We have developed a CMOS LTPS process which requires only five photolithographic masks and only one ion doping step. Drain/Source areas of NMOS TFTs were formed by PECVD deposition of a highly doped precursor layer while PMOS contact areas were defined by ion implantation. Single TFTs, inverters, ring oscillators and shift registers were fabricated. N and p-channel devices reached field effect mobilities of $173cm^2$/Vs and $47cm^2$/Vs, respectively.
Jung, Woobeen;Song, Dongjoon;Cho, Su Hyun;Kim, Changyoung;Park, Seung Ryong
Progress in Superconductivity and Cryogenics
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v.18
no.2
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pp.14-17
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2016
Annealing as-grown electron-doped cuprates under a low oxygen-partial-pressure condition is a necessary step to achieve superconductivity. It has been recently found that the so-called protect annealing results in much better superconducting properties in terms of the superconducting transition temperature and volume fraction. In this article, we report on angle-resolved photoemission spectroscopy studies of a protect-annealed electron-doped cuprate $Pr_{0.9}La_{1.0}Ce_{0.1}CuO_4$ on annealing condition dependent superconducting and pseudo-gap properties. Remarkably, we found that the one showing a better superconducting property possesses almost no pseudo-gap while others have strong pseudo-gap feature due to an anti-ferromagnetic order.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.19
no.5
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pp.457-460
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2006
Y doped zinc oxide (YZO) thin films were deposited on F doped $SnO_2$ (FTO) glass substrate by sol-gel method using the spin-coating system. A homogeneous and stable solution was prepared by dissolving acetate in the solution added diethanolamine as sol-gel stabilizer. YZO films were obtained after preheated on the hot-plate for 5minute before each coating; the number of coating was 3 times. After the coating of last step, annealing of YZO films performed at $450^{\circ}C$ for 30 minute. In order to confirming of a ultraviolet ray interruption and down-conversion effects, optical properties of YZO films, transmission spectrum and fluorescent spectrum were used. Also, for understanding the obtained results by experiment, the elestronic state of YZO was calculated using the density functional theory The results obtained by experiment were compared with calculated structure. The detail of electronic structure was obtained by the discrete variational Xa (DV-Xa) method, which is a sort of molecular orbital full potential method. The density of state and energy levels of dopant element were shown and discussed in association with optical properties.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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1999.11a
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pp.265-268
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1999
In this study, we investigated the electromagnetic Properties of M $n_{Y}$Z $n_{1-x}$ F $e_{x}$$O_4$(X=0.67~0.69, Y=0.13~0.19) doped with and without H $o_2$$O_3$(each of 0.05~ 0.2wt%, step 0.05wt%). The greatest initial permeability of composition is M $n_{0.17}$Z $n_{0.16}$F $e_{0.67}$$O_4$. As X and Y components, increased. generally resistivity slightly change by the various X and Y components. The initial permeability of M $n_{0.17}$Z $n_{0.16}$F $e_{0.67}$$O_4$ doped with H $o_2$$O_3$ showed the about 2.5 times higher than that of M $n_{0.17}$Z $n_{0.16}$F $e_{0.67}$$O_4$ doped without H $o_2$$O_3$EX>EX>EX>X>>EX>EX>EX>X>
Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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v.35D
no.12
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pp.83-91
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1998
Fiber Bragg grating which has a blazed ang1e to the plane of incident wave generates a side-mode as well as main-mode. The side-mode has an identical characteristics with a long period grating that couples with a cladding mode, so rejects the special wavelength. We experimented on the side-mode characteristics with two fibers which Ge doped depressed index fiber and very high photosensitive H$_2$ loaded step index fiber according to the tilted angle. Also, using a phase mask equipped with rotation plate which has 0.02$^{\circ}$ resolution, we can control the bandwidth and the peak value of a total loss spectrum by aligned tilted grating in a fiber and using this, tried to compose the ASE band rejection filter of the Erbium doped fiber amplifier.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.24
no.6
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pp.491-496
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2011
Al-doped ZnO film on glass substrate is deposited by ALD in low temperature, using 4-step process (DEZ-$H_2O$-TMA-$H_2O$). To find out the optimal film condition for TCO material, we fabricate Al-doped ZnO films by increasing Al doping concentration at $100^{\circ}C$, so that the Al-doped film of 5 at% shows the lowest resistivity ($1.057{\times}10^{-2}{\Omega}{\cdot}cm$) and the largest grain size (38.047 nm). Afterwards, the electrical and physical characteristics in Al-doped films of 5 at% are also compared in accordance with increasing deposition temperature. All the films show the optical transmittance over 80% and the film deposited at $250^{\circ}C$ demonstrates the superior resistivity ($1.237{\times}10^{-4}{\Omega}{\cdot}cm$).
