• 한국융합학회논문지
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• 제8권8호
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• pp.355-363
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• 2017

2014년 제주도가 말 산업특구 1호로 지정된 후, 2015년에는 경기도 이천, 용인과 함께 경상북도가 말 산업특구로 추가 지정되면서 제주도는 이제 더 이상 말의 고장이라는 수식어는 사라지게 되었다, 또한, 환경 및 접근성으로 인해 타 지자체와의 경쟁력에서도 뒤쳐질 수도 있으며, 과거에 회자되었던 "사람이 태어나면 서울로 보내고, 말이 태어나면 제주도로 보내라"라는 말은 머나먼 속담 같은 옛말이 되어버렸다. 하지만, 제주도는 말 산업특구 1호로 지정되면서 제주도가 우리나라 말 산업육성의 선도지역으로 역할을 수행할 것을 기대하고 있으며, 말 산업을 6차 산업으로 육성한 모범적 사례를 창출해야 하는 과제를 안게 되었다. 또한 말 산업특구 진흥계획에 의해 2017년 까지 엘리트 국산 경주마 공급, 승마 수요기반 확충, 마육 산업 육성 등 9개 분야 35개 사업에 1142억 원을 투자해 나갈 계획이다. 그러나 시설확충과 승마 저변 확대에 나서고 있지만, 현장에서는 정책 지원이 피부에 와 닿지 않고 사업 집행의 효율성이 떨어진다는 의견이 제기되었고, 과도한 규제로 인한 승마시설의 공급부족과 승마 수요확대의 한계 등 많은 문제점들의 노출로 인하여 말 산업 성장의 제약요인으로 작용하고 있으며, 말 산업이 발전되기 위해서 말의 사육, 승마시설의 설치 등 각종 말 산업 관련 투자에 대한 규제가 완화되어야 하는데, 발전을 저해하는 가장 큰 규제로는 농어촌 승마시설의 농지설치 규제 개선과 함께 이를 통해 무허가로 운영 중인 승마시설들을 양성화하여 승마산업의 질적 성장을 도모해야 한다. 아울러 단순히 체험하는 관광형승마가 아닌 정기적으로 안전하고 건전한 레저승마를 즐길 수 있도록 정책과 안전관리가 필요하며, 승마자격을 갖춘 지도사양성과 배치에 노력을 기울여야 할 것으로 사료된다.

• 지능정보연구
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• 제12권1호
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• pp.17-31
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• 2006

본 논문에서는 출입국자 관리의 효율성과 체계적인 출입국 관리를 위하여 여권 코드를 자동으로 인식하고 위조 여권을 판별할 수 있는 여권 인식 및 얼굴 인증 방법을 제안한다. 여권 이미지가 기울어진 상태로 스캔되어 획득되어질 경우에는 개별 코드 인식과 얼굴 인증에 많은 영향을 미칠 수도 있으므로 기울기 보정은 문자 분할 및 인식, 얼굴 인증에 있어 매우 중요하다. 따라서 본 논문에서는 여권 영상을 스미어링한 후, 추출된 문자열 중에서 가장 긴 문자열을 선택하고 이 문자열의 좌측과 우측 부분의 두께 중심을 연결하는 직선과 수평선과의 기울기를 이용하여 여권 영상에 대한 각도 보정을 수행한다. 여권 코드 추출은 소벨 연산자와 수평 스미어링, 8 방향 윤곽선 추적 알고리즘을 적용하여 여권 코드의 문자열 영역을 추출하고, 추출된 여권 코드 문자열 영역에 대해 반복 이진화 알고리즘을 적용하여 코드의 문자열 영역을 이진화한다. 이진화된 문자열 영역에 대해 CDM 마스크를 적용하여 문자열의 코드들을 복원하고 8 방향 윤곽선 추적 알고리즘을 적용하여 개별 코드를 추출한다. 추출된 개별 코드 인식은 개선된 RBF 네트워크를 제안하여 적용한다. 개선된 퍼지 ART 기반 RBF 네트워크는 퍼지 논리 접속 연산자를 이용하여 경계 변수를 동적으로 조정하는 퍼지 ART 알고리즘을 제안하여 RBF 네트워크의 중간층으로 적용한다. 얼굴 인증을 위해서는 얼굴 인증에 가장 보편적으로 사용되는 PCA 알고리즘을 적용한다. PCA 알고리즘은 고차원의 벡터를 저 차원의 벡터로 감량하여 전체 입력 영상들의 직교적인 공분산 행렬을 계산한 후, 그것의 고유 값에 따라 각 영상의 고유 벡터를 구한다. 따라서 본 논문에서는 PCA 알고리즘을 적용하여 얼굴의 고유 벡터를 구한 후, 특징 벡터를 추출한다. 그리고 여권 영상에서 획득되어진 얼굴 영상의 특징 벡터와 데이터베이스에 있는 얼굴 영상의 특징 벡터와의 거리 값을 계산하여 사진 위조 여부를 판별한다. 제안된 여권 인식 및 얼굴 인증 방법의 성능을 평가를 위하여 원본 여권에서 얼굴 부분을 위조한 여권과 기울어진 여권 영상을 대상으로 실험한 결과, 제안된 방법이 여권의 코드 인식 및 얼굴 인증에 있어서 우수한 성능이 있음을 확인하였다.

