• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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• pp.145-145
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• 2008

High-k materials have been paid much more attention for their characteristics with high permittivity to reduce the leakage current through the scaled gate oxide. Among the high-k materials, $ZrO_2$ is one of the most attractive ones combing such favorable properties as a high dielectric constant (k= 20 ~ 25), wide band gap (5 ~ 7 eV) as well as a close thermal expansion coefficient with Si that results in good thermal stability of the $ZrO_2$/Si structure. During the etching process, plasma etching has been widely used to define fine-line patterns, selectively remove materials over topography, planarize surfaces, and trip photoresist. About the high-k materials etching, the relation between the etch characteristics of high-k dielectric materials and plasma properties is required to be studied more to match standard processing procedure with low damaged removal process. Among several etching techniques, we chose the inductively coupled plasma (ICP) for high-density plasma, easy control of ion energy and flux, low ownership and simple structure. And the $BCl_3$ was included in the gas due to the effective extraction of oxygen in the form of $BCl_xO_y$ compounds. During the etching process, the wafer surface temperature is an important parameter, until now, there is less study on temperature parameter. In this study, the etch mechanism of $ZrO_2$ thin film was investigated in function of $Cl_2$ addition to $BCl_3$/Ar gas mixture ratio, RF power and DC-bias power based on substrate temperature increased from $10^{\circ}C$ to $80^{\circ}C$. The variations of relative volume densities for the particles were measured with optical emission spectroscopy (OES). The surface imagination was measured by scanning emission spectroscope (SEM). The chemical state of film was investigated using energy dispersive X-ray (EDX).

• 대한핵의학회지
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• 제33권2호
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• pp.163-171
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• 1999

목적 : 혈관 재협착을 막기 위하여 풍선에 용액 형태의 베타 방출 핵종을 넣어 사용하는 방법이 연구되고 있다. 이 연구에서는 Re-188-DTPA를 풍선에 넣어 사용하는 경우 주위 혈관에 대한 에너지 분포와 용액이 풍선에서 누출되는 경우 주요 장기와 전신에의 흡수 선량을 계산하였다. 대상 및 방법: 전자와 광자의 물에서의 운반은 몬테카를로 EGS4 코드를 사용하였으며 풍선은 직경 3 mm, 길이 20 mm의 원기둥으로 대체하였다. 개에게 Re-188-DTPA 370MBq를 주사하여 감마카메라로 영상을 얻어 주요장기의 잔류 시간을 구하였고 전신과 주요 장기에의 흡수 선량은 MIRDOSE3와 ICRP Dynamic Bladder모델을 사용하여 계산하였다. 결과: 3,700 MBq/1ml을 100초 동안 조사하였을 때 풍선 표면에 전달된 에너지는 17.6 Gy, 표면으로부터 0.5 mm 떨어진 곳에서 9.5 Gy이었다. 풍선에서 용액이 누출되었을 경우 전신에 0.005 mGy/MBq, 방광에 2.39 mGy/MBq의 흡수 선량이 전달되었다. 결론: 관상동맥 풍선 성형술용 풍선에 Re-188-DTPA를 주입하여 사용하는 방법이 목표선량을 조사하는 데 적절하고 방사선 안전의 관점에서 사용 가능한 방법이라고 생각한다.

• 한국지반공학회논문집
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• 제34권7호
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• pp.17-27
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• 2018

