• 제목/요약/키워드: glass penetration

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반도체 소자의 표면보호용 PSG/SiN 절연막의 스트레스 거동 (Stress Behavior of PSG/SiN Film for Passivation in Semiconductor Memory Device)

  • 김영욱;신홍재;하정민;최수한;이종길
    • 한국재료학회지
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    • 제1권1호
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    • pp.46-53
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    • 1991
  • 반도체 공정의 최종 보호막으로 주로 사용되는 PSG (Phosphosilicate class), USG (Undoped silicate glass) 및 SiN 막을 CVD 방식으로 deposition 하여 각 막의 스트레스를 막 두께 또는 대기중 방치시간의 함수로 조사하고 Al 배선의 stress-migration 관점에서 평가했다. 그 결과 PSG 막과 USG 막은 tensile stress를 나타내고 두께증가에 따라 스트레스가 증가하였고, SiN 막은 두께에 관계없이 일정한 compressive stress를 나타내었다. PSG 막은 현저한 스트레스 경시변화를 보여 대기중에 방치시 2일이내로 tensile stress가 compressive stress로 변화되었다. 그 주 원인은 PSG 막의 수분 흡수 때문인것이 FTIR 분석으로 밝혀졌고, $300^{\circ}C$에서 20분간 anneal 처리로 $2.5{\times}{10^9}\;dyne/cm^2$의 스트레스 회복이 가능하였다. PSG 막이 포함된 복합막의 경우, 복합막 stress는 PSG 막의 방치시간에 따라 변한다. 즉, 복합막의 스트레스는 복합막을 구성하고 있는 막들의 두께의 함수이다. 또 SiN 막의 강한 압축응력을 완화시켜주는 PSG, USG 막의 스트레스가 큰 인장응력을 나타낼수록 Al 배선의 stress-migration 에 대한 저항은 커진다.

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유동성 복합레진의 임상적 용도에 관한 검토 연구 (A STUDY ON THE CLINICAL USAGE OF THE FLOWABLE COMPOSITE RESIN)

  • 박소영;정태성;김신
    • 대한소아치과학회지
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    • 제29권2호
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    • pp.255-261
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    • 2002
  • 유동성 복합레진은 치면 열구 전색이나 작은 교합면 우식의 예방적 레진 수복 및 깊은 와동의 이장재로 사용할 수 있으나 이에 대한 임상적 연구는 부족한 실정이다. 본 연구는 유동성 복합레진이 치면 열구 전색, 예방적 레진 수복, 깊은 와동의 이장의 세 가지 임상적 용도로 적용될 경우, 기존의 재료와 비교한 대체가능성과 타당성을 검토할 목적으로, 각 용도에서의 양재료들이 나타내는 미세누출 양상을 비교분석하였다. 교합면이 건전한 120개의 발거된 대구치를 6개의 군으로 나누어 각 군당 20개색 시편을 구성하였다. 제 1군과 2군에는 각각 Concise와 Tetric flow로 치면 열구 전색을, 제 3군에는 Z-100과 Concise, 제 4군에는 Tetric flow로 예방적 레진 수복을 시행하였으며, 제 5군에는 Vitrebond, 제 6군에는 Tetric flow를 이장재로 이용하여 sandwich technique 수복을 시행하였다. 100회의 열 순환 및 색소 침투후 색소 침투 정도를 관찰하고 미세누출 정도를 판단하여 비교, 분석한 결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 열구 전색재인 Concise와 유동성 복합레진인 Tetric flow로 각각 치면 열구 전색을 시행한 경우 미세누출의 차이가 나타나지 않았다(p>0.05). 2. 복합레진인 Z-100과 열구전색재인 Concise로 예방적 레진 수복을 시행한 군과 유동성 복합레진인 Tetric flow 단일 재료로 수복한 군 간에도 미세누출의 차이는 없었다(p>0.05). 3. 이장재로 Resin-modified glass ionomer cement 인 Vitrebond와 유동성 복합레진인 Tetric flow를 사용하여 sandwich technique으로 복합레진 수복을 시행한 경우에도 양 군간에 미세누출의 차이는 나타나지 않았다(p>0.05).

