• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.18 no.5
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• pp.372-376
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• 2009

In the modern semiconductor industry, lithography process is used to construct specific patterns. However, due to the decreasing of line width, these days, more and more researchers are interested in PMMA(Poly Methyl Methacrylate) lithography by using e-beam instead of the prior method, PR(Photoresist) lithography by using UV(Ultra-Violet). Additionally, the patterns constructed by lithography are collapsed during the process of cleansing remnants and the resistance against the breakdown of the patterns is known to be proportional to the elastic modulus of pattern-constructing materials. In this research, we measured the change of hardness and elastic modulus of PMMA film surface according to the change of time spent to soft-bake the PMMA film. During the measurement, we controlled the tip pressure from $25{\mu}N$ to $8,500{\mu}N$ having intervals that are $134.52{\mu}N$. For these measurements, we used the Triboindenter from Hysitron to gauge the hardness and elastic modulus and the tip we used was Berkovich diamond Tip.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.3-3
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• 2010

이번 성원에드워드 학술상 수상자 선정은, 진공기술의 중요성에 공감하고 진공기술 발전을 위한 노력을 독려하자는 진공학회 회원들의 의견을 모아주신 결과로 생각한다. 본 발표에서는 그동안 한국표준과학연구원에서 수행해 온 진공 기술 연구 및 산학연 협력 네트워크 활동을 소개하고자 한다. 진공기술은 진공 환경을 발생시키고 측정 제어하며, 만들어진 진공 환경 안에서 원하는 작업을 할 수 있도록 하는 기술을 말한다. 우리나라의 주력산업인 반도체 및 디스플레이의 경우 그 생산 설비의 1/3이상이 진공 장비이며 진공 공정을 통해 만들어진다. 때문에 우리나라에서는 주력 산업분야나 그 전후방 산업의 경쟁력 강화 측면에서 진공기술 개발 중요성이 아주 크다. 한국표준과학연구원은 국가 대표 측정 기관으로 국가 측정 표준을 확립하고 측정관련 과학기술을 연구개발하며 그 성과를 보급하여 경제발전과 과학기술발전, 그리고 삶의 질 향상에 기여하는 것을 임무로 하고 있다. 우리나라에서 진공 측정 표준에 대한 연구가 본격적으로 시작된 것은 1984년으로 불용 장비로 불하받은 펌프와 챔버, 그리고 차관으로 도입된 Capacitance Diaphragm Gauge 몇 개만으로 시작되었다. 지금은 발전을 거듭하여 초음파 간섭 수은주 압력계를 비롯하여 정적 팽창시스템, 동적 팽창 시스템 등 진공도 범위별 국가 표준기와 리크 표준기를 자체 개발 하여 국가 측정 표준을 확립하고 있다. 우리나라의 진공 표준 및 측정 능력은 국제기구인BIPM에서 실시하는 국가 측정능력 비교시험을 통해 세계 최고 수준으로 인정 받은 바 있으며 교정검사 등을 통해 산학연에 보급되고 있다. 진공 측정 및 표준기술을 토대로, 1999년부터 과학기술부와 산업자원부의 지원을 받아 산학연이 필요로 하는 펌프 계측기 부품 소재 및 공정 특성을 평가하기 위한 장치와 절차를 개발하였다. 이를 이용해 보급되는 기술 data는 진공부품 및 장비 국산화, 국산제품 신뢰성 제고, 검증부품 사용을 통한 장비 품질 향상, 독자적 장비 기술 확보, 생산품 품질관리 등에 쓰이고 있다. 한국 표준연구원 진공센터의 교정 및 시험 능력은 ISO 9001 인증 획득과 국제 전문가의 review를 거쳐, 국제기구 측정능력표에 등재되어 있어 국제적 신뢰도도 확보하고 있다. 정기적인 진공기술 교류회를 개최하고 진공기술 홈페이지를 운영 하는 등 산학연 정보 교류 및 협력 네트워킹 활성화를 위해 노력한 바 있으며 이 분야의 연구 성과는 '국가 우수 연구성과 100선'에 선정된 바 있고, 산업자원부 지정 '산학연 연계 우수사례' 첫 번째로 선정되기도 하였다. 2008년부터는 진공기술 교류회 등을 통한 네트워킹 활동으로 도출된 기술 수요에 따라 대기업과 중소기업 학교 연구소들과 함께 진공공정 실시간 측정 진단 기술과 센서 개발 연구, 그리고 이들 개발품의 신뢰성 검증 및 평가 기술 개발을 위해 노력하고 있다.

• Korean Journal of Animal Reproduction
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• v.21 no.2
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• pp.147-156
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• 1997