싱크홀은 세계 여러 곳곳에서 발생하고 있으며, 사람들의 안전이 심각히 우려가 되고 있다. 특히, 도시의 발달로 인하여 지하공간 개발은 필수적이며, 지하공간 개발시 다양한 조건에 의해 지반함몰은 발생할 수 있다. 지반함몰은 지반을 이루고 있는 흙이 지중에서 어떤 인위적인 원인에 의해서 유실되어 지표면이 푹 꺼지는 현상을 의미한다. 지반함몰 현상은 상하수도관의 누수, 지하수 교란 등과 같은 인위적인 원인으로 일어나는 것으로 석회암질 기반암상의 지반에서 석회암이 녹아서 생긴 공동으로 지표면이 푹 꺼지는 싱크홀 현상과는 원인이 다르다. 최근 대한민국 도심지에서 지하개발이 이루어지는 과정에서 주변 건물에 피해를 주어 이에 대한 민원 및 보상 문제로 어려움을 겪는 경우가 빈번하게 나타나고 있으며, 일부 건물이 붕괴하여 인명 및 재산에 많은 손실을 가져오고 있다. 이에 중앙정부에서는 지하안전관리에 관한 특별법을 제정하여 2018년 1월 1일부터 시행되고 있다. 이 법의 주요내용은 일정한 규모 이상의 지하 굴착공사를 수반하는 사업에 대하여 지하안전영향평가등을 실시하고, 지하시설물 및 주변 지반에 대하여 안전점검을 정기적으로 시행하여 지하안전을 확보하기 위한 지하안전관리체계를 규정하였다. 본 연구에서는 지하안전관리에 관한 특별법의 내용을 살펴보고, 선제적 지하안전관리 대비 및 대응체계 마련하기 위한 지하안전정책의 발전방향을 제시하였다.

• Restorative Dentistry and Endodontics
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• 제26권4호
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• pp.307-315
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• 2001

The application of Nd:YAG laser and irrigants to the root surface can change its surface configurations. The purpose of this study was to investigate the effects of Nd:YAG laser and irrigants on the apical seal of obturated canals. In this study, 66 single rooted teeth were randomly assigned to 4 group of 14 teeth each. 8 teeth were served us positive and negative controls. The teeth were divided into 6 groups as follows. Group A: Nd:YAG laser, 5% NaOCl + Rc-prep Group B: Nd:YAG laser, Saline Group C: 5% NaOCl + Rc-prep Group D: Saline Group E: Positive control Group F: Negative control 66 teeth were instrumented using Maillefer ProFile$^{\circledR}$ (Orifice Shapers, .04 taper, .06 taper Dentsply, Switzerland). Two of each group were selected at random, and the canal wall surfaces were examined under a SEM. 12 teeth of each group were obturated using by lateral condensation technique. Specimens were immersed in india ink for 7days, decalcified by 10% nitric acid, dehydrated by 75. 80. 85, 90, 95 and 100% alcohol in order cleared by methyl salicylate and then measured of dye penetration with stereomicroscope($\times$15 magnification) and Image Pro plus. The data were analyzed statistically by one-way ANOVA test and Duncan's Multiple Range test. The results were as follows : 1. The mean leakage was 0.128$\pm$0.376 for group A, 0.237$\pm$0.325 for group B, 0.397$\pm$0.468 for group C, 0.586$\pm$0.402 for group D, and there were statistically significant differences between group A and group D, group B and group D. (p<0.05). 2. Group A had better sealing ability than Group C, but there was statistically no significant differences. (p>0.05). 3. Group B had better sealing ability than Group D and there was statistically significant difference. (p<0.05). 4 Group A had better sealing ability than Group B, but there was statistically no significant difference. (p>0.05). 5. Group C had better sealing ability than Group D, but there was statistically no significant difference. (p>0.05). 6. As a result of observation under SEM, Smear layers were removed in Group A, B. but Smear layers were partially removed and smear plugs were remained in Group C, Smear layers were not removed in Group D. To be specially, Melting of smear layer were showed in Group C. 7. These results suggests that the laser has a potential in reducing the apical microleakage of obturated canals.