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통신 안테나용 허니콤 샌드위치 구조물의 충격 손상에 관한 연구 (Impact Damage of Honeycomb Sandwich Antenna Structures)

  • 김차겸;이라미;박현철;황운봉;박위상
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제26권2호
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    • pp.387-398
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    • 2002
  • The impact response and damage of CLAS panel was investigated experimentally. The facesheet material used was RO4003 woven-glass hydrocarbon/ceramic and the core material was Nomex honeycomb with a cell size of 3.2mm and a density of 96 kg/㎥. The shield plane used was RO4003 and 2024-T3 aluminum. Static indentation and impact test was conducted to characterize the type and extent of the damage observed in two CLAS panels, and the performance of antenna used in a wireless LAN system. Correlation of peak contact force, residual indentation and the delamination area shows impact damage of the panel with an aluminum shield plane is larger than that of the panel with RO4003 shield plane, although the former is more penetration resistant. The damage was observed by naked eye, ultrasonic inspection and cross sectioning. The shape and size of delamination was estimated by ultrasonic inspection, and the area of delamination linearly increases as impact energy increases. The performance of impact damaged antenna was estimated by measuring return loss and radiation pattern. It was revealed that the performance of antenna was related to the impact damage and there was a threshold that the performance of antenna fell as impact energy level changed. The threshold was between the impact energies of 1.5J and 1.75J.

Poly(vinyl acetate-co-ethylene) 에멀젼 물성에 대한 가소제 효과 (Effect of Plasticizer on Physical Properties of Poly(vinyl acetate-co-ethylene) Emulsion)

  • 최용해;이원기
    • 공업화학
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    • 제20권4호
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    • pp.459-463
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    • 2009
  • 본 논문에서는 poly(vinyl acetate-co-ethylene) (VAE) 에멀젼에 가소제로 많이 사용되는 di-butyl phthalate (DBP)를 혼합하여 가소제 함량에 따른 물성 변화를 고찰하였다. 시차주사열량계(Differential Scanning Calorimeter) 측정으로부터 건조한 필름의 유리전이온도($T_g$)를 측정한 결과,가소제 함량의 증가에 따라, $T_g$는 감소하는 경향을 나타내었고 반면에 에멀젼의 점도는 가소제 함량의 증가와 더불어 증가하였다. 이러한 결과는 건조한 필름상태에서 가소제는 고분자사슬의 상호작용을 방해하여 $T_g$를 감소시키며 에멀젼 상에서는 가소제가 에멀젼 입자 내로 침투하여 swelling시킴으로써 입자크기가 증가하고 점도를 상승키는 것으로 나타났다. 기계적 물성은 가소제의 함량이 증가할수록 저하되었으나 내수성은 증가되는 결과를 얻었다.

베네치안 블라인드 슬랫각도 형태변화에 따른 주광성능에 관한 연구 - Radiance Program 중심으로 (An Evaluating of Daylighting Performance by Venetian Blind Shapes Type Change - Centre on Radiance Program)

  • 임태섭;박종명;임정희;김병선
    • KIEAE Journal
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    • 제13권5호
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    • pp.59-66
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    • 2013
  • Current Architectural Facade Designs have been trending to increased glass areas resulting in increasing impact on interior lighting and daylighting. In regards to indoor environmental quality, the increase in window space has a large impact on the daylighting received which ultimately impacts the liveability of a space. Especially when considering seasons, in the summer, excessive daylighting can result in glare as well as put an increased load in conditioning the air space further reducing energy efficiency. As a result, in order to improve the sustainability performance of a building, it is important to limit the natural lighting exposure to properly meet the needs and conditions of the building occupants. One of the most representative features to limit excessive sunlight exposure, is to incorporate operable blind systems. To this end, this research has been based on simulations performance through the Radiance Program. Radiance is capable of analyzing performance of daylight and impact of sunlight. Through analysis of different slat angles and blind shapes, impact and minimization of energy usage was evaluated. Furthermore, seasonal analysis was performed in order to understand the effects of seasonal climate factors. Ultimately this research provides an analysis of operable blinds optimization and effects of blind shape, control factors and angle of shading.

