CST 승화법을 이용한 p-type 4H-SiC(0001) 에픽텍셜층 성장과 이를 이용한 MESFET 소자의 전기적 특성 (Epitaxial Layer Growth of p-type 4H-SiC(0001) by the CST Method and Electrical Properties of MESFET Devices with Epitaxially Grown Layers)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제20권12호
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- pp.1056-1061
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- 2007