$TiO_2$ nanotubes fabricated in aqueous HF-based electrolytes have been generally grown only to about 500nm in length because of the strong dissolubility of HF acid. In this paper, ethylene glycol solution has been applied for increasing the length of the anodic $TiO_2$ nanotubes, and the growth behaviors of the nanotubes according to water contents has been investigated. Anodization of Ti in ethylene glycol + 1 wt% $NH_4F$ (EG solution) with water additions up to 10 wt% were carried out at the constant voltage of 20 V. The results show that a thin titanium oxide layer is formed in the initial stage and the nanotube structure grows underneath the initial layer. And the length of $TiO_2$ nanotubes decreases with the increasing water content in the solution. It can be ascribed to the locally acidified circumstance around the barrier layer inside the nanopore due to $H^+$ ion originated from water. The XPS for the nanotubes suggests that the spectra of Ti2p and O1s are the major chemical bonding states of the $TiO_2$, and those for F1s, N1s and C1s come from the compound of $(NH_4)_2TiF_6$.
Variations of the leakage current behaviors and interface potential barrier $({\Phi}_B)$ of rf-sputter deposited (Ba, Sr)$TiO_3$ (BST) thin films with thicknesses ranging from 20 nm to 150nm are investigated as a function of the thickness and bias voltages. The top and bottom electrodes are dc-sputter-deposited Pt films. ${\Phi}_B$ critically depends on the BST film deposition temperature, postannealing atmosphere and time after the annealing. The postannealing under $N_2$ atmosphere results in a high interface potential barrier height and low leakage current. Maintaining the BST capacitor in air for a long time reduces the ${\Phi}_B$ from about 2.4 eV to 1.6 eV due to the oxidation. ${\Phi}_B$ is not so dependent on the film thickness in this experimental range. The leakage conduction mechanism is very dependent on the BST film thickness; the 20 nm thick film shows tunneling current, 30 and 40 nm thick films show Shottky emission current.
Kim, Jaemin;Park, Jinsu;Yoon, Geonju;Cho, Jaehyun;Bae, Sangwoo;Kim, Jinseok;Kwon, Keewon;Lee, Youn-Jung;Yi, Junsin
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.33
no.1
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pp.6-9
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2020
Thin film transistors (TFTs) with large-area, high mobility, and high reliability are important factors for next-generation displays. In particular, thin transistors based on IGZO oxide semiconductors are being actively researched for this application. In this study, several methods for improving the reliability of a-IGZO TFTs by applying various materials on a passivation layer are investigated. In the literature, inorganic SiO2, TiO2, Al2O3, ZTSO, and organic CYTOP have been used for passivation. In the case of Al2O3, excellent stability is exhibited compared to the non-passivation TFT under the conditions of negative bias illumination stress (NBIS) for 3 wavelengths (R, G, B). When CYTOP passivation, SiO2 passivation, and non-passivation devices were compared under the same positive bias temperature stress (PBTS), the Vth shifts were 2.8 V, 3.3 V, and 4.5 V, respectively. The Vth shifts of TiO2 passivation and non-passivation devices under the same NBTS were -2.2 V and -3.8 V, respectively. It is expected that the presented results will form the basis for further research to improve the reliability of a-IGZO TFT.
Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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2017.05a
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pp.83-83
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2017
