p-Si 기판 위에 형성된 $S iO_2/S iN/S iO_2$ 박막의 특성에 관한 연구
(fabrication and characterization of $S iO_2/S iN/S iO_2$ films on p-Si)
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- 대한전자공학회:학술대회논문집
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- 대한전자공학회 2000년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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- pp.32-35
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- 2000