Nonlinearity를 갖는 Micro Electorstatic Actuator의 초정밀 추종제어 (High precision tracking contorl algorithm for micro electrostatic actuator with nonlinearity)
-
- 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
- /
- 제어로봇시스템학회 1997년도 한국자동제어학술회의논문집; 한국전력공사 서울연수원; 17-18 Oct. 1997
- /
- pp.464-467
- /
- 1997