플라즈마 표면 처리가 $BaTa_2O_6$ 박막의 전기적 특성에 미치는 효과에 관한 연구
(Influences of Plasma Treatment on the Electrical Characteristics of rf-magnefrom sputtered $BaTa_2O_6$ Thin Films)
-
- 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
- /
- 제48권5호
- /
- pp.319-325
- /
- 1999