• 한국환경농학회지
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• 제31권2호
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• pp.104-112
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• 2012

논 생태계를 모의하여 토양에 투입된 비료의 종류(AS, PMC, HV)와 토양 수분 변동조건(습윤기간, 전이기간, 건조 기간)으로 구분하여 $CH_4$과 $CO_2$ 플럭스를 조사하였다. $CH_4$ 플럭스는 0~13.8 mg $CH_4$/m/day의 범위에서 변화하였으 며, 시기적으로 습윤기간 초기와 전이기간과 건조기간 경계 시점에서 높은 값을 보였다. $CO_2$ 플럭스는 습윤 초기에 최대 치를 보이고 지속적으로 감소하다가 전이기간에 다시 상승하 였다. 최종토양의 탄소함량 변화는 대조구에서-5.4%이었고, 비료 처리구에서는-7.5~-16.4%이었다. HV 시용은 타 비종 에 비해 $CH_4$과 $CO_2$ 플럭스를 증가시켰는데, 이는 녹비작물 이 가축분 퇴비에 비해 상대적으로 이분해성으로 배양 초기 에 유기물 분해에 의해 $CH_4$과 $CO_2$ 발생량이 높았기 때문이 다. AS나 PMC 처리구에서 $CH_4$ 플럭스가 대조구에 비해 낮았는데, 이는 AS의 ${SO_4}^{2-}$와 퇴비에 함유된 산화형 물질($Fe^{3+}$, $Mn^{4+}$, ${NO_3}^-$)과 같은 전자 수용체에 의해 습윤기간 중 이들 물질이 전자수용체로 활용되어 $CH_4$ 생성이 감소할 수 있음 을 의미한다. PMC와 HV의 탄소 손실률을 비교하면, HV와 같은 이분해성 유기물에 비해 PMC와 같은 난분해성 유기물 의 시용이 토양 탄소량을 증가시키는 것으로 나타났다. 또한, 본 연구는 HV와 같은 녹비 작물이 질소 공급의 측면에서 화 학비료를 대체할 수 있지만, 화학비료 시용에 비해 $CH_4$ 발생 이 증가할 수 있음을 제시한다. 따라서, 이분해성 유기물(녹비 작물)과 난분해성 유기물(가축분퇴비)을 혼합 시용할 경우 양 분공급과 탄소저장량 증대에 모두 유리할 것으로 기대된다.

• 생태와환경
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• 제49권1호
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• pp.42-50
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• 2016

본 연구는 기후변화에 대응하기 위해서 국립공원의 관리방향을 설정하고, 이에 따른 정책을 수립하기 위한 기초 자료를 제공하는 데 목적이 있다. 이를 위해서 국립환경과학원에서 개발한 기후변화 취약성 평가 도구인 LCCGIS 프로그램의 취약성 대용변수 24개를 이용하여 현재와 미래의 국립공원의 기후변화 취약성을 분석하였다. 국립공원의 기후변화 취약성에 대한 현황과 미래전망을 분석하고 평가하기 위하여 기후노출의 대용변수는 기후변화 시나리오 (RCP 8.5)를 적용하여 $1km{\times}1km$ 격자 단위의 GIS 공간주제도를 제작하여 값을 추출하고, 민감도 및 적응 능력의 대용변수의 값은 국립공원 기본 통계값을 이용하여 추출하였다. 3개의 취약성 평가항목의 값은 현재 (2010년대)와 미래 (2050년대)에 대해서 추출하였으며, 미래 예측 시나리오가 없는 민감도 및 적응 능력과 관련된 대용변수는 현재 상태가 지속된다는 가정 아래 현재의 값을 미래에도 동일하게 적용하였다. 현재 (2010년대) 기후노출은 설악산, 오대산, 지리산, 치악산국립공원이 상대적으로 크고, 미래 (2050년대)에는 지리산, 오대산, 설악산, 한려해상이 클 것으로 예상되었다. 특히, 폭염의 변화가 가장 큰 공원은 월출산국립공원이고 가뭄이 크게 변하는 공원은 계룡산국립공원이며, 월악산국립공원이 폭우의 변화가 가장 클 것으로 나타났다. 국립공원 기후변화 민감도는 지리산국립공원이 가장 민감하고 적응 능력도 가장 높게 평가되었다. 민감도가 가장 낮은 곳은 가야산국립공원이고, 적응 능력은 치악산국립공원이 가장 낮았다. 기후변화 취약성은 설악산, 오대산, 치악산, 덕유산, 한려해상국립공원이 현재시기에 높게 평가되었고, 미래 취약성의 변화가 큰 공원은 지리산, 월악산, 치악산, 소백산국립공원 순으로 전망되었다. 전반적으로, 국립공원의 기후변화 취약성을 평가하는 항목인 기후노출, 민감도, 그리고 적응 능력은 국립공원의 지역적인 기후환경에 따라서 상대적으로 차이가 나타나기 때문에 전 공원을 대상으로 획일적인 적응대책을 수립하기보다는 국립공원의 지역적인 기후환경 특성을 반영한 적응대책 마련이 필요할 것이다. 국립공원을 대상으로 기후노출, 민감도 및 적응 능력의 대용변수를 이용하여 기후변화 취약성을 평가한 본 연구의 결과는 국립공원의 지역적인 기후환경 특성을 고려한 기후변화 적응대책을 수립하는 데 기초자료로서 활용될 것으로 기대된다. 하지만 국립공원의 기후변화 취약성 평가와 관련된 연구가 거의 없는 실정에서 LCCGIS프로그램 상에서 제시되는 대용변수만을 사용하여 분석하였기 때문에, 국립공원의 전반적인 환경을 제대로 반영하지 못할 수 있다. 향후 연구에서는 국립공원의 기후변화 취약성을 평가하기 위하여 보다 적합한 대용변수의 객관적인 검토와 함께 가중치 설정에 대한 연구가 진행될 필요가 있다.

