• 제목/요약/키워드: focused laser beam

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레이저 박리용 선형 빔 광학계의 빔 변환 모듈과 단축 형상에 대한 연구 (Research on BTU and Short-axis Geometry of Line-beam Optics for LLO Applications)

  • 이승민;이광진;김대용;이상현;정진호
    • 한국광학회지
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    • 제32권6호
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    • pp.276-285
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    • 2021
  • 본 논문은 디스플레이용 OLED의 제작 공정에 사용하는 레이저 박리(laser lift-off, LLO) 장비의 선형빔 광학계에 대한 연구로서, M2가 큰 레이저를 사용하는 경우, 단축의 선폭을 작게 만들면서 공정심도를 깊게 유지하기 위한 빔 변환 모듈(beam transformation unit, BTU)을 포함한 광학계에 대한 연구를 진행하였고, 단축 형상을 슈퍼 가우시안으로 만들 수 있는 방법과 flat-top 분포로 만들 수 있는 광섬유를 사용하는 빔 변환 방식에 대하여 제시하였다.

$CCl_2F_2$ 가스분위기에서 집속레이저빔을 이용한 페라이트의 미세가공 (Microprocessing of Ferrite Using Focused Laser Beam in $CCl_2F_2$ Gas Atmosphere)

  • 이경철;이천
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 G
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    • pp.2553-2555
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    • 1998
  • A single crystal Mn-Zn ferrite was directly etched by focused $Ar^+$ laser beam in $CCl_2F_2$ gas atmosphere. AES has been performed for locally investigating the surface composition of an etched layer. MnCl, ZnCl being created after the substrate and $CCl_2F_2$ chemically reacting was remained in the vicinity of laser irradiation area because of their low vapor pressure. Various patterns using computer were formed on the substrate. The etched grooves and patterned shapes were observed by SEM measurement.

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레이저를 이용한 유리기판의 미세가공(微細加工) (Micro-Processing of Glass Substrates Using a Laser)

  • 이천;풍전호일
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1994년도 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1425-1427
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    • 1994
  • Laser ablation of glass substrates (8K-7 and synthetic quartz) using a transversely excited atmospheric (TEA) $CO_2$ laser has been inverstigated to obtain high speed etching. The ablation occurs by local heating of a substrate with a focused TEA-$CO_2$ laser beam. The dependence of ablation rate on pulse count and repetition-rate of laser has been discussed.

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소다석회유리의 CO2 레이저 스크라이빙 가공 (CO2 Laser Scribing Process of Soda Lime Glass)

  • 강승구;신중한
    • 한국기계가공학회지
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    • 제18권5호
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    • pp.74-81
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    • 2019
  • This study reports the CW $CO_2$ laser scribing of soda lime glass. In this study, scribing experiments are carried out at different laser powers, scan speeds, and focal positions to investigate the effect of the process parameters on the interaction characteristics between a laser beam and glass. In particular, the interaction characteristics are analyzed and described with the input laser energy per unit length. According to the experimental results, the damage threshold for the glass surface was found to exist between 0.072 and 0.08 J/mm. The input laser energy in this region induced partial melting of the surface and grain-shaped cracks. These cracks tended to increase as the input laser energy increased. At the laser input energy larger than 1 J/mm, a huge crack propagating along the scan direction was produced, and the volume below the scribed area was fully melted. The growth of this crack finally resulted in the complete cutting of the glass at the input laser energy above 8 J/mm. It was found that both the width and depth of the scribed line increased with increasing input laser energy. For the beam focusing at the rear surface, the width of the scribed line varied irregularly. This could be ascribed to the increased asymmetry of the beam intensity distribution when the laser beam was focused at the rear surface. Under this condition, a large burr was only produced on one side of the scribed line.