• Strategy21
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• 통권32호
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• pp.123-159
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• 2013

The purpose of this research paper is to re-valuate the factors that affected the Royal Navy's rearmament and preparation for war by conducting analysis on the discussion held in the Britain on the strategic priorities and Navy's coping measures adopted during the interwar period. After the end of the WWI, each of the military arms of the Britain faced significant difficulty in securing budget and increasing their military power all throughout the interwar period, and the Navy was not an exception. The WWII that got started on September 1939 was the turning point in which this difficulty led to full-fledged crisis. Immensely many criticisms followed after the war and problems were identified when it comes to the Royal Navy's performance during the war. This type of effort to identify problem led to the attempt to analyze whether Royal Navy's preparation for war and rearmament policy during interwar period were adequate, and to identify the root causes of failure. Existing studies sought to find the root cause of failed rearmament from external factors such as the deterioration of the Britain itself or pressure from the Treasury Department to cut the budget for national defense, or sought to detect problems from the development of wrong strategies by the Navy. However, Royal Navy's failed preparation for the war during interwar period is not the result of one or two separate factors. Instead, it resulted due to the diverse factors and situations that the Britain was facing at the time, and due to intricate and complex interaction of these factors. Meanwhile, this research paper focused on the context characterized by 'strategic selection and setting up of priorities' among the various factors to conduct analysis on the Navy's rearmament by linking it with the discussion held at the time on setting up strategic priorities, and sought to demonstrate that the Navy Department's inadequate counter-measures developed during this process waned Royal Navy's position. After the end of WWI, each of the military arms continued to compete for the limited resources and budget all throughout the interwar period, and this type of competition amidst the situation in which the economic situation of Britain was still unstable, made prioritization when it comes to the allocation of resources and setting up of the priorities when it comes to the military power build-up, inevitable. Amidst this situation, the RAF was able to secure resources first and foremost, encouraged by the conviction of some politicians who were affected by the 'theory of aerial threat' and who believed that curtailing potential attack with the Air Force would be means to secure national security at comparatively lower cost. In response, Navy successfully defended the need for the existence of Navy despite the advancement of the aerial power, by emphasizing that the Britain's livelihood depends on trade and on the maintenance of maritime traffic. Despite this counter-measuring logic, however, Navy's role was still limited to the defense of overseas territory and to the fleet run-off instead of sea traffic route production when it comes to the specific power build-up plan, and did not understand the situation in which financial and economic factors gained greater importance when it comes to the setting up of strategic priorities. As a result, Navy's plan to build its powers was met with continual resistance of the Treasury Department, and lost the opportunity to re-gain the status of 'senior service' that it had enjoyed in the past during the competition for strategic prioritization. Given that the strategic and economic situation that Korea faces today is not very different from that of the Britain during the interwar period, our Navy too should leverage the lessons learned from the Royal Navy to make the effort to secure viable position when it comes to the setting of priorities in case of national defense strategy by presenting the basis on why maritime coping should be prioritized among the numerous other threats, and by developing the measures for securing the powers needed effectively amidst the limited resources.

