• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.210-210
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• 2011

The effects of CH2F2 and N2 gas flow rates on the etch selectivity of silicon nitride (Si3N4) layers to extreme ultra-violet (EUV) resist and the variation of the line edge roughness (LER) of the EUV resist and Si3N4 pattern were investigated during etching of a Si3N4/EUV resist structure in dual-frequency superimposed CH2F2/N2/Ar capacitive coupled plasmas (DFS-CCP). The flow rates of CH2F2 and N2 gases played a critical role in determining the process window for ultra-high etch selectivity of Si3N4/EUV resist due to disproportionate changes in the degree of polymerization on the Si3N4 and EUV resist surfaces. Increasing the CH2F2 flow rate resulted in a smaller steady state CHxFy thickness on the Si3N4 and, in turn, enhanced the Si3N4 etch rate due to enhanced SiF4 formation, while a CHxFy layer was deposited on the EUV resist surface protecting the resist under certain N2 flow conditions. The LER values of the etched resist tended to increase at higher CH2F2 flow rates compared to the lower CH2F2 flow rates that resulted from the increased degree of polymerization.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.472-472
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• 2011

The capacitive coupled plasma (CCP) has been extensively used in the semiconductor industry because it has not only good uniformity, but also low electron temperature. But CCP source has some problems, such as difficulty in varying the ion bombardment energy separately, low plasma density, and high processing pressure, etc. In this reason, dual frequency CCP has been investigated with a separate substrate biasing to control the plasma parameters and to obtain high etch rate with high etch selectivity. Especially, in this study, we studied on the etching of $SiO_2$ by using the pulse-time modulation in the dual-frequency CCP source composed of 60 MHz/ 2 MHz rf power. By using the combination of high /low rf powers, the differences in the gas dissociation, plasma density, and etch characteristics were investigated. Also, as the size of the semiconductor device is decreased to nano-scale, the etching of contact hole which has nano-scale higher aspect ratio is required. For the nano-scale contact hole etching by using continuous plasma, several etch problems such as bowing, sidewall taper, twist, mask faceting, erosion, distortions etc. occurs. To resolve these problems, etching in low process pressure, more sidewall passivation by using fluorocarbon-based plasma with high carbon ratio, low temperature processing, charge effect breaking, power modulation are needed. Therefore, in this study, to resolve these problems, we used the pulse-time modulated dual-frequency CCP system. Pulse plasma is generated by periodical turning the RF power On and Off state. We measured the etch rate, etch selectivity and etch profile by using a step profilometer and SEM. Also the X-ray photoelectron spectroscopic analysis on the surfaces etched by different duty ratio conditions correlate with the results above.

• 대한치과마취과학회지
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• 제3권1호
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• pp.28-33
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• 2003

Background: The fundamental responsibility of an anesthesiologist is to maintain adequate gas exchange. Failure to maintain a patent airway can result in brain damage or death. Generally, in patients with mandibular prognathism, who have the protruded mandible, the mask ventilation was thought to be not easy. The purpose of this study was to observe the degree of the difficulty of airway management in mandibular prognathism using some anatomic criteria for defining and grading difficulty of airway and difficulty of endotracheal intubation with direct laryngoscope. Methods: The observations and measurements are done to the 54 patients with mandibular prognathism, who were scheduled for corrective esthetic surgery. The case study is done to the 30 patients with normal mandible for control group. In all patients, mouth opening distance (MOD), mouse opening angle (MOA), mandibular length (ML), mandibular depth (MD), thyromental distance (TMD), thyromental area (TMA), Mallampati grades, and Cormack and Lehane grades are measured. T-test and Chi-square test are done (P < 0.05). Results: In the mandibular prognathism cases, the measurements of MD, TMD and TMA are more greater than those of controls (P < 0.05). Mallampati grades with tongue thrust are higher in the female mandibular prognathism cases than those of female controls. Most of the grades of the mandibular prognathism cases with Cormack and Lehane grading system are I or II being easy intubation cases (P < 0.05) Conclusions: In the patients of mandibular prognathism, the intubation with laryngoscope will be easer than that of normal mandible in general. It is for that their laryngeal aperture can be easily visible when the laryngoscope are used.