레이저 펄스 에너지를 이용한 무통증 마이크로젯 약물전달시스템 (Painless Microjet Injector Using Laser Pulse Energy)

  • 여재익;한태희;하정무
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제35권5호
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    • pp.547-550
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    • 2011
  • 레이저 기반의 무바늘 액체 약물전달장치는 계속해서 개발되어왔다. 레이저 빔이 고무 챔버 내부의 액체에 모이게 된다. 초점이 맞춰진 레이저 빔은 공기방울을 생성시키고 급격히 팽창하게 된다. 밀봉된 챔버 안쪽에서의 급격한 부피변화는 액체약물을 마이크로 노즐을 통해 빠르게 밀어내어 마이크로 약물젯을 생성한다. 노즐의 출구지름은 100 ${\mu}m$ 이하이며 본 연구팀은 생성된 마이크로 약물젯의 속도가 인체의 연조직으로 침투시키기에 충분함을 확인하였다. 이 실험에서는 사람의 혈전을 모사한 무게 비 5%의 젤라틴 수용액을 냉각시킨 샘플과 돼지 지방층을 사용하여 침투실험을 수행하였다.

컴퓨터 정보저장용 상변화형 광기록매체 (Phase-change optical media for computer data storage)

  • 김명룡
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제8권2호
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    • pp.229-236
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    • 1995
  • Multimedia has created a system environment that needs a combination of diverse peripherals, faster I/O, and easier configuration. The sheer volume of data one can expect with multimedia hardware and applications storage systems of higher capacity and faster data transfer rate. Unlike the magneto-optical(MO)disk technology which uses bias magnetic field in writing, both the reading and the writing in the phase change (PC) technology are performed only by laser light. In PC optical media, an active layer is reversibly converted between amorphous state and crystalline state by changing irradiation conditions of focused laser beam. Thus, as compared with MO disk, the PC disk has such great advantages that signals can be reproduced by change of reflectance of laser beams in the same manner as the compact disc. The reflectivity of a phase-change spot can be altered in a single pass under the head only through modulation of laser power. The principles and the current status of phase-change optical recording media combined with possible applications are discussed in the present article.

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고속레이저추진원리를 활용한 무통증 주사기의 개발 및 의료산업으로의 Spin-off (Development of a painless injector using high speed laser propulsion and its spin-off to medical industry)

  • 한태희;여재익
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
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    • 한국추진공학회 2010년도 제34회 춘계학술대회논문집
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    • pp.326-330
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    • 2010
  • 본 연구진은 레이저-물질 간의 상호작용을 응용하여 새로운 방식의 약물 전달 시스템을 개발하고 있다. 레이저 빔이 마이크로 단위 크기의 고무 챔버 속에 채워져 있는 액체 속에 집광되면 순간적인 고에너지 전달로 인해 기포가 생겨나고, 이로 인한 빠른 부피팽창으로 인해 마이크로 노즐 속의 약물 용액이 빠른 속도의 마이크로 젯의 형태로 분사되는 원리를 이용하는 것이다. 실험에서 노즐 출구의 지름은 125 ${\mu}m$, 측정된 마이크로 젯의 속도는 265 m/s였다. 이 장치의 주요한 특징은 시간에 따른 마이크로 젯의 제어가 가능하다는 것이다.

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레이저 융제된 HTS 표면의 불균일한 변조에 대한 연구 (Study on the nonuniform modification of laser ablated HTS surface)

  • 정영식;이상렬
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1996년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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    • pp.251-253
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    • 1996
  • High temperature superconducting (HTS) target has been irradiated by excimer laser beam. The surface of HTS target has been changed and showed the formation of cones. The laser ablated HTS target surface has been systematically studied using a scanning electron microscope. A KrF excimer laser with a wavelength of 248 nm was used to ablate the HTS YBCO target. The size of laser beam focused on the target showed a rectangular shape of $9.7{\times}2\;mm^2$. The image of SEM shows the difference between the shapes of cones fanned at the boundary and at the center of the ablated area after 1,000 laser pulses.

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마이크로 미러의 광학적 특성 측정 (Measurement of Optical Properties of Micromirror)

  • 김도형;김호성
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1996년도 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1954-1956
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    • 1996
  • In this paper, we measured the reflectance of the $100{\mu}m{\times}100{\mu}m$ micromirror. In order to reduce the size of the HeNe laser beam, an eyepiece and an objective lens were used. CCD camera was used to the monitor the position and focusing. It was found that the diameter of the focused laser beam was about $3{\mu}m$. The reflectance of the reflectance of the micromirror was over the surface and 87% of the commercial mirror.

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