• 지능정보연구
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• 제18권4호
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• pp.97-116
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• 2012

개념적 모델링(conceptual modeling)은 정보시스템 개발에 있어서 중요한 역할을 수행한다. 그럼에도 불구하고 이를 성공적으로 수행하기 위해 어떠한 방법을 채택해야 하고 그 결과를 어떻게 평가해야 할 것인지에 대한 이론적 성과는 충분하지 않다. 부분과 전체에 대한 개념적 모델링을 평가하기 위해 온톨로지 이론을 도입한 최근의 연구, "Representing Part-Whole Relations in Conceptual Modeling : An Empirical Evaluation"(Shanks et al., 2008)은 개념적 모델링 평가에 실험법을 도입했다는 긍정적인 측면에도 불구하고 비판에 직면했다. 또한 이에 대한 반대 의견이 제시되면서 개념적 모델링을 연구하거나 실무에 활용하려는 사람들에게 혼란을 초래하고 있다. 본 연구는 Bunge-Wand-Weber 온톨로지의 이론적 배경과 성과를 검토하고 논쟁에서 제외된 부분과 전체에 관한 이론적 논의를 추가하여 과연 Shanks et al.의 연구에 대한 비판이 타당한 것인지 살펴본다. 이들 연구에 대한 비판이 주로 실험적 방법의 오류를 지적한 것과 비교하여 본 연구는 Shanks et al.의 연구가 번지(Bunge) 온톨로지를 잘못 활용하고 있으며, 패러다임의 문제라는 지적은 그 근거가 확실하지 않으며, 부분과 전체에 관한 연구개념의 타당성을 확보하지 않았음을 밝혔다. 본 논문을 통해 우리는 Shanks et al.의 연구는 실증적 타당성에 대한 문제뿐만 아니라 기존의 온톨로지 개념들을 적절히 활용하지 않았고 결과적으로 부분-전체에 관한 개념적 모델링 이론에 기여하기보다는 서로 다른 모델링 패턴 간의 단순한 비교에 그쳤다는 점을 주장한다.

• 한국조경학회지
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• 제40권5호
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• pp.51-62
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• 2012

서울 금호동은 응봉의 산자락에 위치한 재개발 주거지역으로, 지형적 문제와 대규모 아파트단지의 조성, 부분적인 재개발사업의 시행 등 다양한 원인에 의해 주민들의 물리적, 사회적 단절이 심각한 곳이다. 본 연구는 이러한 금호동의 단절된 커뮤니티를 회복하기 위한 방안으로, 일상적 장소인 오픈스페이스의 기능과 이의 원활한 네트워크의 가능성에 주목하고자 한다. 연구를 위하여 우선 다양한 유형의 오픈스페이스를 점 또는 면적인 '거점'과 선적인 '통로'로 단순화하여 구분하고, 전체적인 맥락에서 네트워크 현황을 분석하였다. 분석 결과, 거점과 통로의 연결거리가 500m 이상인 구간이 전체의 반수 이상을 차지했으며, 유치권 안에 포함되지 않은 지역도 다수 나타났다. 축선도에 의한 연결도와 통합도 분석을 통해 연계가 취약한 구간을 점검하였으며, 추가로 거점이 필요한 구간도 산정하였다. 또한 거점과 통로의 질을 개선하기 위해 현장 조사를 실시, 문제점을 진단하고 해결 가능성을 검토하였다. 이상의 분석 결과들을 바탕으로 거점과 통로의 수적, 질적인 확보를 위한 금호동의 오픈스페이스 네트워크 계획을 수립하였다. 대상지 중심부에 주요 거점을 추가하고 6개의 보조 거점도 신규로 설치하였으며, 낙후된 보조 거점의 환경을 개선할 수 있는 방안을 마련하였다. 또한 연계가 힘든 대현산지역 근린공원 주변에 연결 통로를 확보하여 주요 통로로 기능하게 하고, 일부 구간을 중심으로 통로의 환경이 개선되도록 하였다. 네트워크 계획의 결과, 연결거리는 상당부분 줄어들었고, 연결도와 통합도는 증가하였으며, 유치권도 적절하게 확보될 수 있었다. 본 연구는 네트워크를 위한 법적, 제도적 뒷받침과 정량적인 지표화 과정 등의 한계점을 가지나, 복잡한 오픈스페이스의 유형을 단순하고 명확하게 정립하고, 이의 유기적인 관계를 정량적, 정성적으로 조명함으로써 전체적인 네트워크 구축을 위한 보다 합리적이고 실질적인 계획 방향을 제안하였다는 점에 그 의의를 갖는다.