• 전자공학회논문지SC
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• 제39권6호
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• pp.42-48
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• 2002

다목적 방사선 조사장치의 설계, 제작 및 성능검사에 대해 기술하였다. 세슘-137을 사용한 다목적 방사선조사장치는 생물학에서 저선량 방사선에 대한 영향연구, 혹은 TLD(Thermo Luminescent dosimeter)의 교정을 위해 사용되어진다. 본 조사장치는 방사선 동위원소를 안전한곳에 저장하고 있다가 방사선조사시에만 조사실로 180도 회전하여 설정된 시간만큼 시료에 방사선 조사가 이루어 진 후, 사용이 끝나면 다시 차폐된 저장위치로 복귀하게된다. 제어시스템은 PLC 기반으로 구축하여 저선량율 조사장치의 시제품을 제작하였으며, 또한 컴퓨터를 통해 방사선 조사장치의 제어 및 세부 동작 상태 등을 실시간 검색, 원격제어 및 관리 할 수 있는 종합 관리 프로그램을 개발하였다. 조사실 내부 구성은 시료의 종류에 따라 최대 20RPM까지 다양하게 회전하면서 균일 조사될 수 있도록 조사실 및 챔버를 설계 제작하였으며, 조사실내 넣을 수 있는 조사체 최대 용량은 4.5리터이다. 조사실내의 방사선량의 분포도는 가프크로믹 필름을 사용하여 측정한 결과 2Ci 범위내에서 세슘-137의 경우 공기중에서 0.13cGy/min이었고 일반 물질과 등가인 물에서는 0.11cGy/min로 나타났으며, 오차는 약 ${\pm}$7%의 한도내에서 균일한 분포를 보였다. 또한 실제 누설선량은 조사실 밖 표면에서 최대 0.35mR/hr이였으며 1m 떨어진곳에서는 최대 0.03mR/hr로 허용치 이내였다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제51권3호
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• pp.308-312
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• 2013

NaOH 화학적 활성화법을 사용하여 야자각 차로부터 고 비표면적과 미세기공이 발달된 활성탄을 제조하였다. 활성탄제조 공정은 탄화과정에서 활성화 약품과 야자각 차의 비율과 불활성 기체 유량과 같은 실험변수들을 분석함으로서 수행되었다. 이와 같은 NaOH 화학적 활성화에 의한 2,481 $m^2/g$의 고 비표면적과 2.32 nm의 평균 기공크기를 갖는 활성탄이 얻어졌다. 양극으로 $LiMn_2O_4$, $LiCoO_2$와 음극으로 제조된 활성탄을 사용하여 하이브리드 커패시터의 전기화학적 성능을 조사하였다. $LiPF_6$, $TEABF_4$의 유기 전해질을 사용한 하이브리드 커패시터의 전기화학적 거동은 정전류 충방전, 순환 전류 전압법, 사이클과 누설전류 테스트에 의해 특성화 되었다. $LiMn_2O_4$/AC 전극을 사용한 하이브리드 커패시터가 다른 하이브리드 시스템 보다 더 좋은 충방전 성능을 보였으며, 출력밀도 1,448 W/kg와 131 Wh/kg의 고 에너지 밀도를 전달할 수 있다.

• Journal of Chest Surgery
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• 제2권2호
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• pp.167-167
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• 1969

