Si(100)기판 위에 증착된$CeO_2$ (200)박막과 $CeO_2$ (111) 박막의 전기적 특성 비교
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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- pp.67-67
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- 2000