In this paper, a Exhaust Flow Controller (EFC) technology for uniform application of film coater and developer device is introduced that spread and remove photo resister at semiconductor manufacturing process. Because developed EFC device uses differential pressure sensing method as a differential flow meter and embodied smart A/D conversion by using a one chip microprocessor and devised by feedback Servo control, It has shown excellent performance and stability evaluation, as maximum 2000L/min flow, capability of installation to actual semiconductor equipment.
Automatic flow control system composed by hardware and software was designed and fabricated to be used as teaching tool of feedback control theory in university experimental class. This system includes hardwares like data acquisition board, flow measuring device, transmitters, and the pneumatic valve, and software like LabView program for the monitoring and control of flow rates. The system was designed as the student can see the control effect of not only set point but also disturbance changes. Also the LabView program was composed for the calculation of controller parameters of both Ziegler-Nichols and Cohen-Coon tuning. The students can apply both tuning constants and compare the control performances. This system will provide the easy way for the students to understand the function and specification of control hardwares, and to raise the programing ability of control software.
본 연구에서는 모바일콘텐츠 중 성장 가능성이 가장 큰 것으로 전망되는 모바일게임에 있어서 플로우와 고객 충성도 간의 인과관계를 구조적으로 살펴보고, 플로우에 영향을 주는 요인들에는 어떤 것들이 있는지를 조사하였다. 연구 결과 플로우는 디자인, 도전감, 숙련도 및 보상에 의해 유의한 영향을 받는 것으로 나타났으며, 플로우 또한 고객 충성도에 유의한 영향력이 있는 것으로 확인되었다. 이러한 통계적 검증결과를 통해 모바일게임 개발과 관련된 몇 가지 실무적 시사점들을 도출하였다.
본 논문에서는 ARQ 기법의 성능을 정확히 분석하기 위해 궤환채널의 잡음을 고려하여 시스템의 성능을 분석하였다. 상태도를 이용하여 ARQ 메카니즘을 표현하였고, 신호흐름 그래프에 대한 생성함수를 이용하여 ARQ 기법의 정보전송율을 수학적으로 유도하였다. 채널은 광범위한 채널환경에 적용할 수 있는 나카가미-m 페이딩 채널모델을 사용하였으며, BPSK 및 BFSK 시스템에 ARQ 기법을 적용하여 궤환이득과 페이딩 지수 m에 따른 시스템의 정보전송율을 컴퓨터 시뮬레이션을 통해 분석하였다. 분석결과, 궤환채널의 잡음이 증가할수록 ARQ 기법의 정보전송율은 감소하지만 궤환이득과 페이딩 지수 m이 증가할수록 ARQ 기법의 정보전송율이 증가됨을 확인하였다. 또한 비트에러확률의 차이로 BFSK에 비해 BPSK의 정보전송율이 우수함을 확인하였다.
무선 랜 환경에서 신뢰성 있는 멀티캐스트 프로토콜을 지원하기 위해서는 에러 복구와 흐름 제어와 같은 기능이 필요하다. 유선과 무선의 비대칭적인 상호작용으로 인해 발생하는 큐잉 손실과 제한된 무선 채널의 대역폭은 패킷 손실을 줄일 수 있는 효율적인 방법을 필요로 한다. 그리고 공유되는 하나의 브로드캐스트 매체를 사용하기 때문에 여러 수신 단말로부터 동시에 피드백 정보가 전송단에 전달되면 전송단의 채널 혼잡과 과부하를 야기 시킬 뿐만 아니라 순방향의 데이터 프레임 전송을 지연시키게 된다. 그러므로 수신 단말로부터 전송되는 피드백 정보의 수를 줄이는 방법이 필요하다. 본 논문에서는 무선 랜 멀티캐스트 환경에서 채널 상태를 고려하는 적응적 FEC(Forward Error Correction) 방법과 ARQ(Automatic Repeat Request) 방법을 사용하여 역방향 채널의 피드백 수와 재전송 횟수를 줄이고 높은 데이터 신뢰성을 제공할 수 있는 ARS(Adaptive Redundancy Scheme) 방법을 제안한다. 제안하는 방법의 성능을 수학적 분석과 AWGN과 레일리 페이딩(Rayleigh fading) 채널 환경에서의 모의실험 결과를 통해 평가하였다. 성능 평가 결과, 제안하는 방법이 기존의 FEC와 ARQ를 사용하는 방법에 비해 비슷한 효율을 유지하면서 피드백 정보의 수와 재전송 횟수를 줄이고 높은 데이터 신뢰성을 제공하는 것을 확인하였다.