PVOH와 polyDADMAC 첨가에 의한 산화전분의 표면사이징 효과 변화 (Effect of PVOH or polyDADMAC Addition on Surface Sizing with Oxidized Starch)

  • 서동일;정영빈;정광호;이학래;윤혜정
    • 펄프종이기술
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    • 제45권4호
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    • pp.1-8
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    • 2013
  • High loading of printing and writing grades with fillers has many advantageous aspects in papermaking because it allows decreasing fiber use and reducing manufacturing cost. High loading technology, however, has some disadvantageous aspects as well. It decreases physical properties of papers, especially strength properties. The problem associated with high loading can be reduced by applying surface sizing starch solution onto paper surface. It is important to control the penetration of the surface sizing starch solution into paper web to obtain the desired property improvement. In this study, the effect of the addition of two polymers into starch solution on paper properties has been examined. PVOH and polyDADMAC were used as polymeric additives for surface sizing with oxidized starch. Viscosity of starch solutions and surface roughness of dried starch films on glass slides showed that some interactions between polymeric additives and oxidized starch have been occurred and the most extensive interaction with starch solution was obtained with high molecular weight polyDADMAC. Low molecular weight PVOH was most effective in improving folding endurance and internal bond strength. On the other hand, polymer addition showed no effect on surface strength of paper. This indicates that not the level of starch holdout but the bonding strength of starch itself has predominant influence on surface strength of paper.

초임계 이산화탄소 유체를 이용한 결정성/무정형 폴리에테르 전해질의 이온전도특성 연구 (Characterization of ion-conductive Behaviors for Crystalline/Amorphous Solid Polyether Electrolytes Using Supercritical $CO_2$ Fluid)

  • 곽근호;;;;홍성권
    • 폴리머
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    • 제26권6호
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    • pp.785-791
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    • 2002
  • 결정성 및 무정형 고분자 전해질의 이온전도 거동에 미치는 초임계 이산화탄소 (sc$CO_2$) 유체의 영향에 대해 조사하였다. 본 연구는 폴리에테르 전해질의 이온전도도 향상에 관한 새로운 개념의 접근 방법이다. sc$CO_2$ 처리결과, 결정성 PEO 전해질의 경우 실온에서 100배 이상의, 무정형 PMEO 전해질은 9$0^{\circ}C$에서 30배 가까운 이온전도도의 상승을 나타내었다. 이는 고분자 매트릭스 내부로 $CO_2$ 분자가 침투함으로써 이온 분산효과로 캐리어 이온의 수를 증가시키고 가소화 효과로 인해 유리전이온도를 저하시켜 이온이동도를 향상시킨 결과이다.

A Proposal on Evaluation Method of Neutron Absorption Performance to Substitute Conventional Neutron Attenuation Test

  • Kim, Jae Hyun;Kim, Song Hyun;Shin, Chang Ho;Choe, Jung Hun;Cho, In-Hak;Park, Hwan Seo;Park, Hyun Seo;Kim, Jung Ho;Kim, Yoon Ho
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • 제41권4호
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    • pp.384-388
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    • 2016
  • Background: For a verification of newly-developed neutron absorbers, one of guidelines on the qualification and acceptance of neutron absorbers is the neutron attenuation test. However, this approach can cause a problem for the qualifications that it cannot distinguish how the neutron attenuates from materials. Materials and Methods: In this study, an estimation method of neutron absorption performances for materials is proposed to detect both direct penetration and back-scattering neutrons. For the verification of the proposed method, MCNP simulations with the experimental system designed in this study were pursued using the polyethylene, iron, normal glass and the vitrified form. Results and Discussion: The results show that it can easily test neutron absorption ability using single absorber model. Also, from simulation results of single absorber and double absorbers model, it is verified that the proposed method can evaluate not only the direct thermal neutrons passing through materials, but also the scattered neutrons reflected to the materials. Therefore, the neutron absorption performances can be accurately estimated using the proposed method comparing with the conventional neutron attenuation test. Conclusion: It is expected that the proposed method can contribute to increase the reliability of the performance of neutron absorbers.