• 한국콘텐츠학회논문지
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• 제17권3호
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• pp.359-369
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• 2017

본 연구의 목적은 상이한 성과급 분배 방식이 근로자들의 수행에 미치는 효과가 수행 피드백의 제공 여부에 따라 어떻게 변화하는지 검증하는 것이었다. 서울에 위치한 G 주유소에 근무하는 5명의 근로자들이 실험에 참여하였다. 성과급 분배 방식(동등분배 집단 성과급, 개인 성과급)과 피드백의 제공 여부가 본 연구의 독립변인으로 설정되었으며, 종속변인은 참가자들이 핵심 고객 서비스 행동 5가지를 수행한 비율이었다. ABCAB'C' 피험자 내 설계가 적용되었으며 기저선 조건(A) 후 동등분배 집단 성과급 조건(B)이 제시되었고 이어서 개인 성과급 조건(C)이 제시되었다. 철회(A) 이후 다시 동등분배 집단 성과급 + 피드백 조건(B')과 개인 성과급 + 피드백 조건(C')이 차례로 제시되었다. 연구 결과 수행에 대한 피드백이 제공되지 않는 단계에서는 개인 성과급 조건에서 동등분배 집단 성과급 조건 보다 참가자들의 수행이 더 높게 나타났다. 그러나 수행에 대한 피드백이 제공되는 단계에서는 동등분배 집단 성과급과 개인 성과급 조건 간 참가자들의 수행 차이는 나타나지 않았다.

• 대한소아치과학회지
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• 제30권1호
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• pp.124-131
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• 2003

최근 치과영역에서 아산화질소(Nitrous Oxide)를 이용한 의식하 진정과 필은 진정의 임상 적용이 증가함에 따라 수술실 또는 진료실 환경이 아산화질소로 오염될 수 있다. 비록 낮은 농도일지라도 장기간 아산화질소에 노출 시 자연유산의 증가, 기형아 출산 증가, 말초신경염 및 운동신경 장애 등과 같은 부작용을 초래하는 것으로 알려져 있다. 호흡시 흡입 공기의 구성성분의 변화를 줄 수 있는 구강 입구로부터 반경 12 inch 이내 영역인 호흡대역(Breathing zone)에서 아산화질소 농도는 치료자에게 영향을 주게된다. 소아 환자에게 주로 적용되는 깊은 진정시는 환자의 구호흡양에 따라서 호흡대역에서 아산화질소의 농도에 영향을 주게되므로, 깊은 진정시 구호흡의 증가 원인을 규명하기 위해 잉여가스 배출 방법을 달리하여 호흡대역에서 아산화질소 농도를 측정 비교하여 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 깊은 진정을 시행하는 경우 호흡대역에서 아산화질소의 농도는 공급 가스량 증가에 의한 비기도 저항 증가에 따라 증가하는 양상을 보였다. 호흡대역에서 아산화질소 농도 증가는 구호흡 증가에 의한 것이며 구호흡은 비기도 저항과 관계가 있다 할 수 있다. 즉 비기도 저항 증가는 구호흡의 한 요인이라 할 수 있다. 음압을 사용한 호기가스 배출장치를 사용하여도 NIOSH에서 권장하는 허용치에는 미치지 못하였고 이를 위해서는 팬이나 다른 제거 장치가 함께 사용되어야 한다. 2. 구강편도의 크기는 기도 저항이 적은 경우 즉 음압을 사용하여 호기가스 제거하는 경우 구호흡에 영향을 주었다.

• Asian-Australasian Journal of Animal Sciences
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• 제19권12호
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• pp.1755-1760
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• 2006

Studies were carried out at the National Institute of Animal Nutrition and Physiology, India to determine the effect of feeding chopped paddy straw (Oryza sativa) on the energy expenditure in crossbred cattle. Four crossbred cattle male, aged 5-6 years and weighing about 450 kg were used for this study. Three experimental trials, one each for the feeding of un-chopped paddy straw offered ad libitum (UCA), chopped paddy straw fed at restricted level (CR) and chopped paddy straw offered ad libitum (CA) were conducted. The quantity of un-chopped paddy straw consumed during UCA was assumed as the voluntary intake by the cattle and the same quantity was offered after chopping during CR. Each trial comprised of 21 d preliminary feeding period and 5 d of observation recording period. Expired gas was collected in Douglas bags using a face-mask and three-way valve at 6 hourly intervals i.e., at 09.30, 15.30, 21.30, and 03.30 h throughout the observation period. Expired gas and ambient air inspired by the animals were analyzed for the oxygen content through paramagnetic oxygen analyzer. Energy expenditure (EE) by the animals was calculated by determining the volume of oxygen consumed per minute (STP) and multiplying by 4.825. Paddy straw used in all the three trials contained (g/kg DM) 90.0 CP, 786 OM, 700 NDF, 489 ADF, 357 Cellulose and 60.0 ADL. Metabolizable energy (ME) was 6.9 MJ/kg DM. Dry matter intake (DMI) both in UCA and CR was about 6.8 kg, except that it was chopped in CR. Chopping has resulted in 32% improvement (9 kg) in DMI of CA as compared to that of UCA. Although ME intake was similar in UCA and CR (47.2 MJ/day), energy expenditure (EE) was higher in UCA (23.3 MJ) when compared to that of CR (19.5 MJ). The ME intake (63.3 MJ) as well as EE (27.1 MJ) was highest in CA. Energy expenditure when expressed as MJ/kg DMI was 3.48, 2.90 and 3.12; whereas as per cent of ME intake it was 50, 41 and 44 in UCA, CR and CA respectively. Our study has unequivocally confirmed that chopping of poor quality roughages like paddy straw has definite advantages not only in terms of improving the intake by decreasing the time taken for ingestion but also in reducing the energy cost of eating.

