To investigate the recycle possibility of slurry for the oxide-chemical mechanical polishing (oxide-CMP) application, three kinds of retreated methods were introduced as follows: First, the effects on the addition of silica abrasives and the diluted silica slurry (DSS) on CMP performances were investigated. Second, the characteristics of mixed abrasive slurry (MAS) using non-annealed and annealed alumina ($Al_2O_3$) powder as an abrasive added within DSS were evaluated to achieve the improvement of removal rates (RRs) and within-wafer non-uniformity (WIWNU%). Third, the oxide-CMP wastewater was examined in order to evaluate the possible ways of reusing it. And then, we have discussed the CMP characteristics of silica slurry retreated by mixing of original slurry and used slurry (MOS).
Metal foams have a cellular structure consisting of a solid metal containing a large volume fraction of pores. In particular, open, penetrating pores are necessary for industrial applications such as in high temperature filters and as a support for catalysts. In this study, Fe foam with above 90% porosity and 2 millimeter pore size was successfully fabricated by a slurry coating process and the pore properties were characterized. The Fe and $Fe_2O_3$ powder mixing ratios were controlled to produce Fe foams with different pore size and porosity. First, the slurry was prepared by uniform mixing with powders, distilled water and polyvinyl alcohol(PVA). After slurry coating on the polyurethane(PU) foam, the sample was dried at $80^{\circ}C$. The PVA and PU foams were then removed by heating at $700^{\circ}C$ for 3 hours. The debinded samples were subsequently sintered at $1250^{\circ}C$ with a holding time of 3 hours under hydrogen atmosphere. The three dimensional geometries of the obtained Fe foams with an open cell structure were investigated using X-ray micro CT(computed tomography) as well as the pore morphology, size and phase. The coated amount of slurry on the PU foam were increased with $Fe_2O_3$ mixing powder ratio but the shrinkage and porosity of Fe foams were decreased with $Fe_2O_3$ mixing powder ratio.
When marine clay is hydraulically dredged from seabed and pumped into the pond enclosed by contatinment dykes, marine clay is mixed and flocculated with water and then settled. At this time, the fines will interact with the water to form a Bingham plastic slurry which has non-Newtonian characteristics. The dredged slurry has different physical properties depending on settling locations and settling depths in the pond and has few hundred percent of water content and almost nil of shear strenght. In order to make this condition of the dredged slurry the final formation for public use within a short period, sand spreading method to enhance the support capacity of the dredged slurry is developed. In this paper, the effect of sand mixing into the dredged slurry of this method is analyzed based on reference study, laboratory tests and actual construction results.
분산성이 우수한 carbon-slurry 연료의 제조와 특성 분석을 하였다. Carbon-slurry 연료는 액체연료(Jet A-1)와 탄소 입자 그리고 적당한 첨가제를 혼합하여 얻었다. Carbon-slurry 연료의 분산성은 교반 온도, 탄소 입자의 특성 그리고 첨가제의 양과 종류 등에 따라서 달라진다. 특히 첨가제의 종류가 slurry 연료의 안정성에 가장 중요하였다. 다양한 음이온성, 양이온성, 비이온성 형태의 첨가제를 사용하여 carbon-slurry 연료의 분산성을 분석하였고, 이 결과 나트륨 염의 형태를 가진 음이온성 첨가제를 사용하였을 경우 carbon-slurry 연료의 분산성이 가장 우수하였음을 확인하였다. Carbon-slurry 연료의 분산성은 빛이 투과되는 광도 값을 측정하여 분석하였다.
돈분 슬러리를 이용한 혐기성 소화과정에서 유기물 농도 및 식종슬러지의 식종비율, 소화조의 혼합강도 등의 최적 실험조건을 도출하고, 돼지의 성장에 따른 사료 급여 특성과 분뇨의 성상이 바이오가스 발생에 미치는 영향을 관찰하였다. 식종슬러지 비율 50%와 TS 농도 1% 수준에서 메탄함량은 45%이었고, 유기물 함량이 3~7 %로 증가할수록 메탄가스 함량도 증가되었다. 반응조의 혼합강도에 따른 총 누적가스 발생량은 식종슬러지의 식종비율에 따른 영향은 관찰되지 않았고, TS 농도 3%와 5%에서 혼합강도를 증가시켰을 때(80 $\rightarrow$ 160 rpm) 바이오가스 발생량도 증가되었다. 돈분폐수의 혐기소화 실험시 바이오가스를 회수하고자 하는 최적의 운전 조건은 투입되는 TS 농도 3~5% 정도의 유기물 농도와 50% 수준의 식종슬러지의 식종비율 그리고 반응조의 적절한 교반강도(120 rpm) 따라 결정될 수 있다. 돈분뇨 종류에 따른 가스발생량은 분만돈 분뇨의 바이오 가스 발생량이 높았고, gas 발생의 peak(20일)도 짧게 나타나 분해율이 가장 좋은 것으로 나타났다. 돼지의 사육 및 소비 형태에 따라 돼지의 사육 환경이 변화되며, 투입되는 사료의 급여 특성도 달라져 바이오가스 발생 특성도 차이가 있는 것으로 나타났다.
