• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2007.06a
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• pp.269-269
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• 2007

최근 평판디스플레이 산업이 성장함에 따라 품질향상을 위한 연구가 활발히 진행중이며 또한, 부품 소재 개발에 박차를 가하고 있다. 대형 평판디스플레이 중 낮은 전력소모와 광시야각이 우수한 TFT-LCD가 각광받고 있다. TFT-LCD 소자의 투명전극으로 사용되기 위해서는 면저항 10~1k Ohm/sq., 광투과율 85% 이상의 특성이 요구되며 ITO(Indium Tin Oxide의 약자) 타겟을 스퍼터링한 박막이 일반적으로 사용되고 있다. 본 연구에서는 $In_2O_3$ 나노 분말 제조 공법으로 제작된 ITO 타겟을 사용하여 양산성 및 대형화에 적합한 DC 마그네트론 스퍼터 방식으로 투명전극을 제조하였다. 일반적으로 사용되는 고정식 DC 마그네트론 스퍼터 방식은 타겟표면에 재증착(back deposition)되는 저급산화물로 인해 이물 또는 노즐(Nodule) 이 형성되고 이로 인해 비이상적이고 불안정한 방전 플라즈마가 박막의 특성을 저하시킨다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 이동식 DC 마그네트론 스퍼터 방식을 채택하였으며 대형 타겟을 이용한 대형화 기판 제작과 안정적인 sputter yield로 인해 uniformity가 우수한 ITO 박막을 제조하였다. ITO 박막의 저면저항 고투과율 특성을 구현하기 위해 공정변수인 산소분압, 전류밀도(DC power) 그리고 증착온도에 따른 ITO 박막의 미세조직과 결정성을 관찰하였으며 전기적 특성을 분석하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.07a
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• pp.1122-1123
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• 2007

최근 반도체 및 FPD(Flat Panel Display) 산업에서 글라스의 사이즈와 무게가 증가함에 따라 물류 이송 시스템의 전원장치인 비접촉 공진 DC/DC 컨버터의 크기와 용량이 증가하는 추세이다. 또한, 클린룸의 규모가 커짐에 따라 물류 이송 시스템인 Stocker 시스템의 사이즈가 커지고 길이가 장거리화 되고 있다. 이에 생산수율을 높이기 위해 Stocker 시스템의 전체 택타임(Tact Time)을 줄이기 위한 방안으로 차세대 Stocker 시스템의 속도를 증가하도록 요구되어 지고 있다. 따라서 본 논문은 차세대 Stocker 시스템의 속도 증가에 대한 전원장치인 비접촉 공진 DC/DC 컨버터를 제안하고, 제작하여, 차세대 Stocker 시스템의 전체 택타임에 대한 비접촉 공진 DC/DC 컨버터의 제어방법과 효율에 대하여 검증하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2001.07d
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• pp.2048-2050
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• 2001

기존의 생산관리 현황반, 각종 산업용 판넬의 Faul Indicator, 각종 기계의 상태표시, 엘리베이터 정보출력장치, 주차타워 안내표시, 버스 행선지 안내표시, 병원, 은행 등 각종 광고용에서 사용되는 정보표시장치를 휘도와 안정성이 우수한 40mm 3 Color LED Dot Matrix Module을 이용한 Message 표시장치로서, 각종 Panel 및 기계 장치에 부착되거나 단독 설치되어 Parallel 또는 Serial Port로 입력을 받아 그 입력에 해당되는 Message를 출력 하며 User에 의해 제작되는 Graphic과 Text 형태가 있으며 외부입력에 의해 선택되는 Text Message와 출력 형태는 User에 의해 제작되는 Program에 의해 출력되는 방식으로 구현하여 영문, 숫자는 물론 한글 및 한자 표현도 가능 하도록 하여, 문자의 크기가 5${\times}$7 LED Dot Matrix에 비해 상대적으로 크고 미려하여 현장에서 상황의 인지도를 높이고 ASC-II 및 KS-5601의 Hex Code 입력방식보다 일반사용자가 Programming 하기 쉬우며 Message를 Graphic Symbol형태 및 문자로 작성하여 Message출력 형태를 선택할 수 있는 Mode Programming방식을 적용해 사용자의 용이이성이 배가 되도륵 하여 비교 검토한 결과 사용에 있어 편리성을 입증할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2003.11a
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• pp.447-450
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• 2003