• 시큐리티연구
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• 제22호
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• pp.169-196
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• 2010

정치적으로 국민을 대표하고 국가의 미래를 좌우한다는 측면에서 정치인의 중요성은 더해가고 있지만 경호관련 법제의 미비, 경호에 대한 부정적 사회인식, 그리고 범죄 및 테러의 증가로 말미암아 정치인들은 안전을 보장받을 수 없는 현실에 처해있다. 정치인테러에 대한 대응은 치안유지 차원이 아닌 국가안보차원에서 처리되어야 하는 것이 마땅하고, 이를 위해 근본적인 법적근거의 마련과 정치인의 특수성을 고려한 전문적 경호기법이 정립되어야 한다. 범국가적 차원에서 정치인테러에 대한 법제의 보완과 새로운 입법을 통하여 근본적인 해결책이 마련되어야만 할 것이다. 특히 정치인 경호에 있어서는 경호대상자의 안전과 유권자의 표심확보라는 두 가지 모두를 충족해야하는 양면성을 가지고 있다. 따라서 정치인 경호를 효율적으로 수행하기 위해서는 체계적인 경호제도와 특수한 경호기법이 요구되지만 아직까지 전문적으로 연구되지는 못한 실정이다. 본 연구에서는 정치인 경호제도의 개선방안을 다음과 같이 두 가지 측면에서 제시하였다. 첫째, 정치인 경호에 대한 법적 근거 마련을 제안하였다. 정치인을 테러로부터 보호하기 위해 17대 국회에서 개정 법률안 등을 발의하였으나 계류 만료폐기 된 상태이다. 여러 국회의원들이 상정한 법률안은 단순히 공경호 범위에 확대에 그쳤다. 본 연구에서는 법적근거 마련을 두 가지로 나누어 보았다. 하나는 효과적인 공경호의 파견 형태이고 다른 하나는 민간경비에 의한 정치인 경호이다. 둘째, 정치인 경호의 환경적 발전방안을 제시했다. 그 내용으로는 사회적 인식, 정치인의 심리, 유권자의 심리, 정치적 특수성을 분석하여 개선 방안을 제시하였다. 인류가 지속되는 한 정치활동은 사라지지 않을 것이다. 정치지도자는 인류의 미래를 결정짓는 역할을 수행함에 따라 그의 안전 또한 인류의 중요한 과제임에는 틀림없다. 앞으로 정치인에 대한 보다 전문적이고 실효적인 법안마련과 학자들의 심도 있는 연구가 요구된다.