메탈폼은 매우 많은 기공을 포함하는 세포상 구조를 갖는 고체금속을 일컫는다. 특히 관통 기공 같은 개기공들은 고온용 필터 및 촉매 지지체 등으로 산업적으로 많이 사용되고 있다. 본 연구에서는 슬러리 코팅공정으로 90% 이상의 기공율과 2 mm 이상의 기공크기를 갖는 Fe 폼을 제조하였다. 이때 Fe 분말과 $Fe_2O_3$ 분말의 혼합비를 달리하여 기공율과 기공크기를 제어하였다. 이를 위해 우선 분말, 증류수 및 폴리비닐알콜(PVA)를 균일하게 혼합하여 슬러리를 제조하였다. $Fe_2O_3$ 분말의 혼합 비율이 증가할수록 PU 폼에 코팅된 슬러리의 양이 증가한 반면 Fe 폼의 수축 및 기공율은 각각 감소하였다.
A series of column test with a silty marine soil mixed with Jumunjin Standard Sand were performed to investigate the characteristics of settling and consolidation of non-plastic dredged soils. Column tests were carried out by using the separable column to measure the grain size distribution of consolidated layer. Column tests were performed with changing the mixing ratio of Jumunjin Standard Sand to the silty marine soil, initial water content of slurry and initial height of slurry. Height of interface of slurry was monitored during tests and grain size distribution tests were carried out after finishing tests. Influencing factors on the particle segregation, eventually to the characteristics of settling and consolidation of non-plastic soil, were analyzed on the thesis of test results. As results of column tests, the mixing ratio of sand to the silty marine soil and the initial water content of slurry were known to affect the characteristics of settling and consolidation resulted in significant particle segregation of slurry. Initial height of slurry was found not to affect seriously to particle segregation.
This study investigated the main factors influencing digester temperature and methods to reduce heat losses during the cold season in the subtropics. Four composite digesters (two insulated and two uninsulated) were buried underground to measure their internal temperature ($^{\circ}C$) at a depth of 140 cm and 180 cm, biogas production and methane ($CH_4$) concentration in biogas from August to February. In parallel the temperature of the air (100 cm above ground), in the slurry mixing tank and in the soil (10, 100, 140, and 180 cm depth) was measured by thermocouple. The influent amount was measured daily and the influent chemical composition was measured monthly during the whole experimental period. Seasonal variations in air temperature significantly affected the temperature in the soil, mixing tank and digester. Consequently, biogas production, which is temperature dependent, was influenced by the season. The main factors determining the internal temperature in the digesters were insulation with Styrofoam, air temperature and temperature of slurry in the mixing tank. Biogas production is low due to the cold climate conditions in winter in Northern Vietnam, but the study proved that storing slurry in the mixing tank until its temperature peak at around 14:00 h will increase the temperature in the digester and thus increase potential biogas production. Algorithms are provided linking digester temperature to the temperature of slurry in the mixing tank.
Kim, Hae-Young;Moon, Deok Hyun;Chung, Seon-Yong;Park, Jeong-Hun
Environmental Engineering Research
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제15권2호
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pp.57-62
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2010
The purpose of this study was to investigate the effect of mixing methods on the biodegradation of sorbed naphthalene and phenanthrene in soils. Biodegradation was initiated by inoculating Pseudomonas sp. KM1 into equilibrated soil slurry vials. Four different mixing methods, including no mixing, orbital shaking, rolling and rotating were utilized to enhance the biodegradation of both naphthalene and phenanthrene. The experimental results showed that the sorbed compounds were more effectively biodegraded with rolling and rotating mixing methods. The sorbed naphthalene concentrations were reduced to 0 mg/kg via the rolling and rotating methods. However, with no mixing and the orbital shaking methods, the sorbed naphthalene concentrations were comparatively high, ranging from 2.59 to 20.45 mg/kg. Similar trends were observed for the biodegradation of phenanthrene, but the concentrations remaining were higher than those of naphthalene, due to the limited bioavailability of the sorbed phenanthrene. The rolling and rotating mixing methods are suggested can distribute bacteria uniformly in the slurry system; improve the mass transfer rate and the probability of physical contact between bacteria and the sorbed contaminants, resulting in higher bioavailability of the contaminants.
In this work, we have studied the CMP characteristics by mixing of original slurry and used slurry in order to investigated the possibility of recycle of used silica slurry. The removal rate and within-wafer non-uniformity (WIWNU) were measured as a function of different slurry composition. Also, we compared the CMP characteristics between self-developed KOH-based silica abrasive slurry and the original slurry. Our experimental results revealed comparable removal rate and good planarity with commercial products.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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