexane, and helium which is carrier gas. In this work, we investigated chemical deposition rate, dielectric constant, characterization of plasma polymer films according to temperature(25C-200C) of substrate and change of component concentration. We measured impedance by using V-I prove during process. From experimental result, deposition rate decrease with increasing temperature. Through real time impedance analysis of chamber, we find corelation between film thickness and impedance by assuming equivalent circuit.

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비선형 임피던스를 고려한 공명기 배열 소음기의 특성 (Characteristics of the silencer using resonator arrays with nonlinear impedance)

  • 서상현;김양한
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2013년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.374-379
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    • 2013
  • Helmholtz resonators have high transmission loss in a narrow band at the resonance frequency. The transmission loss characteristics of resonators at high sound pressure levels can change due to variations of the impedance as a result of nonlinear behavior. Different sound pressure levels are applied to each resonator when resonators were arranged along the path. Therefore, impedance variation due to incident sound pressure level should be considered in order to predict the transmission loss.

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Correlation of Axillary Artery Pressure and Phase of Esophageal Impedance in Chickens

  • Nakajima, Isao;Kuwahira, Ichiro;Hori, Shuho;Mitsuhashi, Kokuryo
    • Journal of Multimedia Information System
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    • 제9권2호
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    • pp.161-170
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    • 2022
  • Under General anesthesia with isoflurane, we insert a chicken's esophageal catheter into the near the left atrium. 1MHz radio wave was added to electrocardiogram electrodes of the esophagus, and the change of impedance (phase) was obtained by amplitude synchronous detection technique. At the same time, a thin tube is surgically inserted into the axillary artery to continuously measure blood pressure. The correlation between impedance (phase) and blood pressure was obtained. Both showed a very high correlation (R2=0.9665). It was also observed the waveform flowing from the left atrium into the left ventricle. When an individual infected with the avian influenza virus develops, the cytokine storms lead to hypotension earlier than the test for antigen-antibody reaction. In order to detect this, in the future, this impedance technique will be useful for screening individuals infected with avian influenza virus by measuring the blood pressure of chickens in cages in a non-contact manner using microwaves.

새로운 구조의 동축 테스트 소켓을 이용한 미세 피치 프로브 핀의 신호 전달 특성 개선 (Improvement of Signal Transfer Characteristics of Fine Pitch Probe Pin Using Coaxial Test Socket with New Structure)

  • 서정준;김문정
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제23권1호
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    • pp.97-103
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    • 2024
  • In this paper, the difference between the S-parameter and the characteristic impedance according to the structural change of the fine pitch coaxial socket was analyzed. A pitch of the probe pin was applied to 0.20mm, and ground pins of different conditions were placed on each of the five signal pins. Insertion loss and reflection loss were analyzed for the coaxial socket of normal structure and the two sockets of the proposed structure. In addition, the difference in characteristic impedance was analyzed using time domain reflectometry. Through the analysis, it was confirmed that the characteristic impedance was improved applying the new structures of the socket at the same pitch

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임피던스법을 이용한 혈류량 변화 측정 (Measurement of Blood Flow Variation using Impedance Method)

  • 정도운;강성철;전계록
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2006년도 춘계종합학술대회
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    • pp.693-696
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    • 2006
  • 본 연구에서는 생체 임피던스의 변화를 계측하여 혈류량의 변화를 추정하기 위한 시스템을 구현하였다. 구현된 시스템은 인위적인 압력을 가하여 압력의 변화에 따른 임피던스의 변화량을 측정할 수 있도록 구성하였으며, 크게 압력 측정부와 4 전극법을 이용한 임피던스 측정부로 구분할 수 있다. 압력 측정부는 반도체식 압력센서와 센서의 출력신호를 처리하기 위한 전자회로부로 구성하였고, 임피던스 측정부는 교류 정전류원 회로와 임피던스 신호의 검출을 위한 락인 증폭기로 시스템을 구성하였다. 구현된 시스템의 성능평가를 위하여 표준저항을 이용한 임피던스 측정부의 특성조사 실험을 수행 하였다. 그리고 실제 실험군을 대상으로 임피던스의 계측을 통한 혈류량 변화 추정실험을 수행하였고, 혈류량 변화와 평균 동맥압을 이용한 혈류 저항비를 추정하였다 그 결과 혈류저항비와 혈류량의 변화는 반비례관계를 명확하게 보여 주었으며, 상관분석을 수행한 결과 상관계수가 -0.96776으로 강한 음의 상관관계를 나타내었다.

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반도체 패키지 봉지재용 에폭시 수지 조성물이 코팅된 알루미늄 패드의 임피던스 변화 (Impedance Change of Aluminum Pad Coated with Epoxy Molding Compound for Semiconductor Encapsulant)

  • 이상훈;서광석;윤호규
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제7권3호
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    • pp.37-44
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    • 2000
  • Electrochemical impedance spectroscopy (EIS)를 이용하여 에폭시 수지 조성물이 코팅된 알루미늄 패드의 부식거동을 연구하였다. 에폭시 수지 조성물은 반도체 패키지 봉지용으로써 80 wt%의 충전재를 포함하고 있으며, $100^{\circ}C$의 끊는 가혹 조건에서 탈이온수 (deionized water)를 사용하여 에폭시 조성들에 침투시켰다. 흡습이 진행되면서 에폭시 조성물 및 알루미늄/에폭시 계면에서의 저항 감소와 커패시턴스 증가가 관찰되었으며 , 약 170 시간까지는 물분자와 유기물로부터 발생된 이온이 에폭시 조성물에 포화되고, 그 이후에는 계면에 침투하여 금속의 부식을 발생시키는 것을 알 수 있었다. 수분 흡습에 따른 에폭시 조성물/금속간의 접착강도 측정으로부터 계면에 물분자 및 이온이 포화됨에 따라 접착강도가 감소하는 것을 예상할 수 있었으며, 반도체 패키지용 에폭시 수지 조성물에 의한 알루미늄 전극의 부식을 방지하기 위해서는 충전재의 함량증가가 필수적이라는 것을 알 수 있었다.

