한국전기화학회:학술대회논문집

The Korean Electrochemical Society (한국전기화학회)
권호 표지

Effect of RF sputtering power on Lipon Solid Electrolyte Ionic Conductivity for Thin Film Lithium Rechargeable Microbatteries

Lithium Phosphorous Oxy Nitride(Lipon) 고체전해질 박막의 이온전도도에 미치는 RF sputtering power의 효과

  • 최창훈 (인하대학교 화학공학과) ;
  • 박호영 (한국과학기술연구원 전지 연료전지센터) ;
  • 남상철 (한국과학기술연구원 전지 연료전지센터) ;
  • 윤영수 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 조원일 (한국과학기술연구원 전지 연료전지센터) ;
  • 조병원 (한국과학기술연구원 전지 연료전지센터) ;
  • 윤경석 (한국과학기술연구원 전지 연료전지센터) ;
  • 탁용석 (인하대학교 화학공학과)
  • Published : 2001.04.01
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