주기패턴 레이더 흡수 구조의 저속충격 후 흡수 성능 평가 (Evaluation of the Absorbing Performance of Radar-absorbing Structure with Periodic Pattern after the Low-velocity Impact)

  • 신준형;곽병수
    • Composites Research
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    • 제35권6호
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    • pp.469-476
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    • 2022
  • 본 논문에서는 주기패턴 레이더 흡수 구조(RAS)에 다양한 손상을 모사하기 위한 저속충격시험을 수행하고 파손모드에 따른 전자기파 흡수 성능 특성 변화를 평가하였다. 주기패턴 레이더 흡수 구조는 주기패턴시트(PPS) 및 유리섬유강화플라스틱(GFRP)으로 구성되며 설계 및 제작된 구조는 X-band(8.2-12.4 GHz)에서 효과적으로 전자기파를 흡수하였다. 제작된 레이더 흡수 구조에 다양한 손상을 유도하기 위해 충격에너지에 따른 저속충격시험을 수행하였으며, 육안검사, 비파괴 검사 및 이미지 프로세싱을 이용하여 발생한 손상모드 확인 및 손상영역을 정량화하였다. 충격 전, 후 레이더 흡수 구조의 전자기파 흡수 성능은 자유공간 측정 시스템을 이용하여 평가하였다. 시험결과, 15 J의 낮은 충격에너지로 인해 발생한 크기가 작은 층간분리는 레이더 흡수 구조의 전자기파 흡수성능 변화에 큰 영향을 미치지 않았다. 그러나 충격에너지를 40 J 또는 60 J로 증가시켜 상대적으로 넓은 영역의 섬유파손 또는 관통파손이 발생한 구조에서는 전자기파 흡수 성능이 크게 저하되는 것을 확인하였다.

소금의 고결화 현상에서 모세관 효과 (Effects of Capillary Force on Salt Cementation Phenomenon)

  • 쭝꽝훙;변용훈;엄용훈;이종섭
    • 한국지반공학회논문집
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    • 제26권4호
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    • pp.37-45
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    • 2010
  • 기후변화로 인해 물의 증발량이 많은 지역의 지반에서는 자연적인 소금의 고결화 현상이 발생한다. 이러한 소금의 고결화 분포는 모래지반에서 모세관력에 영향을 받는다. 이 연구의 목적은 콘 관입시험, 전기전도율 측정, 사진 이미지 촬영, 비파괴 이미지 분석 그리고 탄성파에 의한 프로세스 모니터링을 이용하여 소금의 고결화 현상에 대한 모세관력의 효과를 관찰하는 것이다. 실험은 입상재료를 모형화한 글라스비즈를 소금물에 포화시킨 후, 오븐에 넣어 시료를 건조시킴으로써 고결화를 발생시켰다. 실험결과, 고결된 소금의 농도는 시료입경이 작은 경우 최상부에서 높았고, 시료입경이 큰 경우 중간 또는 하부에서 높았다. 고결된 시료에서 높은 소금농도의 위치는 해석적 방법으로 산정된 모세관 높이와 유사하였다. 본 연구에서 수행한 5가지 실험은 모세관력이 소금이 고결된 흙과 같은 입상재료의 거동에 중요한 영향을 끼치는 것을 보여준다.