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커프 압력 조절에 따른 혈류량 변화 평가를 위한 임피던스법의 구현 (Implementation of Impedance Method to Estimate Blood Flow Variation with Cuff Pressure Change)

  • 정도운;배진우;손정만;예수영;최병철;남기곤;김철한;전계록
    • 센서학회지
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    • 제13권6호
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    • pp.462-472
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    • 2004
  • In this study, we measured the blood flow on arm by non-invasive method and implemented a system to measure variation of the blood flow by estimating bio-electrical impedance and arterial pressure according to cuff pressure. The implemented system measured impedance variation according to pressure variation applied by artificial cuff pressure on the measuring position. The system consisted of pressure measuring part and impedance measuring part using 4-electrode method. Pressure measuring part was composed of semiconductor pressure sensor and electronic circuit for signal processing of sensor output signal. In addition, impedance measuring part was composed of constant current source circuit and lock-in amplifier for detecting impedance signal. We conducted experiments of impedance measuring part using standard resistance for performance evaluation of the implemented system. In addition we experimented to estimate variation of the blood flow by measuring impedances of the experimental group. We estimated ratio of the blood flow resistance using mean arterial pressure and variation of the blood flow. As a result the ratio of the blood flow resistance and variation of blood flow were in an inverse relationship with each other and the correlation coefficient was -0.96776.

임피던스를 이용한 흑연재료의 전극특성에 관한 연구 (A study on the characterization of electrode at graphite materials by impedance spectroscopy)

  • 오한준;김인기;이종호;이영훈
    • 한국결정성장학회지
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    • 제6권4호
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    • pp.571-583
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    • 1996
  • 1 mM의 $[Fe(CN)_{6}]^{3-}/[Fe(CN)_{6}]^{4-}$ 이온이 첨가된 0.5 M $K_{2}SO_{4}$용액에서 Impedance spectroscopy를 통하여 비교적 porous한 표면조직을 갖는 흑연재료인 electrographite와 graphite foil의 계면의 전기화학적 거동을 조사하였다. 이들 두 흑연재료의 변전위 전류 전압곡선의 경우 전극표면의 구조로 인하여 비교적 높은 전류가 나타났으며, graphite foil의 경우 높은 이중층 용량이 나타났다. 또한 두 재료 모두 field transport의 작용에 의해 분극증가에 따른 임피던스 스펙트럼의 변화와 Faraday-임피던스의 변화가 크게 나타나지 않았다. 특히 electrographite의 경우 전극계면에서 흡착현상이 나타났으며, 양극분극의 증가에 의해 흡착현상은 현저하게 증가하였다.

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마이크로스피커 그릴의 구멍크기에 따른 음향임피던스 특성연구 (Studying the Acoustic Impedance as a Function of Hole Area of Grille for Micro-Speaker)

  • 오세진
    • 한국음향학회지
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    • 제25권3호
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    • pp.101-106
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    • 2006
  • 본 연구에서는 그릴에 뚫려 있는 구멍이 마이크로스피커의 전체 임피던스에 미치는 영향에 대하여 조사하였다 이들에 대한 영향을 이론적으로 접근하기 위하여 그릴의 구멍을 열린 짧은 길이를 갖는 파이프시스템의 일종인 올피스로 취급하였다. 이에 대한 결과는 실험적으로 얻어진 특성과 매우 잘 일치하였다. 다시 말하면, 이들의 구멍크기가 작아지게 되면 구멍에 의한 음향임피던스가 매우 커지게 된다. 그 결과로써, 마이크로스피커의 전체 음향임피던스에 미치는 영향이 커지는 것을 알 수 있었다. 이처럼 그릴의 구멍크기가 작을수록 전체 임피던스에 미치는 영향이 커져서 마이크로 스피커 유닛에서 발생한 음향특성이 그릴의 사용으로 인하여 달라질 수 있게 된다.

인덕턴스 호흡감시 시스템의 개발 (Development of Respiratory Monitoring System by Inductive Plethysmography)

  • 김덕원;연동수;김수찬
    • 대한의용생체공학회:의공학회지
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    • 제16권3호
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    • pp.353-358
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    • 1995
  • 현재 환자의 호흡 감시를 위해 사용되고 있는 임피던스 호흡측정법(impedance pneumography)은 측정법이 간편하며 비관혈적이라는 장점등이 있으나, motion artifact에 민감하고 장애 무호흡(obstructive apnea)을 감지하는데 둔감하다는 단점이 있다. 본 연구에서 개발된 3채널 RIP(respiratory inductive plethysmograghy)는 흉부나 복주에 인덕턴스 밴드를 부착하여 호흡에 의한 단면적의 변화를 인덕턴스의 변화로 호흡을 감지하는 방법으로서 임피던스 호흡측정법에 비해 각종 motion artifact에 덜 민감하며 장애 무호흡 감자에는 민감함을 확인하였다.

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