• 한국토양비료학회지
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• 제6권1호
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• pp.1-8
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• 1973

호남야산(湖南野山) 지역(地域)에 분포(分布)하고있는 화강암풍화잔적층(花崗岩風化殘積層)에 발달(發達)된 적황색토중(赤黃色土中) 조립질(粗粒質)인 예산통(禮山統)과 세립질(細粒質)인 송정통(松汀統)에 대(對)한 형태적(形態的) 이화학적(理化學的) 특성(特性)에 관(關)하여 조사(調査)한 결과(結果)를 요약(要約)하면 다음과 같다. 1. 형태적(形態的) 특성(特性)에 있어서 예산통(禮山統)의 경우 표토(表土)(A층(層))는 진갈색(眞褐色) 내지(乃至) 갈색(褐色)의 사양토(砂壤土)이며 심토(心土)(B층(層))는 황적색(黃赤色) 내지(乃至) 적색(赤色)의 사질식양토(砂質埴壤土) 내지(乃至) 사양토(砂壤土)이고 구조(構造)의 발달(發達)이 매우 약(弱)하다. 송정통(松汀統)의 경우 표토(表土) (A층(層))은 침식(浸蝕)에 의(依)하여 심토부위(心土部位)가 노출(露出)된 암적색(暗赤色)의 미사질식양토(微砂質埴壤土)이며 심토(心土) (B층(層))는 적색(赤色)의 미사질식양토(微砂質埴壤土)이고 구조표면(構造表面)에 엷은 점토피막(粘土皮膜)이 형성(形成)되여 있다. 기층(基層)은 양토양(兩土壤) 공(共)히 심(甚)하게 풍화(風化)된 화강암(花崗岩)의 잔적모재(殘積母材)이며 토양(土壤)의 깊이는 50~100m이다. 2. 이화학적(理化學的) 특성(特性)에 있어는 예산통(禮山統)의 경우 점토함량(粘土含量)은 17%내외(內外), 산성(酸性) (표토(表土)6.0심토(心土) 4.5~5.0)이고 유기물(有機物) 함량(含量)은 표토(表土)에서 1.8% 심토(心土)에서 0.1~0.4%이며 유효인산은 40ppm. 염기치환용량(鹽基置煥容量)은 4~8me/100gr로써 매우 낮으나 염기포화도(鹽基飽和度)는 표토(表土)에서 57.8% 심토(心土)에서 46.3%에서 46.3%로서 중용(中庸)이다. 송정통(松汀統)의 경우 점토함량(粘土含量)은 30~40% 내외(內外), 산성(酸性)(5.7~6.0)이고 유기물(有機物) 함량(含量)은 표토(表土)에서 1.25%, 심토(心土)에서 0.1~0.4이며 유효인산은 4ppm. 염기치환용량(鹽基置換容量)은 표토(表土)에서 6.2me/100gr. 심토(心土)에서 2.6me/100gr로써 매우 낮음과 동시(同時) 염기포화도(鹽基飽和度)는 표토(表土)에서 28% 심토(心土)에서 16~23%로서 낮다. 3. 예산통(禮山統) 및 송정통(松汀統)은 온난습윤기후하(溫暖濕潤氣候下)에서 생성(生成)되며 적황색토(赤黃色土)라고 분류(分類) 명명(命名)할수 있으며 미(美) 농무성(農務省) 7차(次) 시안(試案)에 의(依)하면 예산통(禮山統)은 Inceptisols 중(中) Typic Dystrochrepths에 송정통(松汀統)은 Ulti sols 중(中) Typic Hapludults에 속(屬)한다.

• 치위생과학회지
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• 제7권1호
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• pp.1-7
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• 2007