• 대한소아치과학회지
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• 제45권4호
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• pp.508-513
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• 2018

세보플루란에 의한 일회 환기량은 낮은 용량에서는 호흡수의 증가로 안정적이다. 그러나 진정 깊이가 증가하면 폐포 환기는 세보플루란에 의해 감소되어 결과적으로는 $PaCO_2$가 증가한다. 호흡 억제의 발생은 깊이 진정된 장애 환자에서 심한 저산소증과 고탄산혈증의 위험을 증가시킨다. 세보플루란 흡입 마취는 여러 위험성이 내제되어 있으며 체내 산 염기 상태에 따라 혈역학적 변화가 발생하기에 예기치 못한 문제 상황이 발생할 수 있다. 세보플루란으로 장애인의 마취 유도 시 발생하는 호흡 억제로 인한 체내 산 염기 상태가 안정한지 알아보고자 이 연구를 진행하였다. 마취 유도는 4 vol% 세보플루란, 4 L/min 아산화질소, 4 L/min 산소를 자발 호흡 하에서 환자 안면부에 마스크를 거치하여 유도하였다. 그 뒤 환자의 의식소실 및 근육 긴장 완화 후 즉시 전문가에 의해 IV line을 거치한 뒤 정맥 채혈을 하여 정맥 내 혈액가스 분석을 하였다. 깊은 진정 상태에서 전체 환자의 평균 pH는 $7.36{\pm}0.06$으로 측정되었다. $PvCO_2$는 전체 환자에서는 평균 $48.8{\pm}8.50mmHg$로 측정되었다. $HCO_3{^-}$는 전체 환자에서 평균 $27.2{\pm}3.0mmol/L$로 측정되었다. 결론적으로 장애인을 대상으로 한 치과 진료시 세보플루란을 이용한 흡입 진정에 대한 체내 산 염기 반응은 비교적 안정적이었다.

• 농촌의학ㆍ지역보건
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• 제48권4호
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• pp.239-250
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• 2023

이 연구는 농업인의 업무상질환에 대한 예방사업을 위한 사전 연구로서 업무상질환 등 농업인들이 인지하고 있는 우선순위를 선정하고, 또한 예방사업 역시 농업인들이 인지하고 있는 주요질환들의 사업 중 효과와 실천가능성을 파악하여 이후 농업인 안전보건사업의 근거자료로 활용하고자 한다. 연구 대상자는 지역에 거주하고 있는 농업인들을 눈덩이 모집 방식으로 선정하였으며 전체 671명을 대상으로 하였다. 우선순위 선정 방식은 BPRS 방법으로 하였으며, 각 업무상질환 중근골격질환, 심혈관 및 호흡기질환 그리고 농약 중독 예방을 위한 세부 사업에 대한 농업인들인 인지하는 효과와 실천가능성을 설문 조사하였다. 업무상질환 중 가장 높은 우선순위는 근골격질환이었으며, 호흡기질환, 농약 중독 등의 순이었으며, 근골격계질환의 세부 사업 중 '농작업편이장비, 보조도구 활용'이 인지하고 있는 효과정도와 실천가능성이 가장 높았다. 농약 중독 5가지 세부 사업 중 효과는 '농약 방제복/장갑 등 보호장비 구비'가 67.4%로 가장 높았으며, 실천가능성 정도는 '농약 사용법 준수'가 64.3%로 가장 높았다. 호흡기질환 예방을 위한 4가지 세부사업 중 효과와 실천 가능성 모두 '분진마스크 또는 방독마스크 착용'이 65.5%로 가장 높았다. 농업인들을 위한 안전보건사업을 수행할 때 근골격질환을 위한 사업을 우선적으로 하여야 할 것이며, 농약중독, 호흡기질환 역시 우선순위를 고려하여야 하며, 농업인들이 인지하고 있는 효과 크기와 실천 가능성을 함께 고려하여 사업 내용을 구성하여야 할 것이다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제43권2호
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• pp.190-200
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• 1996