생체재료의 표면은 이식과 동시에 생체계면의 역할을 하게 되어, 일련의 생물학적 반응이 시작되고 진행되는 중요한 장소가 된다. 초기에 생체계면에서 일어나는 단백질 흡착이나 염증반응을 비롯한 생물학적 반응들은 궁극적으로 임플란트의 성패를 좌우할 만큼 중요하다. 골융합을 개선하기 위한 다른 방법으로 생체불활성의 타이타늄 (Ti)과 골조직의 능동적인 반응을 이루기 위해 생체활성 표면을 부여함으로서 계면에서의 골형성 반응을 증진시키는 방법이 이용된다. 생체불활성의 Ti과 Ti합금은 골조직과 직접적인 결합을 이루지 못하므로, 골조직과의 반응을 향상하기 위해 여러 종류의 생체활성 재료를 코팅하는 방법이 연구되어 왔고, 이 중 생체의 변화와 가장 유사한 하이드록시아파타이트 코팅이 가장 대중적인 방법으로 사용되었으며 이는 초기 골형성을 촉진하는 것으로 알려졌다. 치과용 임플란트의 표면형상과 화학조성이 골 융합에 영향을 미치는 가장 중요한 인자이므로 최근의 연구동향은 이들 두 가지 표면특성을 결합함으로서 결과적으로 최적의 골세포반응을 유도하고, 골융합 후 골조직과의 micromechanical interlocking에 의해 임플란트의 안정성에 중요한 역할을 하는 마이크론 단위의 표면조도와 표면 구조를 유지하면서, 부가적으로 골 조직 반응을 능동적으로 개선할 수 있는 생체활성 성분을 부여하여 골 융합에 상승효과를 이루기 위한 표면처리법에 관해 많은 연구가 요구되어지고 있다. 따라서 골을 구하는 원소인 망간과 실리콘으로 치환된 하이드록시아파타이트를 플라즈마 전해 산화법으로 코팅하여 세포와 잘 결합할 수 있는 표면을 제공함으로써 골 융합과 치유기간을 단축시킬 수 있을 것으로 사료된다. 실험방법은 시편은 치과 임플란트 제작 합금인 Ti-6Al-4V ELI disk (grade 5, Timet Co., USA; diameter, 10 mm, thickness, 3 mm)이며, calcium acetate monohydrate, calcium glycerophosphate, manganese(II) acetate tetrahydrate, sodium metasilicate을 설계조건에 따라 혼합 제조된 전해질 용액을 이용하여 플라즈마 전해 산화법으로 표면 코팅을 실시하였다. 각 시편의 플라즈마 전해시 전압은 280V로 인가하였고, 전류밀도는 70mA로 정전류를 공급하여 해당 인가전압 도달 후 3분 동안 정전압 방식을 유지하였다. 코팅된 피막 표면을 주사전자현미경과 X-선 회절분석을 통하여 미세구조 및 결정상을 관찰하였다. 또한 코팅된 표면의 생체활성 평가는 정량적으로 평가하기 위해 동전위시험과 AC 임피던스를 통하여 시행하였다. 분극거동을 확인하기 위해 potentiostat (Model PARSTAT 2273, EG&G, USA)을 이용하여 구강 내 환경과 유사한 $36.5{\pm}1^{\circ}C$의 0.9 wt.% NaCl에서 실시하였다. 전기화학적 부식 거동은 potentiodynamic 방법으로 조사하였고 인가전위는 -1500 mV에서 2000 mV까지 분당 1.67 mV/min 의 주사속도로 인가하여 시험을 수행하였다. 임피던스 측정은 potentiostat (Model PARSTAT 2273, EG&G, USA)을 이용하였으며, 측정에 사용한 주파수 영역은 10mHz ~ 100kHz 까지의 범위로 하여 조사하였고 ZSimWin(Princeton applied Research, USA) 소프트웨어를 사용하여 용액의 저항, 분극 저항 값을 산출하였다. 망간의 함량이 증가할수록 불규칙한 기공을 보였으며, 실리콘은 $TiO_2$ 산화막 형성을 저해하는 경향을 확인할 수 있었다. 단독으로 표면을 처리한 경우보다 두 가지 원소를 이용해 복합 표면처리를 시행한 경우가 내식성이 좋아 임플란트과의 골 유착에 긍정적인 영향을 미칠 것으로 사료된다.
Purpose: The present study was to determine the stress distribution of an abutment screw according to implant abutment material. Methods: This study was a tightening torque 10 Ncm, 20 Ncm, set to 30 Ncm, and a titanium alloy (Ti-6Al-4V), PEEK (polyetheretherketone), Endoligns (60% Carbon Fiber Reinforced PEEK) material of the custom abutment titanium alloy (Ti-6Al-4V) the stress distribution in the material of the abutment screw will be evaluated by the finite element analysis. Results: Abutment screw most stress has been concentrated on the interface between the fixture and the abutment was also part of the interface that the threads are started. Depending on the abutment of the abutment screw Material von Mises stress values are shown differently. 10Ncm T10 under the tightening torque of 294.2 MPa, P10 is 562.8 MPa, appeared to E10 is 295.8 MPa, 20Ncm tightening torque under T20 is 581.1 MPa, P20 is 1125 MPa, E20 was shown to 585.1 MPa, 30Ncm tightening torque under T30 is 918.2 MPa, P30 is 1795 MPa, E30 has appeared 925.1 MPa. Conclusion: If the abutment is used as Endoligns, it was confirmed that the abutment screw exhibits of von Mises stress value is similar to the titanium alloy abutment.
Chang Ho Jung;Suh Kwang Jong;Suh Kang Mo;Park Ji Ho;Kim Yong Tae;Chang Young Chul
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.12
no.1
s.34
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pp.21-26
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2005
The field effect transistors (FETs) were fabricated ell $Y_2O_3/Si(100)$ substrates by the conventional memory processes and sol-gel process using $(Bi,La)Ti_3O_{12}(BLT)$ ferroelectric gate materials. The remnant polarization ($2Pr = Pr^+-Pr^-$) int Pt/BLT/Pt/Si capacitors increased from $22 {\mu}C/cm^2$ to $30{\mu}C/ cm^2$ at 5V as the annealing temperature increased from $700^{\circ}C$ to $750^{\circ}C$. There was no drastic degradation in the polarization values after applying the retention read pulse for $10^{5.5}$ seconds. The capacitance-voltage data of $Pt/BLT/Y_2O_3/Si$ capacitors at 5V input voltage showed that the memory window voltage decreased from 1.4V to 0.6V as the annealing temperature increased from $700^{\circ}C$ to $750^{\circ}C$. The leakage current of the $Pt/BLT/Y_2O_3/Si$ capacitors annealed at $750^{\circ}C$ was about $510^{-8}A/cm^2$ at 5V. From the drain currents versus gate voltages ($V_G$) for $Pt/BLT/Y_2O_3/Si(100)$ FET devices, the memory window voltages increased from 0.3V to 0.8V with increasing tile $V_G$ from 3V to 5V.
