Effect of RF sputtering power on Lipon Solid Electrolyte Ionic Conductivity for Thin Film Lithium Rechargeable Microbatteries (Lithium Phosphorous Oxy Nitride(Lipon) 고체전해질 박막의 이온전도도에 미치는 RF sputtering power의 효과)
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- 한국전기화학회:학술대회논문집
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- 2001.04a
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- pp.37-37
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- 2001