Si 기판에 주입된 $BF_2$ 불순물이 Ti silieides 형성에 미치는 영향
(Effects of Implanted $BF_2$ on the Formation of Ti-Silicides)
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- 대한전자공학회논문지
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- 제27권12호
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- pp.1852-1858
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- 1990