Ultrasound-guided follicular aspiration was performed in Holstein heifers once weekly with or without pretreatment of single or multiple decreasing doses using a total of 400 mg FSH. Oocytes were aspirated with a 6.5 MHz convex-array ultrasound trasducer designed for intravaginal use. All the visible follicles larger than 4 mm in diameter were punctured with a 17 gauge, 55 cm needle at each aspiration session and the follicular fluids containing oocytes were obtained by vacuum suction. The results obtained were as follows: As a preliminary experiment, the recovery rates of folicular oocytes by ultrasound-guided aspiration from the isolated ovaries of Korean native cows were compared between suction methods using manual syringe or vacuum pump. The recovery rate of oocytes using vacuum pump (80.7%) was significantly (P<0.05) higher than that using manual syringe (47.1%). The follicles were counted by their size in diameter with ultrasound image, and recovery rates and grades of follicular oocytes collected by ultrasound-guided aspiration were investigated in Holstein heifers pretreated with or without FSH. A group of heifiers were injected with multiple decreasing doses (twice a day for 3 days) of a total of 400 mg FSH. The other 2 groups were injected with a single dose of 400 mg FSH mixed with 25% PVP. Ultrasound observation of follicle population and/or ultrasound-guided transvaginal oocyte aspiration were performed 12 hrs following the last FSH injection in the multiple dose group, and 48 or 60 hrs after FSH injection in the single dose groups. Most of the visible follicles had small size of less than 3 mm in diameter in unstimulated heifers (71.0%), but medium size in all the heifers treated with FSH. (70.5 to 92.8%). The number of OPU follicles per session (4.6$\pm$1.9) were much less, compared to the vilsible follicle counts (9.7$\pm$2.2), in the nustimulated heifers due to the small dominant follicles. Among 4 goups of heifers the most visible as well as OPU follicles were observed in the heifers at 60 hrs following treatment of a single dose of 400 mg FSH (21.2$\pm$2.3 and 21.0$\pm$2.0), and the differences in both the follicle counts between the groups was found significant (P<0.05) The rates of oocyte recovery from the follicles by ultrasound-guilded aspiration were varied 46.3 to 75.0% in the heifers unstimulated and treated with a single dose of 400 mg FSH, but the group difference was not significant. The number of recovered oocytes per session a, pp.ared to be highest at aspiration at 60 hrs following single FSH (10.6$\pm$2.2) than at aspiration at 48 hrs after single FSH (7.8$\pm$2.7) or in the unstimulated heifers (3.4$\pm$3.0). The proportion of grade I and II oocytes to all oocytes collected was varied 31.8 to 64.0% between the groups. However, there was found no significant difference in both the number of oocytes recovered per session and the percentage and the percentage of grade I and II oocytes. From the above results it was concluded that the more oocytes of superior quality might be recovered economically by ultrasound-guided aspiration at 60 hrs following the pretreatment of a single dose of 400 mg FSH and by suction using a vacuum pump system of about negative pressure of 75 to 85 mmHg.

• Proceedings of the Korean Society of Embryo Transfer Conference
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• 2002.11a
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• pp.87-87
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• 2002

초음파기기를 이용한 난포란의 채란 기술은 유전적으로 우수한 수정란의 다량확보가 가능함으로써 가축개량에 널리 응용할 수 있다. 그러나 초음파유도 난포란의 채란은 무엇보다도 회수율과 회수한 난포란의 질적 등급의 개선이 이루어져야 할 것이다. 본 연구는 등지방층두께, 일당증체량, 근내지방도 및 배최장근 단면적에 연관된 DNA marker가 검정된 한우로부터 FSH(FOLLTROPIN-V, Vetrepharm, Canada)를 투여하여 FSH 투여전.후의 포의 발달율과 등급별 회수율을 조사하였다. 공시동물의 발정주기에 관계없이 매주 무처리와 채란 12시간 전에 FSH를 각각 l00mg 과 200mg을 근육 주사하여 난포란의 채취를 유토하였다. 난소내 난포란의 채란은 SONOACE-600형 (Medison CO., 한국) 초음파기기를 사용하여 모니터 상에 검게 나타나는 난포를 17-gauge needle (Cook, Australia) 로써 70mmHg로 유지된 regulated vacuum pump를 이용하여 모두 채란하였으며, 소난포는 손가락 촉지를 이용하여 채란하였다. 난포의 크기는(large : $\geq$6mm, medium : 2-6mm, small $\leq$2mm) 무처리구에서 small(56.6%), medium(33.0%), large follicles(10.4%) 순으로 나타났으며, 전체 난포수는 106(8.2$\pm$3.6개) 였다. FSH 200mg 투여구에서는 medium(47.5%), small(32.5%), large follicles(20.0%) 순으로 나타났으며, 전체난포수는 40(10.0$\pm$2.2개) 였다. FSH l00mg 투여구에서는 medium(45.6%), small(43.5%), large follicles (10.9%) 순으로 나타났으며, 전체 난포는 92(7.7$\pm$2.5개) 였다. FSH 투여전 초음파 image 상으로 관찰한 난포수와 FSH 투여 후 초음파기기와 손가락 촉지를 이용하여 난포의 발달 및 난포란의 채란율은 200mg 투여 구에서는 투여 전에 4.3$\pm$0.6개였으나 투여 후에는 9.3$\pm$2.1개로 증가하였으며, 채란율은 75.0% 였다. l00mg 투여구에서도 투여 전후에 각각 5.3$\pm$1.2개 및 8.2$\pm$2.3개였으며, 채란율은 81.6%였다. 난포란의 채란율은 무처리구에서 88.7%(7.2$\pm$3.9개)로 나타났으며, 회수한 난포란의 등급은 각각 0.0%(GI), 5.3%(GII), 28.T%(GIII), 66.0%(GIV)로 나타났다. FSH 200mg 투여구의 채란율은 87.5%(8.8$\pm$2.6개)로 나타났으며, 등급별회수율은 GI(2.8%), GII(8.6%), GIII(34.3%), GIV(54.3%)으로 나타났다. 뿐만 아니라 FSH 100mg 투여구에서도 회수율은 89.1%(6.8$\pm$5.2개)였으며, 등급별 회수율은 각각 GI(8.5%), GII(13.4%), GIII(43.9%), GIV(34.2%)로 나타났다.