A Study on the Plasma Enhanced Hot-wire CVD Grown Miorocrystalline Silicon Films for Photovoltaic Device Applications (태양전지 응용을 위한 플라즈마 열선 화학기상증착법으로 성장한 미세결정 실리콘에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2001.07a
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- pp.632-635
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- 2001