• 기독교교육논총
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• 제62권
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• pp.161-186
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• 2020

본 연구는 이기성과 폐쇄성으로 사회적 공신력을 잃어가며, 전염병에 의한 사회적 거리두기가 확산되는 상황에서 신앙공동체인 교회를 이해하는데 있어 새로운 지평을 여는 목적으로 진행하였다. 첫째로, 교회를 나타내는 대표적인 용어인 '에클레시아'의 개념과 의미를 역사적, 성서적, 신학적으로 연구하면서, 이 용어를 빈번하게 사용한 바울의 의도를 탐구하였다. 둘째로, 공동체와 개인의 관계를 면역학적 개념으로 풀어간 에스포지토의 코무니타스와 이무니타스의 고찰을 통해 신앙공동체의 새 지평을 탐색하였다. 최근 교회는 다양한 원인으로 사회의 신뢰를 잃었을 뿐만 아니라, 의도치 않게 아주 일부의 교회가 전염병 바이러스의 전파자로 지적되어 신앙공동체의 약화 또는 상실의 위기에 봉착해 있다. 코로나 19 이후 2차 유행도 예측되고 있어, 일상의 부분적 상실과 더불어 교회에서의 모임 예배나 교제의 어려움도 불가피한 형국이다. 앞으로의 교회는 면역 개념을 이해하며, 예수그리스도의 정신과 삶의 향내를 드러내면서 사회의 변화를 이끌 수 있는 참된 신앙공동체의 구축이 필요하다. 이를 위해 급변하는 시대와 상황에 맞는 신앙공동체 패러다임의 혁신과 실천이 요청된다. 본고 1장에서는 사회적 공신력을 잃고, 사회적 거리두기의 대상이 된 교회와 신앙공동체의 문제점들을 이기성과 폐쇄성으로 지적하며 혁신을 제안한다. 2장에서는 신앙공동체 패러다임의 전환을 위해 고대 그리스에서 사용한 '에클레시아'를 연구하며 분석하며, 사도바울이 '에클레시아'를 교회라는 신앙공동체에 적용한 의도를 파악한다. 4장에서는 면역 개념에 대해 알아보고, 부정적 면역을 넘어 긍정적 면역의 개념을 통해 개인과 공동체의 관계를 고찰했던 에스포지토의 재해석을 정리하며, 다양한 공동체와 개인, 교회의 신앙공동체 변혁을 위한 적용점을 도출한다. 5장은 결론으로 '에클레시아'의 의미를 통해 약화 및 상실되어가는 소중한 모임과 참여를 회복시키고 더 높은 차원의 공적모임, 민주적 참여로의 확장을 제안한다. 그리고 면역 개념의 재해석에 입각해 다양한 개인 안에서의 연합, 연합 안에서의 다양한 개인을 교회와 신앙공동체의 대안으로 제시한다.

