칩 스택 패키지의 삼차원 interconnection에 적용을 위해 폭 $75{\sim}10\;{\mu}m$, 길이 3mm의 트랜치 비아에 대해 전기도금전류밀도 및 전류모드에 따른 Cu filling 특성을 분석하였다. 직류모드로 $1.25mA/cm^{2}$에서 Cu filling한 경우, 트랜치 비아의 폭이 $75{\sim}35{\mu}m$ 범위에서는 95% 이상의 높은 Cu filling ratio를 나타내었다. 직류 전류밀도 $2.5mA/cm^{2}$에서 Cu filling한 경우에는 $1.25mA/cm^{2}$ 조건에 비해 열등한 Cu filling ratio를 나타내었으며, 직류모드에 비해 펄스모드가 우수한 Cu filling 특성을 나타내었다.
As a basic expriment to find out the thermal insulation effect of bedding KES-F7 was used to measure. The warmth retaining ratio of the six kinds of filling materials as cotton, wool , silk, down, cotton/polyester was measured, and the infleunce on the warmth retaining ratio of the warmth retaining ratio and humidity by the material was investigated. The results obtained are as follows: 1. The warmth retaining ratio of each filling material was shown to range from $70\%$ to $77\%$ . The warmth retaining ratio of each material preyed to be high in order down> polyester> cotton/polyester>cotton>silk>wool fiber. 2. The warmth retaining ratio of each filling material decreased with the inclose of the humidity The effective reduction rate by filling fiber's was high in order wool>cotton>cotton/polyester>silk>down>polyester material. 3. The warmth retaining ratio of each filling material was shown to be in counter-correlation with the humidity, and the correlation coefficient (r=0.94-0.98) proved to be highly signi-ficant.
The roof-filling body system stability plays a key role in gob-side entry retained (GER). Taking the GER of the 1103 belt transportation roadway in Heilong Coal Mine as engineering background, stability analysis of roof-filling body system was conducted based on the cusp catastrophe theory. Theoretical results showed that the current design parameters of 1103 belt transportation roadway could ensure the roof-filling body system stable during the resistance-increasing support stage of the filling body and the stable support stage of the filling body. Moreover, a verified global numerical model in FLAC3D was established to analyze the failure characteristics including surrounding rock deformation, stress distribution, and plastic zone. Numerical simulation indicated that the width-height ratio of the filling body had a great influence on the stability of the roof-filling body system. When the width-height ratio was greater than 0.62, with the decrease of the width-height ratio, the peak stress of the filling body gradually decreased; when the width-height ratio was greater than 0.92, as the distance to the roadway increased, the roof stress increased and then decreased. The theoretical analysis and numerical simulation findings in this study provide a new research method to analyze the stability of the roof-filling body system in GER.
Almost all injection molds have multi-cavity runner system for mass production, which are designed with geometrically balanced runner system in order to accomplish filling balance between cavity to cavity during processing. However, even though geometrically balanced runner is used, filling imbalance have been observed. Filling imbalance could be decreased by modifying processing conditions such as injections rate, mold temperature, injection pressure, melt temperature that are related to shear, viscosity. In this study, a series of experiment was conducted to investigate filling imbalance variation when modifying runner layout and ploymer and to determine which processing condition influences as the primary cause of filling imbalance in geometrically balanced runner system. The filling imbalance was desreased up to result range of $3{\leq}DFI{\leq}8(%)$ by using a new runner system for balanced filling.
충진율을 다르게 하여 포장한 김치를 $10^{\circ}C$에서 저장하면서 포장내 기체조성, pH, 산도, 김치여액의 색도, 젖산균수 및 기호도의 변화를 측정하므로서 충진율이 김치의 품질에 미치는 영향을 조사하였다. 포장내 기체 조성은 충진율이 증가할수록 $O_{2}$의 감소와 $CO_{2}$의 증가 크기가 더 커졌다. pH와 산도는 그다지 충진율의 영향을 받지 않았으며, 색도의 경우에도 충진율에 관계없이 L, b 값은 지수적으로 감소하였고 a 값은 거의 일정하였다. 젖산균수와 관능검사 결과 역시 충진율에 따라 유의적인 차이가 나타나지 않았다. 이상의 결과로부터 김치의 포장시 충진율의 조절은 포장내 기체조성을 제외하고는 김치의 품질에 별다른 영향을 미치지 않는 것으로 판단되었다.