Two groups of esophagus graft were done in canine esophagus in 34 adult mongrel dogs. For the first group segmental replacement graft was done with fresh autologous pericardium tube, and for the second, patch graft was done utilizing fresh autologous pericardium, fresh homologous pericardium,and dacron piece. All eight dogs in the first segmental replacement graft group died 2 to 5 days after operation with severe empyema caused by anastomosis disruption. Among 26 patch graft dogs 2 died during operation and 7 died 13 to 18 days after operation. For the 17 long-term patch grafted survivors esophagography and postoperative weight check were done. Postoperative stool was collected and examined for dacron patch excretion. One, two, three, and four months postoperative long-term survivors were sacrificed to obtain specimens in each group respectively and the following observations were made.I. Survival; Autologous pericardium patch group showed no mortality but in homologous pericardium and dacron patch group only two thirds were long-term survivors. II. Postoperative swallowing; There was no case which demonstrated postoperative dysphagia. About half of the cases showed postoperative weight increase and in only 3 cases weight decrease followed operation. III. Dacron patch was excreted in the stool 8 to 23 days after operation. Animals which excreted dacron patch up to 9 days after operation all died of empyema due to anastomosis disruption.IV. Postoperative esophagogram; All esophagograms in each group showed no leakage of barium, no passage disturbances and no remarkable stenotic signs.V. Morphological findings; [A] Macroscopical findings; In one month group specimens of each group dense adhesion with surrounding structures was noted and luminal surface was smooth with contraction of the patched area. In two month groups anastomosis sutures were still exposed but patched area showed lesser abnormality. In three to four months groups sutures were covered completely and patched area showed only very slight signs of contraction. [B] Microscopic findings; In one month group luminal surface of the replaced tissue [transplanted tissue] showed almost complete epithelial covering that is composed of several layers of squamous cells with no evidence of keratinization. Basement membrane was also well distinct throughout. Slight to minimal inflammatory cells comprising of large mononuclears, lymphocytes and plasma cells were observed in the subepithelial fibrous stroma consisted entirely of loose fibrous tissue containing many newly formed capillaries and fibroblastic proliferation. Scattered suture granulomas were found, few of which became acutely inflamed. In two months group repairing process progressed with lesser degree of inflammatory cell infiltration and young capillary proliferation. Fibrous tissue was more matured showing even focal collagenization.Suture granuloma persisted but with lesser reactive changes. Epithelial covering was that of a mature non-keratinizing stratified squamous epithelium. In three and four months groups the replaced area showed essentially similar histological findings. However, subepithelial stroma still consisted entirely of connective tissue without evidence of smooth muscle regeneration. In this group, inflammatory cell infiltration was minimal or negligible. Among these patch materials autologous pericardium group showed the most satisfactory repairing process.The above mentioned results may signify the feasibility of autogenous pericardium patch graft in clinical esophageal surgery.

• Journal of Chest Surgery
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• 제2권2호
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• pp.168-186
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• 1969

Two groups of esophagus graft were done in canine esophagus in 34 adult mongrel dogs. For the first group segmental replacement graft was done with fresh autologous pericardium tube, and for the second, patch graft was done utilizing fresh autologous pericardium, fresh homologous pericardium,and dacron piece. All eight dogs in the first segmental replacement graft group died 2 to 5 days after operation with severe empyema caused by anastomosis disruption. Among 26 patch graft dogs 2 died during operation and 7 died 13 to 18 days after operation. For the 17 long-term patch grafted survivors esophagography and postoperative weight check were done. Postoperative stool was collected and examined for dacron patch excretion. One, two, three, and four months postoperative long-term survivors were sacrificed to obtain specimens in each group respectively and the following observations were made. I. Survival; Autologous pericardium patch group showed no mortality but in homologous pericardium and dacron patch group only two thirds were long-term survivors. II. Postoperative swallowing; There was no case which demonstrated postoperative dysphagia. About half of the cases showed postoperative weight increase and in only 3 cases weight decrease followed operation. III. Dacron patch was excreted in the stool 8 to 23 days after operation. Animals which excreted dacron patch up to 9 days after operation all died of empyema due to anastomosis disruption. IV. Postoperative esophagogram; All esophagograms in each group showed no leakage of barium, no passage disturbances and no remarkable stenotic signs. V. Morphological findings; [A] Macroscopical findings; In one month group specimens of each group dense adhesion with surrounding structures was noted and luminal surface was smooth with contraction of the patched area. In two month groups anastomosis sutures were still exposed but patched area showed lesser abnormality. In three to four months groups sutures were covered completely and patched area showed only very slight signs of contraction. [B] Microscopic findings; In one month group luminal surface of the replaced tissue [transplanted tissue] showed almost complete epithelial covering that is composed of several layers of squamous cells with no evidence of keratinization. Basement membrane was also well distinct throughout. Slight to minimal inflammatory cells comprising of large mononuclears, lymphocytes and plasma cells were observed in the subepithelial fibrous stroma consisted entirely of loose fibrous tissue containing many newly formed capillaries and fibroblastic proliferation. Scattered suture granulomas were found, few of which became acutely inflamed. In two months group repairing process progressed with lesser degree of inflammatory cell infiltration and young capillary proliferation. Fibrous tissue was more matured showing even focal collagenization. Suture granuloma persisted but with lesser reactive changes. Epithelial covering was that of a mature non-keratinizing stratified squamous epithelium. In three and four months groups the replaced area showed essentially similar histological findings. However, subepithelial stroma still consisted entirely of connective tissue without evidence of smooth muscle regeneration. In this group, inflammatory cell infiltration was minimal or negligible. Among these patch materials autologous pericardium group showed the most satisfactory repairing process. The above mentioned results may signify the feasibility of autogenous pericardium patch graft in clinical esophageal surgery.

