Effects of Inner Jet Injection on Particle Deposition in the Annular Modified Chemical Vapor Deposition Process Using Concentric Tubes (환상형원관을 사용하는 수정된 화학증착(MCVD)방법에서 내부 제트분사가 입자부착에 미치는 영향)
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- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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- v.18 no.1
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- pp.212-222
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- 1994