Kim, Yeong-Mi;Kong, Heon;Kim, Byung-Cheul;Lee, Hyun-Yong
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.32
no.5
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pp.376-381
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2019
In this work, we evaluated the structural, electrical and optical properties of $Ge_8Sb_2Te_{11}$ and Cu-doped $Ge_8Sb_2Te_{11}$ thin films prepared by rf-magnetron reactive sputtering. The 200-nm-thick deposited films were annealed in a range of $100{\sim}400^{\circ}C$ using a furnace in an $N_2$ atmosphere. The amorphous-to-crystalline phase changes of the thin films were investigated by X-ray diffraction (XRD), UV-Vis-IR spectrophotometry, a 4-point probe, and a source meter. A one-step phase transformation from amorphous to face-centered-cubic (fcc) and an increase of the crystallization temperature ($T_c$) was observed in the Cu-doped film, which indicates an enhanced thermal stability in the amorphous state. The difference in the optical energy band gap ($E_{op}$) between the amorphous and crystalline phases was relatively large, approximately 0.38~0.41 eV, which is beneficial for reducing the noise in the memory devices. The sheet resistance($R_s$) of the amorphous phase in the Cu-doped film was about 1.5 orders larger than that in undoped film. A large $R_s$ in the amorphous phase will reduce the programming current in the memory device. An increase of threshold voltage ($V_{th}$) was seen in the Cu-doped film, which implied a high thermal efficiency. This suggests that the Cu-doped $Ge_8Sb_2Te_{11}$ thin film is a good candidate for PRAM.
Kim, Hyuntai;Kwon, Youngchul;Vazquez-Zuniga, Luis Alonso;Lee, Seung Jong;Park, Wonil;Ham, Youngsu;Song, Suhyung;Yang, Joong-Hwan;Jeong, Yoonchan
Journal of the Optical Society of Korea
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v.18
no.6
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pp.650-656
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2014
We propose a novel active fiber design for selectively generating cylindrical vector beams (CVBs) or cylindrical vector modes (CVMs) which can be applied to conventional fiber lasers. A fiber is designed to have a ring-shaped core refractive index profile which can lead to the best overlap between the active dopant distribution profile and the lowest-order CVM (LCVM) field profile. Therefore, the overlap factor (OVF) of the LCVM becomes even higher than that of the fundamental mode. We emphasize that this condition cannot be satisfied by a conventional step-index core fiber (SICF) but by the ring-doped core fiber (RDCF). Because the lasing threshold is inversely proportional to the OVF, the LCVM can predominantly be stimulated even without going through special procedures to impose extra loss mechanisms to the fundamental mode. We numerically verify that the OVF of the LCVM with the doped ions can significantly exceed that of the fundamental mode if the proposed fiber design is applied. In addition, an RDCF of the proposed fiber design can also operate in a regime containing no higher-order modes besides the LCVM, so that it can selectively and efficiently generate the LCVM without being disrupted by the parasitic lasing of the higher-order modes. We highlight that an optimized RDCF can lead to a >30 % higher OVF ratio than a SICF having the same doped area. The proposed model is expected to be useful for enhancing the efficiency of generating CVBs in an all-fiber format.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.13
no.1
s.38
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pp.17-22
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2006
Ferroelectric PZT thin films were formed by 2-step sputtering and their dielectric properties and conduction mechanisms were investigated. Also. donor impurity doping was tried to compensate the carriers in PZT thin films. The leakage current density was able to reduce to $10^{-7}A/cm^2$ order by 2-step sputtering with thickness control of room temp.-layer. The conduction mechanism was confirmed as bulk-limited, and optimum donor impurities on PZT thin film were taken. Especially, leakage current characteristics was improved to $10^{-8}A/cm^2$ order in donor-doped PZT thin films formed by 2-step sputtering.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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