• Radiation Oncology Journal
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• 제15권1호
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• pp.57-64
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• 1997

목적 : 자궁경부암환자의 근치목적의 방사선치료 성적을 보고하기에 앞서 본원에서 사용하고 있는 자궁강내치료기기의 선량투여 방법의 정확성을 평가해보고 각 장기의 흡수선량을 대변할수 있는 예측력이 어느정도인지 알아보고자 연구를 시행하였다. 대상 및 방법 : 조준필름의 측면사진에서는 본원에서 현재 사용중인 방광(SBD)과 직장(SRD)의 기준흡수점의 흡수선량을 확인 하였다. 골반강 자기공명상의 측면사진에서 종양의 두 횡축과 종축의 직경을 곱하여 종양부피(TV)를 측정하였고, 기본으로 사음되고 있는 등선량곡선을 그린후 선량기준점 A 의 등선량 곡선내에 자궁경부 종양이 포함되는지 대상 환자별로 확인하였으며, 방광(MBD)과 직장(MRD)에서 보여주는 최대흡수선량점의 값을 측정하였고, 또한 선량기준점 A의 등선량 곡선내에 포함되는 방광(HBV)과 직장(HRV)의 면적을 계산해 보았다. 결 과 : 45례를 대상으로 분석하였다. 이중 53%(24/45) 에서만이 선량기준점 A의 등선량곡선내에 종양이 잘 포함되었다. 적절한 포함정도는 병기보다는 원발종양의 크기와 통계학적으로 유의한 관련성을 보여주었으며 종양의 측면지름의 크기가 3cm 이상인 종양은 불충분한 포함을 보여 주었다. 조준필름의 측면상의 방광과 직장의 기준흡수선량값은 자기공명사진상의 방광과 직장의 최대흡수값과 각각 유의한 관계를 보여주지 못했으나, 조준필름의 직장의 흡수선량값(SRD)은 HRV 와 유의한 관련성을 보여주었다. HBV 이나 HRV 은 오히려 자기공명사진상에서 측정한 종양의 크기(TV) 와 유의한 연관성을 보여 주었다. 결론 : 본원에서 사용하고 있는 선량계산 방법은 개별적인 종양의 크기를 고려해주지 못하였으며, 특히 방광의 흡수선량계산에 있어서 실제 흡수선량을 대변할수 있는 예측도가 낮아서 이에 대한 환자 개개인의 종양의 특성을 고려한 선량계산이 필요하리라 사료되는 바이다.

• 유통과학연구
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• 제10권4호
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• pp.37-45
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• 2012

한국의 택배산업은 국가경제뿐만 아니라 국민의 일상생활을 지원하는 국내 물류산업의 핵심부분으로 발전해왔다. 택배기업의 효율적 전략은 고객충성도를 최대화 할 수 있는 고품질 서비스를 목표고객에게 제시하는 것이다. 본 연구는 한국택배산업에 서비스품질을 적용하여 택배서비스 품질, 고객만족과 고객신뢰 및 고객충성도간의 구조적인 관계를 밝히고, '서비스품질 성과형성모델'을 얻고자 하는 것이다. 이를 위해 택배서비스 품질요인을 독립변수로, 고객만족과 고객신뢰를 매개변수로, 택배서비스의 성과(고객충성도)를 종속변수로 하였다. 문헌연구를 통해 가설을 설정한 후 독립변수와 매개변수가 종속변수인 고객충성도에 유의한 영향을 주는 것을 검증하였다. 본 연구는 실증적 연구 방법으로 설문을 통한 통계분석기법을 행하였으며 SPSS 18.0 과 AMOS 18.0을 이용하여 분석을 실행하였다. 택배산업을 대상으로 한 본 연구의 실증적 분석을 통해 세 가지 결과를 보여주었다. 첫째, 매개변수인 고객만족은 충성도에 유의한 영향을 준다. 그러나 또 하나의 매개변수인 신뢰는 고객 충성도에 유의한 영향을 주지 않는다. 둘째, 독립변수인 택배 서비스의 품질은 고객 만족, 신뢰 및 고객 충성도에 유의한 영향을 준다. 셋째, 매개변수간의 관계에서 고객신뢰는 고객만족에 유의한 영향을 주는 선행관계임을 알 수 있었다. 한국에서 택배기업은 경쟁 우위를 갖기 위해 고객 충성도를 극대화하려 하고 있다. 본 연구는 서비스품질 성과형성 모델을 통한 택배서비스의 효율적 관리에 관한 연구를 수행하였고, 이를 통해 국내 택배기업들에게 택배서비스 관리를 위한 설명력 있는 결과를 제시한 것이 실무적 기여가 있다고 할 수 있다. 본 연구의 한계점으로는, 변수의 구성에 있어서, 고객만족, 고객신뢰, 고객충성도와 같은 정성적 변수의 관계를 살펴보았는데 가격, 중량과 같은 정량적 변수를 고려하지 않은 점이다.