연구배경 : 장기간 진행된 심한 만성 기도 폐쇄질환 환자에서 합병된 급성 호흡부전의 치료로 기관삽관과 기계호흡이 필요한 경우가 있다. 그러나 기계호흡을 거부하거나 기계호흡의 이탈이 불가능할 것으로 예측되는 환자에서 기관삽관과 기계호흡을 대신할 수 있는 환기법이 필요할 것으로 생각된다. 최근 수면 무호흡질환 환자의 치료로 개발되었던 지속적 기도 양압 치료가 급성 혹은 만성 호흡부전의 치료로 시도되고 있다. 본 연구에서는 급성 호흡부전이 합병된 만성 기도 폐쇄환자에서 비강 마스크를 통한 BiPAP 치료를 실시하여 그 효과를 평가하였다. 방법 : 영남대학교 의과대학 부속병원 내과에 내원한 만성 기도 폐쇄환자 22명을 대상으로 하여, BiPAP 치료군으로 10명의 만성 폐쇄성 폐질 환자와 1명의 기관지 천식환자에게는 대증적 치료 및 BiPAP 치료를 동시에 실시하였고, 대조군으로 11명의 만성 폐쇄성 폐질환자에게는 대증적 치료만 시행하였다. 대증적 치료는 산소 요법, 아미노필린, 부신피질 호르몬 흡입, 베타 agonist 등의 약물을 투여하였고 BiPAP 치료시 mode는 spontaneous timed, 호흡 빈도는 분당 12회에서 20회, IPAP는 $6cmH_2O$에서 $8cmH_2O$, EPAP는 $3cmH_2O$에서 $4cmH_2O$로 설정하였고 사용 기간은 3일간이었다. 치료 효과는 호흡 빈도, modified Borg scale 및 동맥혈 가스소견으로 비교하였다. 결과 : BiPAP 치료군과 대조군 사이에 나이, 치료 시작전 호흡 빈도 동맥혈 가스소견, modified Borg scale 그리고 안정 상태에서 시행한 환기 기능검사 소견은 양군 사이에 차이가 없었다. 호흡빈도와 modified Borg scale은 BiPAP 치료군과 대조군에서 시간의 경과에 따라 모두 유의하게 호전되었으나 두군간의 차이는 없었다. 동맥혈 산소 BiPAP 치료군과 대조군에서 다 같이 치료전에 비해 치료 1일 및 3일후에는 시간에 경과에 따라 호전되었으나 BiPAP 치료군에서는 치료 1일후와 치료 3일후의 소견에도 뚜렷한 호전이 있었던 반면에 대조군에서는 의미있는 차이가 없었다. BiPAP치료군에서는 동맥혈 이산화탄소분압은 치료전과 비교하여 치료 1일후 및 3일후에는 각각 유의하게 감소되었으나 대조군에서는 유의한 감소가 없었다. pH는 BiPAP 치료군에서 치료전과 비교하여 3일후에 의의있게 증가하였으나 대조군에서는 뚜렷한 차이가 없었다. 대조군과 BiPAP치료군의 치료 전후의 평균 동맥혈가스 차이로 두 군간의 비교에서도 동맥혈 산소분압은 치료 3일째, 동맥혈 이산화탄소 분압은 치료 1일째와 3일째, pH는 치료 3일째에 각각 의미있는 (p<0.05) 차이를 보였다. 결론 : 이상의 결과로 중증 만성 폐쇄성 폐질환 환자에서 급성 호흡부전이 발생시 BiPAP 치료는 호흡곤란과 동맥혈 호흡성 가스 소견을 향상시킬 수 있는 보조적인 환기법이 될 수 있겠으며 기관 삽관에 의한 인공호흡을 대신할 수도 있을 것으로 생각된다.

• 한국산업보건학회지
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• 제24권4호
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• pp.446-452
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• 2014

Objective: This study aimed to evaluate the exposure status of formaldehyde(FA) among the nurses in ambulatory care departments of university hospital. Methods: Two university hospitals were surveyed. The FA concentration in air were measured to target 62 nurses in 8 ambulatory care departments(89 samples). Air sampling and analysis of FA were carried out according to the OSHA Method ID-205. The survey was conducted with questionnaire asking about how to control FA and whether the nurses use the formaldehyde protectors or not. Results: FA was detected in all samples. The maximum concentration of FA was 0.258 ppm and the geometric mean was 0.023 ppm. There was no sample that exceeded any of exposure standards by OSHA-TWA whereas there were 54 samples(60.7%) that exceeded the standards by NOISH-TWA. Among 62 nurses handling FA, 13 nurses(21.0%) used the protective gloves while nobody used a gas mask. It was assessed that any of 8 common ambulatory care departments did not use a safety cabinet for FA in which local exhaust ventilation was fixed. Conclusions: Nurses in ambulatory care departments were exposed to FA. Therefore, the environment management of a workplace, the health management of a nurses, FA handling education and installing a FA cabinet with a local exhaust ventilation were needed because FA as a carcinogen was able to cause any cancer to a human body if it was emitted in air for long time.