• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문집
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• pp.912-915
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• 2004

A vacuum environment is very important for NGL(Next Generation Lithography) apparatuses such as EUVL(Extreme Ultra Violet Lithography) or EPL(Electron Projection Lithography) and so on. The performance of these systems is dominated by vacuum level of processing and positioning accuracy of a stage. So, ultra-precision stage usable in a high vacuum level is needed for the improved performance of these devices. In contrast to atmospheric condition, a special attention must be paid to guide bearing, actuator and other elements. In this paper, air bearing is adopted because of its very high motional accuracy. So, air bearing is designed to be vacuum compatible using differential exhaust method, which prevents air from entering into vacuum chamber. For this, leakage analysis is performed theoretically and verified from experiment.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
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• 한국추진공학회 2011년도 제37회 추계학술대회논문집
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• pp.827-829
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• 2011

인공위성이나 우주발사체를 개발하기 위해서는 지상에서 우주환경 성능 시험이 필요하며 이를 위해서 고고도 환경을 모사할 수 있는 진공설비가 요구된다. 본 연구에서는 터보 분자 펌프를 이용하여 목표 진공도 $1.0{\times}10-6$ torr를 유지함으로써 200 km의 고도를 모사하기 위한 진공설비를 구축하고 터보 분자 펌프 장치를 구축하여 예비 진공도 성능 실험을 수행하고 보고하였다.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
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• 한국추진공학회 2007년도 제28회 춘계학술대회논문집
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• pp.49-52
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• 2007

마이크로 인공위성에 적용 가능한 마이크로 추력기를 개발하기 위해서는 우주환경을 모사할 수 있는 진공설비가 요구된다. 본 논문에서는 $10^{-5}$ torr의 진공도를 유지할 수 있는 진공설비를 구축하였고, 이 장비는 $100{\sim}120km$의 고도를 모사할 것으로 기대된다. 실제 장비운용에 앞서 사용할 펌프의 성능을 예측하고 저진공 펌프를 작동시켜 이론에 의한 예상 진공도와 실험을 통한 진공도를 비교 분석하였다.

• International Journal of Aeronautical and Space Sciences
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• 제11권1호
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• pp.26-30
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• 2010

The present paper studies the thermally-induced vibration phenomenon of the flexible space boom structure. In order to simulate the thermally-induced vibration phenomenon of the flexible thin boom structure of the spacecraft with the attached tip mass in space, the thermally-induced vibration including thermal flutter is experimentally investigated at various thermal environments using a heating lamp in vacuum chamber. In this experimental study, fluctuating characteristics, natural frequency and thermal strains of the thermally-induced vibration are parametrically investigated at various thermal environment conditions. Finally the thermally-induced vibration of the flexible boom structure of the orbiting earth satellite in solar radiation environment from the earth eclipse region including umbra and penumbra is simulated using the power control of the heating lamp in the vacuum chamber.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
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• 한국추진공학회 2007년도 제29회 추계학술대회논문집
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• pp.45-48
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• 2007

마이크로 인공위성에 적용 가능한 마이크로 추력기를 개발하기 위해서는 고고도 환경을 모사할 수 있는 진공설비가 요구된다. 본 논문에서는 $10^{-5}$ torr의 진공도를 유지할 수 있는 진공설비를 구축하였고, 이 장비는 100${/sim}$120 km의 고도를 모사할 것으로 기대된다. 장치 선정 및 실제 장치 구축 후 진공도 성능 실험을 수행하였고 저진공 펌프를 작동시켜 마이크로 노즐의 성능 실험을 수행, 결과를 비교 분석하였다.

• 한국분말재료학회지
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• 제22권1호
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• pp.32-38
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• 2015

The effect of heat treatment environment on the microstructure and properties of tantalum coating layer manufactured by kinetic spraying was examined. Heat treatments are conducted for one hour at $800^{\circ}C$, $900^{\circ}C$, and $1000^{\circ}C$ in two different environments of vacuum and Ar gas. Evaluation of microstructure and physical properties are conducted. High density ${\alpha}$-tantalum single phase coating layer with a porosity of 0.04% and hardness of 550 Hv can be obtained. As heat treatment temperature increases, porosity identically decreases regardless of heat treatment environment (vacuum and Ar gas). Hardness of heat treated coating layer especially in Ar gas environment deceases from 550 Hv to 490 Hv with increasing heat treatment temperature. That in vacuum environment deceases from 550 Hv to 530 Hv. The boundary between particles became vague as heat treatment temperature increases. Oxygen distribution of tantalum coating layer is minute after heat treatment in vacuum environment than Ar gas environment.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2005년도 제28회 학술발표회 초록집
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• pp.76-76
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• 2005

• 한국산업융합학회 논문집
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• 제25권5호
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• pp.835-842
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• 2022

In this study, the membrane degassing process of the sweep gas - vacuum combination type was proposed for ammonia wastewater treatment. The effect of pH, initial ammonia concentration and scale-up on ammonia degassing performance was investigated. As a result, as the pH and the initial ammonia concentration increased, the degassing permeate flux was improved. On the other hand, the ammonia mass transfer coefficient increased as the initial ammonia reduced, which seems to be due to the driving force of the sweep gas-vacuum combination type membrane degassing system proposed in this study. In addition, 80 mg NH₃/min of the ammonia degassing rate was achieved using a 6×28 inch size module. Better degassing performance is expected if consideration for maintaining vacuum pressure is involved in the scale-up design.

• 진공이야기
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• 제4권1호
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• pp.16-23
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• 2017

Recently, KSTAR, Korea's superconducting fusion energy research and development device, has succeeded in driving the high performance plasma for 70 seconds for the first time in the world. Continuous plasma operation technology is an essential factor for commercialization of fusion energy power generation. Therefore, this achievement is expected to play a major role in the research of fusion technology required for future fusion power plants. In order to operate the KSTAR, the discharge process in which the neutral gas is turned into the plasma should be preceded in the start-up (breakdown) phase of tokamak operation. This process essentially involves the vacuum environment in the tokamak device. KSTAR has successfully operated a vacuum pumping system to achieve the target level of the vacuum environment through a high temperature baking operation, a discharge cleaning process and boronization.

• 대한토목학회논문집
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• 제40권1호
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• pp.51-58
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• 2020

달 탐사에 대한 관심이 늘어나면서 인공월면토를 포함한 달 지상 환경 모사에 대한 연구가 진행되고 있다. 인공월면토를 포함하여 진공환경을 조성할 때 발생하는 문제점 중의 하나는 토양에서 나오는 탈 가스로 인해 고진공에 도달하는 시간이 길어진다는 것이다. 이러한 탈 가스의 대부분은 수분이며, 진공챔버에 넣기 전 인공월면토의 표면에 붙어있는 수분을 제거하는 전처리 과정을 수행한다면 고진공에 도달하는 시간을 상당히 줄일 수 있다. 기존의 토양 건조 방법을 사용하여 각 방법이 인공월면토의 수분제거에 얼마나 효과적인지 확인하였다. 드라이 오븐을 이용한 방법, 마이크로웨이브 오븐을 이용한 방법, 직접가열 건조하는 방법과 진공 오븐을 이용한 방법을 이용하여 인공월면토 시료의 건조 실험을 수행하였으며, 건조 실험의 결과를 제시하였다. 실험결과 드라이 오븐에서 110℃로 건조하는 방법과 마이크로웨이브 오븐을 이용한 건조 방법은 수분제거 효과가 충분하지 않았으며, 200℃ 이상에서 진공오븐을 이용한 방법과 직접 가열하는 방법은 수분제거 효과가 좋았다.