• 아동학회지
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• 제1권
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• pp.65-81
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• 1980

This study is aimed at investigating the compensatory education which was already implemented or is being implemented in the U.S.A. and Japan; and at studying the types of programs and their characteristics; and at sounding out the possibilities of the application of such programs in family and social conditions is Korea. In order to achieve the above mentioned objectives, the established items for the study are as follows: (1) Various types of early children's education (2) Programs of compensatory education for the disadvantaged Children (3) Head Start Program, Early Training Project and Montessori School (4) Integrated Preschool Programs (5) Day-Care Center for employed mothers We investigated the various compensatory education programs for the preschool children who are in economically, socially, culturally disadvantaged conditions. Head Start Programs were federally supported programs for preschool children and opened as summer programs in 1965 for the first time. The purpose of Head Start has been to give preschool children the kinds of experiences they need in preparation for school. The Head Start children were found to be significantly better prepared for school than the normal children. However, after six to eight months, their initial advantages had virtually. disappeared and then the simple problem with Head Start and other such programs was that little long-term good could be evidenced unless the high quality educational environment was maintained. Therefore, to solve this problem, three other programs were funded as part of the overall Head Start. These three programs are the Parent-Child Center, Home Start, and the Child and Family Resources Program. The Early Training Project for disadvantaged children was implemented by Klaus and Gray of Peabody College in 1962. The program was a field research study concerned with the development and testing over time of procedures for improving the educability of young children from low income homes. Its major concern was to study whether it was possible to offset the progressive retardation observed in the public schooling careers of children, living in deprived circumstances. Children, who were trained through the Early Training Project were superior to control groups in the test of IQ and vocabulary as well as linguistic abilities, and preparation for reading. This project showed the possibilities which could prevent preschool children from being disadvantaged socially, culturally and mentally. In 1907, Montessori School was established by Maria Montessori in Italy and her school program has been introduced at present to several countries in the world as one compensatory educations. She first began her experimental methods with retarded children, followed by disadvantaged children from the tenements of Rome. The Montessori approach futures a prepared environment and carefully designed, self-correcting materials. The Montessori curriculum presents tastes that feature sequence, order, and regularity, in addition to those that develop motor and sensory skills. She was interested in children's intellectual development and in developing good work habits. One of the latest developed programs for disadvantaged children is "Integrated Preschool Program" which has successfully integrated handicapped and nonhandicapped children. Several studies have showed that handicapped children in integrated school environments are accepted by and interact with their nonhandicapped peers. In fact, this program provides a number of potential, and perhaps opportunities for nonhandicapped children to serve as valuable resources in fostering the development of their handicapped peers. Next we turn to Japanese programs which are divided into two different types. One is Day-Care Center which was established by Child Welfare Law and the other is kindergarten organized by School Education Law. The kindergarten opened in 1876 and it has been part of school systems since 1947 by the implementation of education law, and the Day-Care Center which started in 1890 for the employed mothers. was changed into Day-Nursery by the enactment of child welfare law in 1947. The laws and operational regulations for the Day-Nursery were set up and were put in effect by the establishment standard acts of children welfare facilities, and the Day-Nursery has been operated in various types by the increasing demand, chiefly because of the socio-economical changes of family structures in both urban and suburban areas. Nursery education for physically and mentally disadvantaged children is for those who are blind, deaf and dumb, mentally retarded; physically disadvantaged by accidents or diseases. Montessori education in Japan was started in 1968 and many research groups for studying Montessori were organized. In 1977, Montessori remedial education society was also organized in which they started a number of studies; a study for developing materials; in-service training for the remedial education; and seminars and lectures, etc It is strongly suggested that we study the early educations that are being implemented in Japan and a variety of compensatory educations that were already implemented in the U.S.A. and modify them for the organization of our own model and properly accommodate them to our social needs.