This paper describes the fabrication and characterization of a differential pressure type integrated mass-flow controller made of stainless steel for reactive and corrosive gases. The fabricated mass-flow controller is composed of a normally closed valve and differential pressure sensor. A stacked solenoid actuator mounted on a base-block is utilized for precise and rapid control of gas flow. The differential pressure flow sensor consisting of four diaphragms can detect a flow rate by deflection of diaphragm. By a feedback control from the flow sensor to the valve actuator, it is possible to keep the flow rate constant. This device shows a fast response less than 0.3 sec. Also, this device shows accuracy less than 0.1% of full scale. It is confirmed that this device is not attacked by toxic gas, so the integrated mass-flow controller can be applied to advanced semiconductor processes which need fine mass-flow control corrosive gases with fast response.
The measurement of unsteady flow rate is of vital importance to clarify and improve the dynamic characteristics in pipeline, hydraulic components and system. There is also demand for a real time flow sensor of ability to measure unsteady flow rate with high accuracy and fast response to realize feedback control of flow rate in fluid power systems. In this paper, we propose an approach for estimating unsteady flow rate through a pipeline and components under high pressure condition. In the method, unsteady flow rate is estimated by using hydraulic pipeline dynamics and the measured pressure values at two distant points along the pipeline. The distributed parameter model of hydraulic pipeline is applied with consideration of frequency dependent viscosity friction and unsteady velocity distribution at a cross section of a pipeline. By using the self-checking functions of the method, the validity is investigated by comparison with the measured and estimated pressure waveforms at the halfway section on the pipeline. The results show good agreement between the estimated flow rate waveforms and theroetical those under unsteady laminar flow conditions. the method proposed here is useful in estimating unsteady flow rate through an arbitray cross section in hydraulic pipeline and components without installing an instantaneous flowmeter.
The unsteady supersonic flow over two- and three-dimensional cavities has been analyzed by the integration of unsteady Reynolds-Averaged Navier-Stokes(RANS) with the k-$\omega$ turbulence model. The unsteady flow is characterized by the periodicity due to the mutual relation between the shear layer and the internal flow in the cavity. An explicit 4th order Runge-Kutta scheme and an upwind TVD scheme based on the flux vector split with the van Leer limiters are used for time and space discritizations, respectively. The cavity has a L/D ratio of 3 for two-dimensional case, and same L/D and W/D ratio of I for three-dimensional case. The Mach and Reynolds numbers are 1.5 and 450000 respectively. In the three-dimensional flow, the field is observed to oscillate in the 'shear layer mode' with a feedback mechanism that follows Rossiter's formula. In the two-dimensional simulation, the self-sustained oscillating flow has more violent fluctuation inside the cavity. The primary fluctuating frequencies of two- and three- dimensional flow agree very well with the 2nd mode of Rossiter's frequency. In the three-dimensional flow, the 1st mode of frequency could be seen.
The fluidic flow meter detects the gas flow rate based on the principle of fluidic oscillation instead of the conventional displacement method. It has many merits: wide rangeability, no moving mechanical parts and calibration insensitive to physical properties of fluids. The width of nozzle, size of oscillation chamber, size of target, width of outlet are tested to obtain the effects of jet oscillation on the fluidic flow meter. As the width of nozzle is too wide compared with the size of target, jet oscillation is unstable. The oscillation frequency decreases as the distance between the nozzle and target increases and also as the distance between target and outlet contraction increases. Two different vortexes exist in the front and the rear regions of the target, and they affect the oscillation frequency. The outlet contraction is very important, because the feedback flow is generated by the blocking of the flow. As the width of outlet increases, the jet oscillation frequency decreases. The linearity of this tested flow meter is quite good.
급변하는 유비쿼터스 환경 시대에 맞게 스마트폰의 발달과 시장의 확대로 수많은 교육용 앱이 개발되어져 왔다. 본 연구에서는 스마트 클리커 앱을 활용한 학습활동 및 실시간 피드백을 위한 과제활동을 설계함으로써 교수자와 학습자간의 원활한 소통 및 학습몰입, 학업성취의 효과를 얻고자 하였으며, 이를 실제 교육현장에 적용하여 학습효과를 측정해보고자 하였다. 이를 위해 대학생 총 70명을 대상으로 실험을 실시하였고 동일한 교과목 커리큘럼으로 구성된 두개의 분반으로 나누어 실험집단과 통제집단으로 분류하였다. 학습몰입도와 학업성취도의 결과를 위해 t-검증을 실시한 결과는 다음과 같다. 스마트 클리커를 활용한 실시간 피드백 학습활동을 실시한 학습자의 학습몰입도가 유의미하게 높았다. 반면에, 학업성취도에 있어서는 유의미한 차이가 없었다. 향후 연구에서는, 스마트 클리커 앱을 활용한 상호작용 활동에 보다 초점을 맞춘 학습모형을 개발하고 이에 따른 수업설계 연구가 필요할 것이다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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