준설매립 공사시 자중압밀침하량 및 체적변화비 예측을 위해 사용되는 Yano 방법의 단점을 보완하고실제 준설매립 공사시 준설토가 연속적으로 투기되며 퇴적고의 상승이 토층의 증가와 침강 및 자중압밀에 의한 체적감소의 결과로 표현되어지는 것을 고려한 단계투기법에 의한 새로운 해석기법에 대한 시험적 연구를 수행하였다. 단계투기시험에 의해 투기속도와 퇴적고 상승속도의 관계를 측정하여 현장 매립계획고에 소요되는 현장투기 완료일수를 산정하였고 그때 소요되는 전체 투기높이 그리고 이에 해당하는 실질토량고를 산정하여 이를 바탕으로 현장투기완료 후 자중압밀 침하량 및 체적변화비,함수비, 간극비의 변화를 예측하였고, 전체투기 시험을 통한 Yano법에 의한 산정결과와 비교 분석하였다. 자중압밀 침하량의 경우 약 29.8%, 체적비의 경우 31.1%, 공극비 및 함수비가 약 40%정도 전체투기에 의한 Yano 법이 단계투기법에 의한 결과보다 작게 평가되었다.
Almost all injection molds have multi-cavity runner system for mass production, which are designed with geometrically balanced runner system in order to accomplish filling balance between cavity to cavity during processing. However, even though geometrically balanced runner is used, filling imbalance have been observed. Filling imbalance could be decreased by modifying processing conditions such as injections rate, mold temperature, injection pressure, melt temperature that are related to shear, viscosity. In this study, a series of experiment was conducted to investigate filling imbalance variation when modifying runner layout and polymer and to determine which processing condition influences as the primary cause of filling imbalance in geometrically balanced runner system.
칩 스택 패키지에 적용을 위해 폭 $75{\sim}10\;{\mu}m$, 길이 3mm의 트랜치 비아에 대해 도금전류밀도 및 rotating disc electrode(RDE)의 회전속도에 따른 Cu filling 특성을 분석하였다. RDE 속도가 증가함에 따라 트랜치 비아의 Cu filling 특성이 향상되었다. 트랜치 비아의 반폭 길이, 즉 트랜치 비아 폭의 1/2 길이와 이 트랜치 비아에 대해 95% 이상의 Cu filling 비를 얻기 위한 RDE 최소속도 사이에는 Nernst 관계식이 성립하여, 95%이상의 Cu filling비를 얻을 수 있는 최소 트랜치 비아의 반폭 길이는 RDE 속도의 제곱근의 역수에 직선적으로 비례하였다.
Effect of ball filling ratio on the behavior of balls motion and their collision characteristic in a tumbler-ball milling of metal powder are investigated by a computer simulation. The discrete element method and the extended Kelvin model composed of nonlinear spring and nonlinear dashpot were employed in the simulation. It can be possible that analysis of the individual balls motion in a three-dimensional actual mill by the two-dimensional model simulation, since the simulated trajectories of ball paths are in relatively good agreement with the actual ones. It knows that the balls motion in the tumbler-ball mill is strongly influenced by the surface conditions of the balls and mill container wall. The energy consumption of the individual balls during impact and the impact frequency of the individual balls increased with an increase in the ball filling ratio and showed maximum values at about 50-60% ball filling ratio, and then decreased.
Feature size of Cu interconnects keep shrinking into several tens of nanometer level. For this reason, the Cu interconnects face challenging issues such as increase of electro-migration, line-width dependent electrical resistivity increase, and gap-filling difficulty in high aspect ratio structures. As the thickness of the Cu film decreases below 30 nm, the electrical resistivity is not any more constant, but rather exponential. Research on alloying with other elements have been started to inhibit such escalation in the electrical resistivity. A faint trace of Al added in Cu film by sputtering was reported to contribute to suppression of the increase of the electrical resistivity. From an industrial point of view, we introduced cyclic metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) in order to control Al concentration in the Cu film more easily by controlling the delivery time ratio of Cu and Al precursors. The amount of alloying element could be lowered at level of below 1 at%. Process of the alloy formation was applied into gap-filling to evaluate the performance of the gap-filling. Voidless gap-filling even into high aspect ratio trenches was achieved. In-depth analysis will be discussed in detail.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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