• 대한소아치과학회지
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• 제39권2호
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• pp.206-225
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• 2012

General status of pediatric dentistry in Korea is to conduct vigorous academic activities and specialized medical care centering the Korean Association of Pediatric Dentistry (KAPD) that has about 1,000 pediatric dentists as members, pediatric dentistry departments of 11 Colleges of Dentistry, numbers of pediatric dentistry training institutions and private clinics specialized in children. From 1996, the accredited pediatric dentists were produced by the KAPD and from 2008, the state began to produce the accredited pediatric dentists. Since then, doctors with expertise in pediatric care had opened private clinics in addition to the university hospitals, it became the basis of a momentum to deepen the specialty of pediatric dentistry. The Dentistry community of Korea is going through rapid and profound changes recently, and the underlying reasons for such changes can be classified largely into a few categories: (1) Decreasing population and structural changes in population (2) Increase in numbers of dentists, (3) Changes in the pattern of dental diseases and (4) Changes in medical environment. In Korea, the children population in the age range of 0 ~ 14 years old had been decreased by 2 million in 2010 compared to that of 2000 due to reduction of birth rate. The current population of children in the age range of 0 ~ 4 years old in 2010 takes up 16.2% of the total population, but it is estimated that such percentage would decrease to 8.0% by 2050. Such percentage is largely behind the estimated mean global population of 19.6% by 2050. On the other hand, the number of dentists had been largely increased from 18,000 in 2000 to 25,000 in 2010. And it is estimated that the number will be increased to 41,000 by 2030. In addition, the specialized personnel of Pediatric dentistry had been shown as increased by 2.5 times during past 10 years. For the changes in the pattern of dental diseases, including dental caries, each df rate of 5 years old children and 12 years old children had been decreased by 21.9% and 16.7% respectively in 2010 compared to 2000. Each df Index also had been decreased by 2.5 teeth and 1.2 teeth respectively. The medical expenditure of Korea is less than that of OECD and more specifically, the expenditure from the National Health Plan is less than OECD but the expenditure covered by households is larger than OECD. These facts indicate that it is considered as requiring the coverage of the national health plan to be reinforced more in the future and as such reinforcement needs continuous promotion. In medical examination pattern of Pediatric dentistry, the preventive and corrective treatment were increased whereas the restorative treatment was decreased. It is considered that such change is caused from decrease of dental caries from activation of the prevention project at national level. For the restorative treatment, the restorations in use of dental amalgam, pre-existing gold crowning and endodontic treatment had been decreased in their proportion while the restorative treatment in use of composite resin had been increased. It is considered that such changes is caused by the change of demands from patients and family or guardians as they desired more aesthetic improvement along with socio-economic growth of Korean society. Due to such changes in dentistry, the pediatric dentistry in Korea also attempts to have changes in the patterns of medical examination as follows; It tends to implement early stage treatment through early diagnosis utilizing various diagnostic tools such as FOTI or QLF. The early stage dental caries so called white spot had been included in the subjects for dental care or management and in order to do so, the medical care guidelines essentially accompanied with remineralization treatment as well as minimally invasive treatment is being generalized gradually. Also, centering the Pediatric dentists, the importance of caries risk assessment is being recognized, in addition that the management of dental caries is being changed from surgical approach to internal medicinal approach. Recently, efforts began to emerge in order to increase the target patients to be managed by dentists and to expand the application scope of Pediatric dentistry along with through such changes. The interest and activities of Pediatric dentists which had been limited to the medical examination room so far, is now being expanded externally, as they put efforts for participating in the preventive policy making process of the community or the state, and to support the political theories. And also opinions are being collected into the direction that the future- oriented strategic political tasks shall be selected and researches as well as presentations on the theoretical rationale of such tasks at the association level.

