We report the self-aligned low temperature poly silicon (LTPS) TFT process using simple doping process. In conventional LTPS-TFT, the Lightly Doped Drain (LDD) doping and source/drain doping are processed separately by aligning the gate with the source and drain during the gate lithography step. This ne w process not only fabricates fully self-aligned low temperature poly silicon TFTs with symmetric LDD structure but also simplifies the process flow with combined source/drain doping and LDD doping in one step. LDD doping process can be achieved using only source/drain doping process according to the new structure. In this paper, the TFT characteristics of NMOS and PMOS using the new doping process will be discussed.
The ion beam alignment technique is one of the potential and fascinating methods. However, there are merely a few reports about aligning nematic liquid crystals (NLCs) horizontally for in-plane switching mode (IPS) by means of low energy ion beam exposure on inorganic materials such as DLC. In this study, we have investigated the tilted vertical alignment of NLC by the ion beam technique on the thin films of various amorphous silicon compounds as new inorganic alignment materials. Appropriate pretilt angles of NLC with preferred orientation on these thin films were achieved. And the electro-optic property of vertically aligned single domain cells has been investigated.
Inexpensive large area arrays of thin film transistors (TFTs) on flexible substrates will enable many new display products that cannot be cost effectively manufactured by conventional means. This paper presents a new approach for low cost manufacturing of electronic devices using roll-to-roll (R2R) processes exclusively. It was developed in partnership by Hewlett Packard Laboratories and Iowa Thin Film Technologies (ITFT), a solar cell manufacturer. The approach combines ITFT's unique processes for vacuum deposition and etching of semiconductors, dielectrics and metals on continuous plastic webs with a method HP has invented for the patterning and aligning the multiple layers of a TFT with sub-micron accuracy and feature size.
The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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v.11
no.6
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pp.984-989
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2000
A microstrip patch array designed at 35 GHz is described for use in the detection of the position of moving targets. To obtain wide detection range, the array is arranged to give a narrow beamwidth in the elevation plane and a wide beamwidth on the azimuth plane. This can be achieved by aligning the electric field plane of each element to the array axis. Employing a 3 dB-tapered feed network, the array has a side lobe level of less than -20 dB and wider azimuth beam width of 12.8$^{\circ}$ simultaneously.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.14
no.4
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pp.336-340
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2001
We have investigated the generation of pretilt angle and alignment stability for a nematic liquid crystal (NLC) with obliquely polarized UV exposure on the three kinds of photo-polymer. High pretilt angle of the NLC was obtained by polarized UV exposure on a PM4Ch surface for 1 min. But, the low pretilt angle of he NLC on a PVCi surface was observed. The pretilt angle generated is attributed ot the photosensitivity by the long side chaining of photo-polymer. Also, a good thermal stability of the three kinds of photo-polymer were obtained by thermogravimetric analysis (TGA) measurement until 300$^{\circ}C$. Finally, the good LC aligning capabilities using the photodimerization method were observed by annealing-treatment until 150$^{\circ}C$.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.16
no.11
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pp.1019-1022
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2003
We studied the nematic liquid crystal (NLC) aligning capabilities using the new alignment material of a-C:H thin film as working gas at 30W rf bias condition. A high pretilt angle of about 5$^{\circ}$ by ion beam(IB) exposure on the a-C:H thin film surface was measured. A good LC alignment by the IB alignment method on the a-C:H thin film surface was observed at annealing temperature of 250$^{\circ}C$, and the alignment defect of the NLC was observed above annealing temperature of 300$^{\circ}C$. Consequently, the high LC pretilt angle and the good thermal stability of LC alignment by the IB alignment method on the a-C:H thin film surface as working gas at 30W rf bias condition can be achieved.
Kim Eugene D.;Choi Young-Wan;Kang Myung-Seok;Choi Se Chol
Journal of the Optical Society of Korea
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v.9
no.2
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pp.68-73
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2005
When aligning catoptric or catadioptric telescopes for space cameras, it is difficult to align precisely if the field of view is large or there are several reflective surfaces. The quantitative knowledge of mirror misalignments greatly helps align a misaligned telescope precisely, and also reduce the alignment time. This paper describes a generalized reverse-optimization alignment solution algorithm using Zernike sensitivity, and proposes the minimum number of fields to take interferograms. This method was successfully applied on a Cassegrain telescope design for Earth observation from space with arbitrary misalignments and a model including some primary mirror deformation.
In order to fabricate porous materials having an anisotropic thermal conductivity by aligning plate-shaped pores structure, alumina powder (AM-21, mean particle size $4\mum$) and flake crystalline graphite was used. The aligned pore structure was realized using multi-pressing process. Degree of pore orientation increased with the number of pressing and thermal conductivity, parallel to the pressing direction, decreased with the number of pressing. Thermal conductivity decreased significantly to the addition of 30vol% crystalline graphite, however, in the case of 60vol%, thermal conductivity did not decrease significantly due to the breakage of crystalline graphite. An anisotropy of the thermal conductivity increased with the content of crystalline graphite up to 30vol%. Graded pore structure was fabricated by controlling the content and size of crystalline graphite, which provides, possibly, the enhancement in mechanical strength and thermal insulation properties of the insulating bricks.
Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
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2009.05a
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pp.68-69
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2009
Heat Assisted Magnetic Recording (HAMR) is one of the most promising candidates for high density magnetic storages over 1 Tb/$in^2$ areal density. Since the precise light delivery to the head is a key factor to realize HAMR application, it is required to establish the light delivery using micro laser module and micro actuator. For the careful control of micro actuator, a laser module was designed including laser diode, optical fiber, collimating lens, and fabricated V-groove substrate. In addition, the basic aligning method between the laser module and HAMR head was studied by the detection of current change in photo diode due to the amount of reflected light from the head.
Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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2002.05a
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pp.232-239
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2002
경영환경의 변화를 예측하고, 변화를 창조하며 적극적으로 대응하고자 하는 오늘날 기업 활동의 노력은 전통적인 경영관리시스템(MIS, Management Information System)의 한계를 인식하고 있다. 테일러의 과학적 경영관리 기법을 근간으로 발전해온 MIS분야는 종래의 경영환경, 즉 변화 정도가 미약하거나 또는 예측 가능한 변화의 환경 속에서 기업관리 활동이 가능한 경우에 그 효과를 볼 수 있었다. 전략적 기업관리(SEM, Strategic Enterprise Management)는 기업의 가치창출을 위한 근본적인 프로세스에 관심을 가지고 있다. 이 연구에서는 기업의 가치중심 경영 기법과 연계되는 성과관리시스템의 새로운 설계 방안을 제시하고자 한다. 기업의 전략적 가치동인(value driver)을 도출하여 전략방향의 대안을 제시하고 그러한 전략대안을 달성하기 위한 균형성과지표를 개발한다. 향후 이 지표들은 다시 가치동인도에 반영되어 기업의 전략적 가치향상을 위한 지표 선정의 적정성을 검증하게 된다. 결국, 기업의 가치창출이라는 대명제 안에서 가치평가모델링(VBM, Value Based Management)과 균형성과 지표의 연계성을 강조하는 틀을 제시하게 될 것이다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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