In this paper, new luminescent material, 6,11-dihydoxy-5,12-naphtacene-dione Alq3 complex (Alq2-Ncd), 1,4-dihydoxy-5,8-naphtaquinone Alq3 complex(Alq2-Nq) was synthesized. And extended efforts had been made to obtain high-performance electroluminescent(EL) devices, since the first report of organic light-emitting diodes(OLEDS) based on tris-(8-hydroxyquinoline) aluminum(Alq3). We have performed investigate characterization of the materials. Current-voltage characteristics, luminance-voltage characteristics and luminous efficiency were measured by Flat Panel Display Analysis System(Model 200-AT) at room temperature. An intensive research is going on to improve the device efficiency using the hole injection layer, different electrodes, and etc. By using the hole injection layer, the charge-injection can be controlled and the stability could be improved. This study indicates not only the sterical effect but also some other effects would be responsible for the change of the emission wavelength.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.151-151
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• 2010

In this paper, the electrically properties of nonvolatile memory (NVM) using multi-stacks gate insulators of oxide-nitride-oxynitride (ONOn) and active layer of the low temperature polycrystalline silicon (LTPS) were investigated. From hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H), the LTPS thin films with high crystalline fraction of 96% and low surface's roughness of 1.28 nm were fabricated by the metal induced crystallization (MIC) with annealing conditions of $650^{\circ}C$ for 5 hours on glass substrates. The LTPS thin film transistor (TFT) or the NVM obtains a field effect mobility of ($\mu_{FE}$) $10\;cm^2/V{\cdot}s$, threshold voltage ($V_{TH}$) of -3.5V. The results demonstrated that the NVM has a memory window of 1.6 V with a programming and erasing (P/E) voltage of -14 V and 14 V in 1 ms. Moreover, retention properties of the memory was determined exceed 80% after 10 years. Therefore, the LTPS fabricated by the MIC became a potential material for NVM application which employed for the system integration of the panel display.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.9 no.6
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• pp.547-550
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• 1999

Optical and electrical properties of MgO-CaO films as a protective layer for AC plasma display panel were studied. When the [(CaO/(MgO+CaO)] ratio of evaporation starting materials was optimum composition, 0.1, firing voltage and memory margin of the film were 176V and 0.5, respectively. When [CaO/(CaO+MgO)] was 0, 0.1 and 0.2, memory margin was 0.39, 0.5 and 0.41, respectively, and surface roughness of films was $27.7\AA$, $21.1\AA$ and $40.3\AA$, respectively. It was thought that memory margin had a reverse-relation with surface roughness. The density of film was calculated by measuring the refractive index of film. The density of MgO film was 3.21g/㎤ and the density of film, when [CaO/(CaO+MgO)] was 0.1, was 3.632g/㎤. The mixture of MgO-CaO films showed a good transmittance property in the visual range.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2004.11a
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• pp.594-597
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• 2004

본 연구에서는 진공 인라인 실장 기술을 이용하여 제작한 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)의 전기적 광학적 특성을 측정하여, 일반적인 실장 방법을 이용한 PDP의 특성과 비교 분석하였다. 본 실험에 사용된 패널은 Screen Printer를 이용한 상 하부전극과 하판 유전체, 상판 투명유전체, 격벽 및 E-Beam Evaporation 방법을 이용하여 증착한 MgO 보호막으로 이루어져 있으며, 분위기 온도 $430^{\circ}C$, Ne-Xe(4%) 400[torr]압력 하에서 실장하였다. 높은 분위기 온도로 인하여 MgO에 Crack이 발생하였으나 지속적인 연구를 진행하여 최적의 실장 조건을 확립할 수 있었다. 이러한 진공 인라인 실장 기술은 추가적인 Annealing 공정이 필요하지 않아 공정의 단축을 모색할 수 있으며, MgO의 수화를 제거함으로써 일반적인 실장 방법을 이용한 패널보다 더 우수한 전기적 광학적 특성을 얻을 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.127-127
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• 2010