• 지능정보연구
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• 제22권4호
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• pp.247-264
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• 2016

저출산 및 인구 고령화가 가속화되면서, 중장년 퇴직자 등 노동 소외 계층의 취업난 해결은 우리 사회의 핵심 과제로 등장하고 있다. 온라인에는 수많은 일자리 요구 정보가 산재해 있으나, 이를 중장년 구직자에게 제대로 매칭시키지는 못하고 있다. 워크넷 취업 로그에 따르면 구직자가 선호하는 직종에 취업하는 경우는 약 24%에 불과하다. 그러므로, 이러한 문제를 극복하기 위해서는 구직자에게 일자리 정보를 매칭시킬 때 선호하는 직종과 유사한 직종들을 추천하는 소프트 매칭 기법이 필수적이다. 본 연구는 중장년층에 특화된 소프트 직업 매칭 알고리즘과 서비스를 고안하고 개발하여 제공하는 것을 목표로 한다. 이를 위하여 본 연구에서는 1) 대용량의 구직 활동 기록인 워크넷 로그로부터 중장년층의 일자리 특성 및 요구 추세를 분석하였다. 2) 중장년층의 일자리 추천을 위해 직종 유사도 기준으로 일자리 분류표(KOCM)를 재정렬하였다. 이 결과를 이용하여, 3) 중장년에 특화된 인력 고용 소프트 매칭 직업 추천 알고리즘(MOMA)을 개발하여 구인 구직 웹사이트에 적용하였다. 자체 저작한 중장년층 특화 일자리 분류표(KOCM)를 이용한 소프트 일자리 매칭 시스템의 정확도를 측정하였을 때, 실제 고용 결과 기준, 하드 매칭 대비 약 20여 배의 성능 향상을 보였다. 본 연구내용을 적용하여 개발한 중장년층 특화 구직 사이트는 중장년층의 구직 과정에서 입력 정보 부담을 최소화하고 소프트 매칭을 통해 사용자의 요구직종에 적합한 일자리를 정확하고 폭넓게 추천함으로 중장년층의 삶의 질 향상에 기여할 수 있을 것으로 기대된다.

• 한국조경학회지
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• 제16권3호
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• pp.21-37
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• 1989

도심 건축물주변 옥외휴식공간의 환경디자인 패턴언어와 환경기능별 만족도를 알아보기 위해 서울 C.B.D.내 데스크파크와 미니파크 9 개소를 조사대상지로 하여 현지관찰 및 도면을 통하여 패턴언어를 분석하는 한편, 실재 이용자에 대한 설문조사로 빌딩 주변 옥외휴식공간의 이용실태와 만족도에 영향을 주는 주요 환경기능을 분석.검토한 결과는 다음과 같다. 1. 공간의 특성과 물리적 규모(Physical Scale)에 따라 선택된 C.Alexander의 패턴언어(Pattern Laquage)는 옥외 휴식공간이라는 공간적 특성에 따라 그 내용을 확대, 또는 새로운 요구를 수용 이를 발전시킬 수 있을 것이다. 2. 도심부 옥외 휴식공간에서 활용빈도(Pattern Freguency)가 높은 패턴언어를 포함한 환경기능은 $\ulcorner$플라자$\lrcorner$,$\ulcorner$지형변화$\lrcorner$및$\ulcorner$조형물$\lrcorner$,$\ulcorner$앉을자리$\lrcorner$등의 순이었고, 공유연관도(Pattern Interaction)가 높은 패턴언어를 포함한 환경기능은 $\ulcorner$플라자$\lrcorner$,$\ulcorner$앉을자리$\lrcorner$,$\ulcorner$접근성$\lrcorner$의 순이었으며 이를 조합한 환경기능 순위는 $\ulcorner$플라자$\lrcorner$,$\ulcorner$앉을자리$\lrcorner$,$\ulcorner$접근성$\lrcorner$등으로 밝혀졌다. 3. 도심부 옥외휴식공간은 61 Public Small Square 등 광장으로서의 활동기능과 241 Seat Spots, 158 Open Stair 등의 앉을자리기능 그리고 170 Tree Place 등의 식생기능이 많이 발견되었으며, 이에 못지않게 30 Activity Node, Subway 등 접근성을 높이는 패턴언어를 담는 환경기능도 풍부한 것으로 밝혀져 앞으로도 이러한 기능에 부합될 수 있는 패턴 언어의 조합과 개발에 초점이 맞추어져야 할 것이다. 4. 빌딩 옥외휴식공간은 주로 서울 전구에 고루게 거주하는 10.20대의 젊은 학생 및 사무원이 단기간의 휴식을 겸한 만남을 목적으로 불규칙하게 이용되고 있었으며 이는 빌딩 근무유무에 따른 이유보다는 빌딩용무유무에 따른 것으로 옥외휴식공간의 이용이 가장 손쉽고 경제적이라는 것이 동기로 작용되었다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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• pp.239-240
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• 2008