The study of the thickness dependence of the electron energy structure of Fe, Ni, Ti and Zr sublayers in Ni/Ti and Fe/Zr multilayers by using the experimental and computer simulated optical spectroscopy has been performed. A series of Ni/Ti and Fe/Ze multiayered films (MLF) with a bilayer period of 0.5 - 30 nm and constant (Ni/Ti) / different (Fe/Zr) sublayer thickness ratios were prepared by using computer-controlled double-pair target face-to-face sputtering onto a glass substrate at room temperature (RT) Computer simulation of the resulting optical properties of these MLF was carried out by solving of multireflection problem with a matrix method assuming either "sharp" interfaces resulting in rectangular depth profiles of the components or "mixed" (alloy-like) interfaces of variable thickness between pure-metal sublayers. Optical constants of pure bulk metals as well as equiatomic alloy interfaces were employed in these simulations. It was shown that the difference between experimental and simulated optical properties of the investigated MLF increases with decrease in sublayer thickness. This result allows to conclude that the electronic structures of sublayers below 4-5 nm thickness in mlf differ from the corresponding bulk metals.ponding bulk metals.
Liu, Xianghuai;Zhang, Feng;Zheng, Zhihong;Huang, Nan
Journal of the Korean Vacuum Society
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v.6
no.S1
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pp.1-15
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1997
Titanium oxide films were prepared by ion beam enhanced deposition where the films were synthesized by deposition titianium atoms and simultaneously bombarding with xenon ion beam at an energy of 40 keV in an $O_2$ environ,ent. Structure and composition of titanium oxide films were investigated by X-ray Doffractopm (XRD) Ritjerfprd Backscattering Spectroscopy (RBS) and X-ray Diffraction(XRD) Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) The results show that thestructure of the prepared films exhibit a rutile phase structure wit high(200) orientation and the O/Ti ratio of the titanium oxide films was about 2:1 XPS anlysis shows that $Ti^{2+},Ti^{3+}\;and\;Ti^{4+}$ chemical states exist on the titanium oxide films. the blood compatibility of the titanium oxide films was studied by measurements of blood clotting time and platelet adhesion. The results show that the anticoagulation property of titanium oxide films improved significantly and better than that of LTI-carbon which was widely used to fabricate artificial heart valve.
$(Pb_{1-x}La_x)Ti_{1-x/4}O_3$ (x=0, 0.02, 0.04, 0.06, 0.08) ceramic thin films were fabricated by Sol-Gel method. A stock solution of (Pb,La)$TiO_3$ with excess Pb 10mol% was made and spin-coated on the Pt/Ti/$SiO_2$/Si substrate at 4000rpm for 30 seconds. Coated specimens were dried on the hot-plate at $350^{\circ}C$ for 10 min and sintered at $500{\sim}750^{\circ}C$ for 1 hour. The dielectric constant, remanent polarization and coercive field of the PLT(6 at.%) thin films sintered at $650^{\circ}C$ were 884, $13.95{\mu}C/cm^2$ and 8.7kV/cm, respectively. Pyroelectric coefficient, figure of merit of pyroelectric current, voltage responsivity and detectivity of PLT(6at.%) thin films were $3.2{\times}10^{-8}\;C/cm^2K$, $1.02{\times}10^{-8}\;C{\cdot}cm/J$, $2.9{\times}10^{-11}\;C{\cdot}cm/J$, $0.29{\times}10^{-8}\;C{\cdot}cm/J$, respectively.
Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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v.2
no.2
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pp.170-176
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1998
The team mixed PbO, $ZrO_2$, $TiO_2$, $Nb_2O_5$ and $MnCO_3$, to make $Pb[(Zr_{0.54}\;Ti_{0.46})\;Nb_{0.005}]O_3+4%MnCO_3$. The electroded PZT ceramics were poled by 3 kV/mm at $110^{\circ}C$ for 600 s. We assembled the 0.4mm thick PZT slices into ultrasonic transducers. Central frequency of the probe is 5 MHz, which is proper to the thickness gauge for steel pipes and for flaw detector. The probe can detect a disk shape defect of 1mm diameter at 15cm deep in steel block. The new probe's Fresnel zone that the ultrasonic beam do not broaden is 13mm. Over the Fresnel zone, the ultrasonic beam spreads. Half of the beam spread angle of the probe is $4.3^{\circ}-4.6^{\circ}$. This probe can be used for the ultrasonic transducers for non-destructive testing of steel bridges.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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