Piezoelectric and electromechanical properties of PZT films and PZT microcantilever (PZT 박막의 압전 특성 및 MEMS 기술로 제작된 PZT cantilever의 전기기계적 물성 평가)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2002.07a
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- pp.177-180
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- 2002