As semiconductor devices are scaled down for better performance and more functionality, the Cu-based interconnects suffer from the increase of the resistivity of the Cu wires. The resistivity increase, which is attributed to the electron scattering from grain boundaries and interfaces, needs to be addressed in order to further scale down semiconductor devices [1]. The increase in the resistivity of the interconnect can be alleviated by increasing the grain size of electroplating (EP)-Cu or by modifying the Cu surface [1]. Another possible solution is to maximize the portion of the EP-Cu volume in the vias or damascene structures with the conformal diffusion barrier and seed layer by optimizing their deposition processes during Cu interconnect fabrication, which are currently ionized physical vapor deposition (IPVD)-based Ta/TaN bilayer and IPVD-Cu, respectively. The use of in-situ etching, during IPVD of the barrier or the seed layer, has been effective in enlarging the trench volume where the Cu is filled, resulting in improved reliability and performance of the Cu-based interconnect. However, the application of IPVD technology is expected to be limited eventually because of poor sidewall step coverage and the narrow top part of the damascene structures. Recently, Ru has been suggested as a diffusion barrier that is compatible with the direct plating of Cu [2-3]. A single-layer diffusion barrier for the direct plating of Cu is desirable to optimize the resistance of the Cu interconnects because it eliminates the Cu-seed layer. However, previous studies have shown that the Ru by itself is not a suitable diffusion barrier for Cu metallization [4-6]. Thus, the diffusion barrier performance of the Ru film should be improved in order for it to be successfully incorporated as a seed layer/barrier layer for the direct plating of Cu. The improvement of its barrier performance, by modifying the Ru microstructure from columnar to amorphous (by incorporating the N into Ru during PVD), has been previously reported [7]. Another approach for improving the barrier performance of the Ru film is to use Ru as a just seed layer and combine it with superior materials to function as a diffusion barrier against the Cu. A RulTaN bilayer prepared by PVD has recently been suggested as a seed layer/diffusion barrier for Cu. This bilayer was stable between the Cu and Si after annealing at $700^{\circ}C$ for I min [8]. Although these reports dealt with the possible applications of Ru for Cu metallization, cases where the Ru film was prepared by atomic layer deposition (ALD) have not been identified. These are important because of ALD's excellent conformality. In this study, a bilayer diffusion barrier of Ru/TaCN prepared by ALD was investigated. As the addition of the third element into the transition metal nitride disrupts the crystal lattice and leads to the formation of a stable ternary amorphous material, as indicated by Nicolet [9], ALD-TaCN is expected to improve the diffusion barrier performance of the ALD-Ru against Cu. Ru was deposited by a sequential supply of bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium [Ru$(EtCp)_2$] and $NH_3$plasma and TaCN by a sequential supply of $(NEt_2)_3Ta=Nbu^t$ (tert-butylimido-trisdiethylamido-tantalum, TBTDET) and $H_2$ plasma. Sheet resistance measurements, X-ray diffractometry (XRD), and Auger electron spectroscopy (AES) analysis showed that the bilayer diffusion barriers of ALD-Ru (12 nm)/ALD-TaCN (2 nm) and ALD-Ru (4nm)/ALD-TaCN (2 nm) prevented the Cu diffusion up to annealing temperatures of 600 and $550^{\circ}C$ for 30 min, respectively. This is found to be due to the excellent diffusion barrier performance of the ALD-TaCN film against the Cu, due to it having an amorphous structure. A 5-nm-thick ALD-TaCN film was even stable up to annealing at $650^{\circ}C$ between Cu and Si. Transmission electron microscopy (TEM) investigation combined with energy dispersive spectroscopy (EDS) analysis revealed that the ALD-Ru/ALD-TaCN diffusion barrier failed by the Cu diffusion through the bilayer into the Si substrate. This is due to the ALD-TaCN interlayer preventing the interfacial reaction between the Ru and Si.