• Title/Summary/Keyword: TIO

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선형대향타겟 스퍼터를 이용하여 성막시킨 InSnTiO 박막의 특성 연구

  • Sin, Hae-In;Kim, Han-Gi
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.245-245
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    • 2016
  • 본 연구에서는 선형 대향 타겟 스퍼터 (Linear Facing Target Sputtering: LFTS) 시스템을 이용하여 ITO와 Ti doped $In_2O_3$ (TIO) 타겟을 Co-sputtering한 InSnTiO 투명 전극의 전기적, 광학적 특성을 연구하였다. InSnTiO 투명전극의 전기/광학적 및 구조적 특성은 Hall measurement, UV/Vis spectrometry, X-ray Diffraciton 분석법을 통해 최적화 하였고, DC power, substrate to target distance (TSD), target to target distance (TTD), ambient treatment 변수 조절을 통해 최적화된 LFTS InSnTiO 투명전극을 제작하였다. LFTS 공정을 이용한 InSnTiO 투명전극의 성막 공정 중 DC파워와 공정압력 변화에 따른 구조적, 표면적 특성 변화는 Field-Emission Scanning Electron Microscopy (FE-SEM) 과 X-ray Diffractometer (XRD) 분석을 통해 관찰하였다. 이렇게 증착된 InSnTiO 투명전극은 급속열처리 시스템으로 (Rapid Thermal Annealing system) 후열처리를 진행하여 투과도의 향상과 면저항의 감소를 확인하였다. 본 연구에서는 다양한 분석을 통해 Co-sputtering한 InSnTiO 박막의 특성과 다양한 장점을 소개한다.

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A Study on Photocatalytic Degradation Properties by Oxygen Partial Pressure for Tio2Thin Films Fabricated by DC Magnetron Sputtering (DC 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 Tio2 박막의 산소분압비에 따른 광분해 특성에 관한 연구)

  • Jeong, W.J.;Park, J.Y.;Park, G.C.
    • Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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    • v.18 no.3
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    • pp.226-230
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    • 2005
  • This paper describes the photocatalytic degradation properties by oxygen partial pressure for TiO$_2$ thin films fabricated by dc magnetron reactive sputtering. And the structural, chemical, optical and photocatalytic properties were investigated at various analysis system. When TiO$_2$ thin film was made at deposition time of 120 min and Ar:O$_2$ ratio of 60:40, the best properties were obtained. That results were as follows: thickness; 360∼370 nm, gram size; 40 nm, optical energy band gap; 3.4 eV and Benzene conversion in the photocatalytic degradation; 11 %.

Microwave Dielectric Properties of BaO-$(Nd,\;Bi)_2O_3-Tio_2$ Ceramic for Microwave Resonators (고주파 공진기용 BaO-$(Nd,\;Bi)_2O_3-Tio_2$계 세라믹스의 마이크로파 유전특성)

  • Yoon, Jung-Rag;Lee, Heun-Yong
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 1997.11a
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    • pp.320-323
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    • 1997
  • The microwave dielectric properties of X Ba0-$0.15(Nd_{0.87}Bi_{0.13})_2O_3$-(0.85-X) $TiO_2$ ($X=0.13{\sim}0.17$) and 0.16Ba0-$0.15(Bi_xNd_{1-x})_2O_3-0.69TiO_2$ ($X=0.10{\sim}0.16$) ceramics were investigated. Dielectric constant, quality factor and temperature coefficient of resonant frequency of 0.16Ba0-$0.15(Nd_{0.87}Bi_{0.13})_2O_3-0.69TiO_2$ ceramics sintered at $1320^{\circ}C$ for 2 hours were 89.2, 1920(at 4GHz) and 5.2ppm/$^{\circ}C$, respectively.

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The Characteristics of the Chungja Celadon the Amount of BaTio3 (BaTio3 조성비 변화에 따른 청자소지물질의 특성)

  • Yun, Mi-Young;Kim, Yeon-Jung;Ja, Lim-Hun
    • Journal of the Korean institute of surface engineering
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    • v.45 no.1
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    • pp.31-36
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    • 2012
  • In order to improve the mechanical roperties of the Gangjin celadon $BaTiO_3$ was added into the raw materials of celadon matrix. Through SEM and XRD analysis the structural changes were observed and the hardness values were measured. We could confirm that the mechanical strength considerably increased in the $BaTiO_3$ added celadon through the measurement of hardness values. The increase of mechanical strength values in the celadon may result from the compositional change in the microstructure such as grain boundary area through EDAX analysis. We might suggest a fundamental idea to improve the mechanical intensity of the celadon.

균일막 형성을 위한 항공기 부품용 타이타늄의 양극산화 최적 공정

  • Lee, Da-Yeong;Han, A-Yeong;Jeong, Na-Gyeom;Choe, Jin-Seop
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.66.2-66.2
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    • 2018
  • 금속의 양극산화 공정(anodizing)은 전해질 내 금속에 인위적으로 전위를 가해 금속 표면에 얇은 산화막(oxide layer)을 형성하여 금속의 내식성, 내마모성을 증가시키는 공정이다. 타이타늄은 가볍고 단단하여 산업분야에 유용하게 사용되며 이와 같은 양극산화 공정을 통해 내식성, 내마모성을 크게 높일 수 있다. 본 연구에서는 항공기 부품용 타이타늄의 최적 양극산화 조건을 찾기 위해 전압의 파형, 전해액의 조성에 따라 양극산화 실험을 진행하였다. SEM, AFM, EDS, 분광측색계, 색채색차계 등을 이용하여 각 조건에 해당하는 타이타늄의 산화막($Tio_2$)의 두께, crack 형태, pore 형태, 균일도, 표면 조도, 내전압, 색 수치를 분석하였다. 그 결과 전압 DC 140 V, 주성분이 KOH $Na_3PO_4{\cdot}12H_2O$인 전해액으로 이루어진 양극산화 조건에서 가장 균일하고 색 재현성이 우수한 타이타늄의 산화막($Tio_2$)을 형성하였다.

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