Ultra-thin gate oxide in MOS devices are subjected to high-field stress during device operation, which degrades the oxide and exentually causes dielectric breakdown. In this paper, we investigate the electrical properties of ultra-thin nitrided oxide (NO) and reoxidized nitrided oxide(ONO) films that are considered to be promising candidates for replacing conventional silicon dioxide film in ULSI level integration. We study vriations of I-V characteristics due to F-N tunneling, and time-dependent dielectric breakdown (TDDB) of thin layer NO and ONO depending on nitridation and reoxidation condition, and compare with thermal $SiO_{2}$. From the measurement results, we find that these NO and ONO thin films are strongly depending on its condition and that optimized reoxided nitrided oxides (ONO) films show superior dielectric characteristics, and breakdown-to-change ( $Q_{bd}$ ) performance over the NO films, while maintaining a similar electric field dependence compared to NO layer.
Due to the increased integration density of VLSI circuits a highly reliable thin oxide film is required to fabricate a small geometry MOS device. The behavior of thermal $SiO_2$ under high electric field and current condition has a major effect on MOS device degration and also the practical use of MOS device under irradiation has cause the degration of thin oxide films. In this paper, in order to evaluate the reliability of thin oxides with no stress applied and stressed by the irradiation under low electric field, the tests of TDDB (Time-dependent-dielectric breakdown) are used. Failure times against electric field are examined and acceleration factor is obtained for each case. Based on the experimental data, breakdown wear out limitation for thin oxide films is characterised.
Park, Il-Yong;Kim, Sang-Gi;Koo, Jin-Gun;Roh, Tae-Moon;Lee, Dae-Woo;Yang, Yil-Suk;Kim, Jung-Dae
ETRI Journal
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v.25
no.4
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pp.270-273
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2003
This paper presents a simple process to integrate thin-film inductors with a bottom NiFe magnetic core. NiFe thin films with a thickness of 2 to 3${\mu}m$ were deposited by sputtering. A polyimide buffer layer and shadow mask were used to relax the stress of the NiFe films. The fabricated double spiral thin-film inductor showed an inductance of 0.49${\mu}H$ and a Q factor of 4.8 at 8 MHz. The DC-DC converter with the monolithically integrated thin-film inductor showed comparable performances to those with sandwiched magnetic layers. We simplified the integration process by eliminating the planarization process for the top magnetic core. The efficiency of the DC-DC converter with the monolithic thin-film inductor was 72% when the input voltage and output voltage were 3.5 V and 6 V, respectively, at an operating frequency of 8 MHz.
충돌이란 두 개 이상의 물체가 특정한 상대 속도로 부\ulcorner칠 때 나타나는 현상으로서 준 정 적(quasi-static) 조건하에서 나타나는 현상과 크게 다음 두 가지 특징을 들 수 있다. 첫째, 관 성력이 매우 중요하다. 따라서 기본 역학 및 물리학 보존법칙에 기초를 둔 모든 지배 방정식에 이 영향을 반드시 포함시켜야 한다. 둘째, 응력파(stress wave)에 의한 재료의 변형을 들 수 있다. 이 응력파는 시간과 거리에 따라 급격히 감소되므로 대부분의 경우 국부적으로 많은 변형이 일 어난다. 충돌에 의하여 일어나는 재료의 변형 특성은 충돌 속도에 따라 매우 다르게 나타난다. 이러한 특징들을 표 1에 나타내었다. 이 글에서는 충돌 해석 프로그램의 특징과 구성을 소개하고 그중 엑스플리시트 유한요소방법을 사용한 금속 재료에 관련된 몇 가지 충돌현상의 해석 예를 소개하고자 한다.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2003.06a
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pp.802-805
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2003
Structural surface becomes an antenna. The integration of antennas into structural body panels is a new high payoff technology. It emerged from the need to improve structural efficiency and antenna performance. In this paper, we developed new design concept for the structural surface which transmits and receives the electromagnetic signals, and it is termed Surface-Antenna-Structure (SAS). Design procedure was presented including structure design. material selection and design of antenna elements, which was processed according to the communication with KORSAT satellite at Ku-Band (12.25-12.75 GHz). The final demonstration article was 350$\times$200$\times$7.5mm flat antenna panel. Experimental results for antenna performances were in good agreements with design requirements. Also structural analysis was performed with SAS. estimating stress distributions under simply supported condition with Laminated Plate Theories and Wavier Solutions. The SAS concept can be extended to give a useful guide to manufacturers of structural body panels as well as antenna designers. promising innovative future communication technology.