이 연구는 치과 진료실에서 치과위생사의 감염예방 실태를 파악하여 치과위생사가 감염예방을 실천하는데 기초 자료로 제공하고자 한다. 연구 대상은 2005년 10월과 11월에 인천경기도회와 서울시회 보수교육에 참여한 치과위생사로 하였으며, 감염 예방에 관한 설문조사를 자기기입방식으로 시행하였다. 그 결과는 다음과 같다. 1. 감염예방 교육경험은 "있다"로 응답한 자가 72명(42.9%)이었고, "없다"고 응답한 자가 96명(57.1%)이었고 감염예방 교육경로를 보면 "근무병원 자체 교육을 통해서"가 42명(58%)으로 가장 많았다. 2. 손상 경험은 "있다"로 응답한 자가 147명(87.5%)이었고 "없다"로 응답한 자가 21명(12.5%)이었으며, 손상 경험이 있는 대상자 147명의 전체 연 평균 손상 횟수는 7.7회였다. 손상을 입힌 기구 명으로는 "explorer"가 125(75%)명으로 가장 많았다. 3. 감염성 질환에 감염된 경험은 "있다"로 응답한 자가 6명(3.6%)이었는데 질환으로는 "B형 간염"이 4명으로 가장 많았고, "풍진" 1명, "결핵" 1명이었다. 4. 실천 점수가 높은 문항은 "2. 나는 진료 후에 손을 씻는다(1.86점)", "7. 나는 국소 마취 후 마취주사바늘 뚜껑을 덮는다(1.86점)", "20. 나는 폐기물을 분리수거하여 적출물처리업자에게 위탁 한다(1.85점)"이었으며, 실천 점수가 낮은 문항은 "16. 나는 진료복을 하루에 한번 갈아입는다(0.24점)"와 "감염성 환자 진료 후에는 진료복을 매번 세탁 한다(0.52점)"이었다. 5. 지식도가 가장 높은 문항은 "1. 치과 진료를 하는 동안에 전염은 감염원, 전염방법, 전염경로, 감염되기 쉬운 숙주에 의해 좌우 된다(0.95점)" 이었으며 지식도가 가장 낮은 문항은 "5. HBV(B형간염)는 95oC에서 5분 이상 가열해야 파괴 된다(0.27점)"이였다. 6. 조직관련 요인 점수가 가장 높은 문항은 "나는 필요한 경우 마스크, 장갑 등의 보호 장구가 항상 이용 가능하다(0.89점)"이었으며 가장 점수가 낮은 문항은 으로 "내가 일하는 곳에는 감염과 관련된 위험한 상황에 노출되었을 때 참고할 수 있는 지침서가 있다(0.33점)" 이었다. 7. 진료환경에서 세면대와 진료실의 거리는 "1미터 미만"이 116명(69.0%), 소독실과 진료실의 거리는 "2미터 미만"이 77명(45.8%)으로 가장 많았으며 보호 장구 구비 현황은 마스크(일회용) 168명(100%), 일회용 장갑(라텍스) 167명(99.4%)으로 대부분 구비되어 있었다. 반면 안면 보호대는 응답자수가 108(64.3%)명으로 가장 적었다. 소독, 멸균기에서는 autoclave가 있다고 응답한 자가 165명(98.2%)이었다.

• 치위생과학회지
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• 제7권1호
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• pp.13-20
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• 2007

