JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제15권5호
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pp.485-489
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2015
An accurate large-signal BSIM4 macro model including new empirical bias-dependent equations of the drain-source capacitance and channel resistance constructed from bias-dependent data extracted from S-parameters of RF MOSFETs is developed to reduce $S_{22}$-parameter error of a conventional BSIM4 model. Its accuracy is validated by finding the much better agreement up to 40 GHz between the measured and modeled $S_{22}$-parameter than the conventional one in the wide bias range.
This paper proposes a circuit extractor which extracts a netlist from the CIF input file cntaining the layout mask artwork informations. The circuit extractor extracts transistors and their interconnections, and calculates circuit parameter such as parasitic resistance and parasitic capacitance from the mask informations. When calculating the parasitic resistance, we consider the current flow path to reduce the errors caused by the resistance approximation. Similarly, we consider the coupling capacitance which has an effect on the circuit characteristics, when the parasitic capacitances are calculated. Therefore, using these parameter values as an input to circuit simulation, the circuit characteristics such as delay time can be estimated accurately. The presented circuit extraction algorithm uses a multiple storage quad tree as a data sturucture for storing and searching the 2-dimensional geometric data of mask artwork. Also, the proposed algorithm is technologically independent to work across a wide range of MOS technologies without any change in the algorihm.
본 논문에서는 DRAM 셀 내의 셀 캐패시턴스 및 기생 캐패시턴스를 수치 해석적으로 계한하여 추출하는 방법과 그 적용 예를 보고한다. 셀 캐패시턴스 및 기생 캐패시턴스를 계산하기 위하여 유한요소법을 적용하였다. 시뮬레이션의 구조를 정의하기 우하여, 마스크 레이아웃 데이터 및 공정 레시피를 이용한 토포그래피 시뮬레이션을 수행하고, 토포그래피 시뮬레이션을 통해 DRAM 셀 구조를 생성하기 위해 필요한 데이터를 얻었다. 이를 기반으로 하여, 마스크 데이터 기반의 3차원 솔리드 모델링 방법을 적용하여 시뮬레이션 구조를 생성하였다. 시뮬레이션에 사용된 구조는 $2.25{\times}175{\times}3.45{\mu}m^3$ 크기이며, 4개의 셀 캐패시터를 갖는다. 또한 70,078개의 노드와 395,064개의 사면체로 구성되었다. 시뮬레이션을 위해 ULTRA SPARC 10 웨크스테이션에서 약 25분의 CPU 시간을 소요하였으며, 약 201메가바이트의 메모리를 사용하였다. 시뮬레이션을 통하여 계산된 셀 캐패시턴스는 셀당 24fF이며, DRAM 셀 내에서 가장 주요한 기생 캐패시턴스 성분을 규명하였다.
A new method is developed to extract model parameters of SiGe HBT equivalent circuit including the base impedance and base-collector junction capacitance. Using this method, all resistances and capacitances of SiGe HBT are independently determined from measured S-parameters using two-port parameter formula. This method is proposed to reduce possible errors generated from global optimization process, and its accuracy has been verified by finding good agreements between measured and modeled current / power gain up to 18 GHz.
본 논문에서는 수 만개이상의 미지수를 필요로 하는 복잡한 3차원 구조에서의 정전용량 추출을 위한 고속화 알고리즘(Fast mutilpole method)과 결합한 효과적인 적응 삼각요소 분할법(Adaptive triangular mesh refinement algorithm)을 제안하였다. 요소세분화과정은 초기요소로 전하의 분포를 구하고, 전하밀도가 높은 영역에서의 요소세분화를 수행하여 이루어진다. 제안된 방법을 이용하여 많은 미지수를 필요로 하는 IC packaging 구조에서의 정전용량을 추출하였다.
This paper presents the accurate deembeding method for pad and parasitics of MOSFET device. rad effects are deembedded using THRU LINE, which is much simpler method without laborious fitting procedure compared with conventional OPEN and SHORT pad modeling. Parasitic resistance extraction uses the algebraic relation between increments of inversion layer charge and oxide capacitance. It is especially adequate for insulating gate junction device. Extracted parasitics are verified through comparing modeled and measured S parameters.
RF 직접 추출 방법을 통해 얻은 정확한 MOSFET 기판 파라미터를 이용하여 기판저항만을 가진 BSIM4 모델은 스케일링 부정확성 때문에 넓은 영역의 게이트 길이에 적용하기에는 물리적으로 맞지 않다는 것이 증명됐다. BSIM4의 비물리적인 문제점을 제거하기 위해서 추가적인 유전체 기판 캐패시터를 가진 수정된 BSIM4 모델이 사용되었고, 이 모델의 물리적 타당성은 우수한 게이트 길이 scalability를 관찰함으로써 증명되었다.
Chip Pin Parasitic은 실제 Chip Pad에서부터 Bonding Wire를 통한 Package Lead Frame까지를 의미한다. 여기서, Lead Frame 및 Bonding Wire에서 Inductance 및 작은 저항이 보이고, Chip Pad에서의 Capacitance, 그리고 Pad 부터 Ground까지의 Return Path에서 발생하는 저항이 보인다. 이들을 모두 합하면 L, R, C의 Series로 나타낼 수 있다. 본 논문에서는 이런 Chip Pin Parasitic을 추출 하기 위해서 TDR(Time Domain Reflectometer)과 NA(Network Analyzer)를 사용하였는데, TDR의 경우 PCB를 제작하여 Chip을 Board위에 붙인 후 Time Domain에서 측정 하였고 NA의 경우 Pico Probe를 이용하여 Chip pin에 직접 Probing해서 Smith Chart를 통하여 Extraction 값을 추출했다. 이 경우, NA를 이용한 측정이 좀 더 정확한 Parasitic 값을 추출할 수 있으리라 예상되겠지만, 실제로 Chip이 구동하기 위해서는 Board위에 있을 때의 상황도 고려해야 하기 때문에 TDR 추출 값과 NA 추출 값을 모두 비교하였다.
The static and dynamic model of IGBT for the SPICE simulation has been successfully developed. The various circuit model parameters are extracted from the I-V and C-V characteristics of IGBT and implemented into our model. The static model of IGBT consists of the MOSFET, bipolar transistor and series resistance. The parameters to be extracted are the threshold voltage of MOSFET, current gain $\beta$ of bipolar transistor, and the series resistance. They can be extracted from the measured I-V characteristics curve. The C-V characteristics between the terminals are very important parameters to determine the turn-on and turn-off waveform. Especially, voltage dependent capacitance are polynomially approximated to obtain the exact turn-on and turn-off waveforms. The SPICE simulation results employing new model agree well with the experimental values.
This paper describes the CIREX(CIRcuit EXtractor), an automated CMOS circuit extraction program which provides SPICE2 input file by computing circuit connectivity and transistor dimensions from the CIF file. The CIREX also computes parasitic capacitance and resistance which makes it a valuable tool for timing analysis and detailed circuit simulation. A lattice model is used to calculate the interconnection resistances and substrate capacitances which can be replaced, as an option, by a node model for the worst case timing analysis of the circuit.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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