최근 Light-emitting diodes (LEDs: 발광다이오드) 디바이스의 고휘도, 저전력, 긴 수명, 다양한 색연출 가능, 친환경 소자 등의 장점으로 LED 디바이스가 flat panel display(FPD)의 back light unit (BLU) 를 비롯해 실내 외 조명과 자동차 전조등 분야 이외에도 의료, 인테리어 사업을 비롯한 각종 전자 통신 기기의 정보 처리 기기의 표시소자 등, 여러 제품 군에 적용되는 가운데 큰 관심을 받고 있다. 하지만 이러한 여러 가지 장점에도 불구하고 LED 모듈에서의 junction temperature가 높은 방열 특성이 나쁘다는 단점은 아직 해결되지 않고 있는 실정이다. LED 소자 모듈에서의 junction temperature가 높을 경우 소비되는 에너지가 많을 뿐만 아니라 LED 소자의 발광효율이 떨어지고 수명이 급격히 저하 되어, 결국에는 신뢰성 특성이 현저히 저하 되는 결과가 초래되기 때문이다. 따라서 본 논문에서는 LED 디바이스의 열저항을 낮추기 위해 고방열 세라믹 기판을 이용해 LED 디바이스의 방열 특성을 향상시킨 결과를 제시한다. 고방열 세라믹 기판을 제작하여 LED 칩을 실장시킨 다음 LED 열저항 특성을 측정하였다. 이때 고방열 세라믹 기판은 Al2O3와 AlN이 사용되었으며 제작한 세라믹 기판의 강도, 표면 roughness, 미세구조 등을 살펴보고 이 기판들의 열전도도를 측정하였다. 제작 공정방법에 따라 세라믹 기판의 미세구조를 비롯한 기계적, 열적 특성이 현저히 변하였으며 이때 LED 칩을 실장 하여 측정한 열저항 특성 값도 함께 변하였다. Al2O3의 열저항 값은 3.003 K/W 으로 측정 되었으며, AlN의 열저항 값은 3.003k/W 으로 측정되었다.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2010.04a
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• pp.369-372
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• 2010

평판 디스플레이(flat panel display)의 크기가 커짐에 따라 다양한 기판을 이용한 제조 방법이 개발되고 있다. 디스플레이 제조 공정 중 기판의 결함을 찾아서 분류하는 검사 시스템은 최종 제품의 품질을 결정하는 매우 중요한 부분이다. 본 연구는 머신비전 기술을 이용하여 불투명하고 반사율이 높은 기판 표면의 결함을 찾아내고, 이 결함을 스크래치(scratch), 흑결함(dark defect), 백결함(white defect)으로 분류하는 장치를 구현하는데 목적이 있다. 이를 구현하기 위해 본 논문에서는 정밀 스테이지(stage)와 라인 카메라(line CCD camera)을 이용한 광학계를 활용하여 검사 시스템을 구현하였다. 구축된 시스템을 이용하여 취득한 이미지를 12 개의 영역으로 등분하여 각각의 국부 영역에 대한 문턱값 연산(thresholding)을 적용함으로써 조명의 불균일을 의한 검출 에러율을 획기적으로 낮추었다. 간단한 컴퓨터비전 알고리듬의 채용으로도 검사 시스템의 구현이 가능함을 보였다.

• Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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• v.14 no.5
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• pp.131-137
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• 2009

Ionizer is used in removal of static-electricity charge from several production processes such as flat panel display, organic EL, etc. In this paper, we introduce remote monitoring systems for ionizer which have been built to communicate with multiple ionizer and to control the power and ionizing state independently. Based on a series of tests, we verified the key functions of this controller such as unit connection, quantity of ion and electric charge, alarm, and successful communication between PC and controller. This system may be directly applicable to monitor systems for ionizer in the manufacturing processes of TFT-LCD, PDP, organic EL, and others.