• 지질공학
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• 제29권2호
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• pp.99-112
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• 2019

강수가 불포화대를 통해 침투하는데 관여되는 요소는 지형, 지질, 토성, 강우강도, 기온, 식생 등의 영향을 복합적으로 받으므로 실제 발생하는 침투현상은 시 공간적으로 큰 차이를 보인다. 토양의 침투능력은 지하수의 함양량 및 지표수의 이동 유출을 파악하는데 중요한 인자이고, 특정 유역 또는 지역에 따른 토성과 지질의 유형 및 토지이용형태에 따라 침투능이 다르게 나타난다. 본 연구에서는 제주도 중산간 지역인 EL. 50~300 m 임야 및 농경지를 대상으로 강우가 토양을 통해 지하수로 함양되는 중산간 지역에서 토양침투시험을 실시하였으며, 분석결과를 이용하여 Jeong et al. (1995) 및 NAS (2007)가 제시한 4개의 토양군에 따른 투수성을 분석한 결과 NAS (2007) 분류법이 제주도 중산간 지역에서는 신뢰성이 높은 것으로 분석되었다. 본 연구에서 제주도 중산간 전 지역에 대한 토양별 침투실험을 실시하여 기존의 분류 방법과 비교, 검토함으로서, 향후 제주도의 지표 함양량 평가, 수리특성 평가 시 참고 지침이 될 것으로 기대한다.

• 박물관보존과학
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• 제25권
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• pp.1-8
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• 2021

국립중앙박물관 소장품 청화백자투각연당초팔괘문연적(수정147)을 대상으로 CT 조사를 실시하고 복제품을 제작하여 구조와 제작방법에 대해 살펴보았다. CT 조사를 실시한 결과, 접합선이나 기공이 없는 것으로 보아 하부 동체부 틀을 사용하여 한 번에 찍어 빼낸 후 상부 틀로 찍어 뽑아낸 상부 뚜껑을 서로 접합하였음을 알게 되었다. 특히 하부 동체부의 내기 상면과 연접한 뚜껑 하단면이 서로 접합이 잘 되도록 내면 가운데를 대나무 칼로 거칠게 돌려 깎아 접합면이 누수 되지 않도록 처리하였다. 처음 제작할 당시 물을 담는 연적의 내기(內器)는 도량형 규격에 맞고 틀을 뽑아내기에도 용이한 원통형(圓筒形)으로 만들었을 것으로 짐작되나 상부면과 동체부를 붙이는 과정에서 형태가 사다리꼴로 변형되었을 것으로 여겨진다. 또한 실리콘 복제를 이용하여 원통형 내기로 다시 제작한 후 내기의 용량을 비교 측정한 결과, 3D프린팅을 이용해 복제한 유물 내기의 용량이 152.5㎖인데 반해 원통형 내기의 용량은 대략 168.6㎖로 조선시대 도량형 기준인 '량(量)'의 단위로 3홉(약 174㎖)과 유사하다는 것을 확인 할 수 있었다. 원통형 내기의 용량이 조선 후기 도량형 기준과 부합하므로 실제 도공이 팔괘문연적을 제작할 당시 원통형내기를 가진 연적으로 제작하였을 것으로 생각된다.