Aims: The purposes of this study were to (1) to identify the causes of cancer in breast cancer survivors in Taiwan; and (2) to investigate the influence of demographic characteristics and breast cancer-related factors on the cause of cancer. Materials and method: This study details the related investigative results on survivors with breast cancer using a descriptive and correlational design. A convenience sampling approach was employed. A structured questionnaire was used to assess the participants. Results: A total of 230 breast cancer survivors completed the questionnaire. Low-scoring cause of cancer participants were older adults (OR = 2.49, p<0.05) who were already of menopausal status (OR = 2.28, p < 0.05). Around 72% of particpants agreed high responsibility. Our breast cancer survivors felt stress had caused their breast cancer. Conclusion: These findings are helpful in understanding the relationship between cause of cancer and related factors in breast cancer survivors.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.7
no.4
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pp.29-39
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1990
The purpose of this research is to analyze the impact behaviors of laminated composite plates subjected to the transverse low-velocity impact by the steel ball. A plate finite element model based on Whitney and Pagano's the first-order shear deformation theory (FSDT) in conjunction with experimental static contact laws is formulated and then compared with the results of the impact experiments. Because the input data and the output data printed at every integration time step are lots of amount, these are interactively poecessed by the developed pre-processor(PREPLOT) and postprecessor(POSTPLOT). All results from these procesors are automatically generated by CALCOMP plotter. Test materials are glass/expoxy composite materials. The specimens are composed of [$0^{\circ} /45^{\circ}/0^{\circ}/-45^{\circ}/0^{\circ}/]2s\ and \[90^{\circ}/45^{\circ}/90^{\circ}/-45^{\circ}/90^{\circ}/$]2s stacking sequences and have $4.5^t{\times}200^w{\times}200^l$(mm) and $4.5^t{\times}300^w{\times}300^l$(mm) dimensions.
Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
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2000.04a
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pp.119-122
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2000
Dynamic deformation of metallic materials mostly accompanies substantial amounts of deformation heat. Since the flow stress of deformation is sensitive to temperature implication of heat due to plastic work is essential to the evaluation of constitutive relations. In this study a series of compression tests were conducted for SAF 2507 super duplex stainless steel and the accumulation of deformation heat was calculated through numerical integration method. Isothermal flow surfaces were deduced from subsequent logarithmic interpolation. Simple closed die forging process was analyzed and optimized with commercial FEM code applying both raw and calibrated material database.
The present article encompasses a nonlinear finite element (FE) and genetic algorithm (GA) based optimal vibration energy harvesting from nonprismatic piezo-laminated cantilever beams. Three cases of cross section profiles (such as linear, parabolic and cubic) are modelled to analyse the geometric nonlinear effects on the output responses such as displacement, voltage, and power. The simultaneous effects of taper ratios (such as breadth and height taper) on the output power are also studied. The FE based nonlinear dynamic equation of motion has been solved by an implicit integration method (i.e., Newmark method in conjunction with the Newton-Raphson method). Besides this, a real coded GA based constrained optimization scheme has also been proposed to determine the best set of design variables for optimal harvesting of power within the safe limits of beam stress and PZT breakdown voltage.
This paper presents an efficient and accurate coupled beam model for piezoelectric bimorphs based on improved first-order shear deformation theory (FSDT). The model combines the equivalent single layer approach for the mechanical displacements and a layerwise modeling for the electric potential. General electric field function is proposed to reasonably approximate the through-the-thickness distribution of the applied and induced electric potentials. Layerwise defined shear correction factor (k) accounting for nonlinear shear strain distribution is introduced into both the shear stress resultant and the electric displacement integration. Analytical solutions for free vibrations and forced response under electromechanical loads are obtained for the simply supported piezoelectric bimorphs with series or parallel arrangement, and the numerical results for various length-to-thickness ratios are compared with the exact two-dimensional piezoelasticity solution. Excellent predictions with low error estimates of local and global responses as well as the modal frequencies are observed.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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