본 연구는 진료실의 특성상 B형 간염에 감염 위험성이 높은 치과 진료실에서 근무하는 치과위생사를 대상으로 B형 간염에 대한 인지도와 노출에 대한 조사를 실시하여 B형 간염에 대한 감염 예방 대책을 모색하는 데 기초 자료를 제공하고자서울 경기도와 전라도 지역에 근무하고 있는 치과위생사 354명을 대상으로 설문조사를 실시, 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 일반적 특성에 따라 B형 간염 예방접종률은 63.7%~100%로 나타났다. 2. 예방접종을 한 대상자 가운데 접종시기와 3회 완전접종유무 그리고 항체형성 여부를 확인 한 바, 근무지역 특성과 관련된 접종 시기를 보면 서울 경기도는 1년 전시기에서, 전라도에는 5년 이상에서 가장 높게 나타났으며(p < 0.05), 연령 특성상 접종 시기는 20대에서 1년전에 접종 받았다는 응답률이, 30세 이상에서는 5년 이상 되었다는 응답률이 가장 높게 나타났다(p < 0.001). 총 경력 특성에 있어서는 1~3년과 4~6년 경력자는 1년전 접종 비율이, 7년 이상 경력자는 접종 시기 5년의 비율이 가장 높게 나타났으며(p < 0.001), 건강상태에 따른 특성에서는 매우 건강과 보통에서 1년 전 접종, 대체로 건강함과 건강하지 못함에서는 접종 시기 5년 이상, 매우건강하지 못함에서는 접종 시기 5년 전이라는 응답률이 높게 나타났다(p < 0.01). 기혼자는 접종 시기가 5년 이상 되었다는 응답률이, 미혼자는 1년 전 접종이라는 응답이 가장 높게 나타났다(p < 0.001). 3회 완전접종은 일반적 특성에 따라 64.3%~100% 수준이었는데 연령 특성에서 보면 25~29세에서 가장 높은 결과를, 그 다음은 30세 이상, 20~24세 순이었다(p < 0.05). 항체형성 여부는 일반적인 특성에 따라 45%~100% 수준이었고, 이 중 통계적으로 유의한 수준을 보인 건강 특성상 매우 건강하지 못한 상태가 100%를 차지했으며, 보통, 대 체로 건강, 매우 건강, 건강하지 못한 순이었다(p < 0.05). 3. 가족의 B형 간염 기왕력 조사 결과 연령이 높을수록(p < 0.01), 건강하지 않을수록(p < 0.01), 미혼보다 기혼에서 조금 높게 나타났다(p < 0.01). 4. B형 간염에 대한 지식 수준은 일반적 특성에 따라 8점 만점에 4.39점~5.01점 수준을 나타냈다. 5. 일반적 특성에 따라 진료 시 혈액 및 타액 등의 이물질이 얼굴에 튄 경험은 매우 높게 나타났다(87.%~100%). 6. 일반적 특성에 따라 주사 바늘에 찔린 경험을 조사한 결과 75%~100%의 매우 높은 결과를 보였으며, 연령이 높을수록(p < 0.05), 경력이 많을수록(p < 0.05) 높게 나타났다.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
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• pp.107-108
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• 2008

The spectacular development of AMLCDs, been made possible by a-Si:H technology, still faces two major drawbacks due to the intrinsic structure of a-Si:H, namely a low mobility and most important a shift of the transfer characteristics of the TFTs when submitted to bias stress. This has lead to strong research in the crystallization of a-Si:H films by laser and furnace annealing to produce polycrystalline silicon TFTs. While these devices show improved mobility and stability, they suffer from uniformity over large areas and increased cost. In the last decade we have focused on microcrystalline silicon (${\mu}c$-Si:H) for bottom gate TFTs, which can hopefully meet all the requirements for mass production of large area AMOLED displays [1,2]. In this presentation we will focus on the transfer of a deposition process based on the use of $SiF_4$-Ar-$H_2$ mixtures from a small area research laboratory reactor into an industrial gen 1 AKT reactor. We will first discuss on the optimization of the process conditions leading to fully crystallized films without any amorphous incubation layer, suitable for bottom gate TFTS, as well as on the use of plasma diagnostics to increase the deposition rate up to 0.5 nm/s [3]. The use of silicon nanocrystals appears as an elegant way to circumvent the opposite requirements of a high deposition rate and a fully crystallized interface [4]. The optimized process conditions are transferred to large area substrates in an industrial environment, on which some process adjustment was required to reproduce the material properties achieved in the laboratory scale reactor. For optimized process conditions, the homogeneity of the optical and electronic properties of the ${\mu}c$-Si:H films deposited on $300{\times}400\;mm$ substrates was checked by a set of complementary techniques. Spectroscopic ellipsometry, Raman spectroscopy, dark conductivity, time resolved microwave conductivity and hydrogen evolution measurements allowed demonstrating an excellent homogeneity in the structure and transport properties of the films. On the basis of these results, optimized process conditions were applied to TFTs, for which both bottom gate and top gate structures were studied aiming to achieve characteristics suitable for driving AMOLED displays. Results on the homogeneity of the TFT characteristics over the large area substrates and stability will be presented, as well as their application as a backplane for an AMOLED display.